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GEMINI?FB特征：新的SmartView?NT3面-面結(jié)合對(duì)準(zhǔn)具有亞50納米晶片到晶片的對(duì)準(zhǔn)精度多達(dá)六個(gè)預(yù)處理模塊，例如：清潔模塊LowTemp?等離子基活模塊對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證模塊解鍵合模塊XT框架概念通過EFEM（設(shè)備前端模塊）實(shí)現(xiàn)ZUI高吞吐量可選功能：解鍵...

BONDSCALE?自動(dòng)化生產(chǎn)熔融系統(tǒng)啟用3D集成以獲得更多收益特色技術(shù)數(shù)據(jù)EVGBONDSCALE?自動(dòng)化生產(chǎn)熔融系統(tǒng)旨在滿足廣fan的熔融/分子晶圓鍵合應(yīng)用，包括工程化的基板制造和使用層轉(zhuǎn)移處理的3D集成方法，例如單片3D（M3D）。借助BONDSCALE...

EVG?805解鍵合系統(tǒng)用途：薄晶圓解鍵合。EVG805是半自動(dòng)系統(tǒng)，用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過的晶圓疊層，該疊層由器件晶圓，載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離?？梢詫⒈【A卸載到單個(gè)基板載體上，以在工具之間安全可靠地運(yùn)輸。特征：開放式膠粘...

薄膜應(yīng)力分析儀對(duì)使用環(huán)境有什么要求？1. 溫度控制：薄膜應(yīng)力分析儀需要在恒定的溫度下進(jìn)行測(cè)量，因此需要控制實(shí)驗(yàn)室的溫度。為避免溫度變化引起的薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的變化，一些儀器具有加熱和冷卻控制功能。2. 濕度控制：濕度變化也會(huì)對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)和性能產(chǎn)生影響，因此需要控制...

晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)有哪些要點(diǎn)？1、定期清潔：晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備應(yīng)該定期清潔，以保持設(shè)備的正常運(yùn)行。清潔時(shí)應(yīng)注意避免使用帶有酸性或堿性的清潔劑，以免對(duì)設(shè)備造成損害。2、維護(hù)設(shè)備的工作環(huán)境：晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備應(yīng)該放置在干燥、通風(fēng)、溫度適宜的環(huán)境中，以避免設(shè)備受...

晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)是一種通過光學(xué)成像技術(shù)來檢測(cè)晶圓表面缺陷的設(shè)備。其主要特點(diǎn)包括：1、高分辨率：晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)采用高分辨率鏡頭和成像傳感器，可以獲得高精度成像結(jié)果，檢測(cè)出微小缺陷。2、寬視場(chǎng)角：晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)具有較大的視場(chǎng)角度，可以同時(shí)檢測(cè)多個(gè)晶...

典型晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備的工作原理：1、光學(xué)檢測(cè)原理：使用光學(xué)顯微鏡等器材檢測(cè)晶圓表面缺陷，包括凹坑、裂紋、污染等。2、電學(xué)檢測(cè)原理：通過電流、電壓等電學(xué)參數(shù)對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)，具有高靈敏度和高精度。3、X光檢測(cè)原理：利用X射線成像技術(shù)對(duì)晶圓的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行檢測(cè)，可檢測(cè)...

晶圓缺陷檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)該如何維護(hù)？1、清潔鏡頭和光學(xué)器件：鏡頭和光學(xué)器件是光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，若有灰塵或污垢會(huì)影響光學(xué)成像效果。因此，需要定期清潔這些部件。清潔時(shí)應(yīng)只用干凈、柔軟的布或特殊的光學(xué)清潔紙等工具，避免使用任何化學(xué)溶劑。2、檢查光源和示波器：如果光源老...

薄膜應(yīng)力分析儀怎么樣？有什么獨(dú)特之處？1. 測(cè)量方式靈活：薄膜應(yīng)力分析儀可以使用多種測(cè)量方法的技術(shù)，包括光學(xué)和機(jī)械測(cè)量方法等。光學(xué)方法包括X光衍射、拉曼散射、橢偏光等方法，機(jī)械方法包括曲率法、剝離法等方法，可以更加廣闊地分析和測(cè)試薄膜的物理性質(zhì)。2. 非接觸式...

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍蕞大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量，檢測(cè)效率會(huì)比較低...

Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍廣范的測(cè)量生物醫(yī)療涂層的方案：支架： 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個(gè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)得到使用，測(cè)量鈍化和/或藥 物輸送涂層。我們有獨(dú)特的測(cè)量系統(tǒng)對(duì)整個(gè)支架表面的自動(dòng)厚度...

EVG?610特征：晶圓/基板尺寸從小到200mm/8頂側(cè)和底側(cè)對(duì)準(zhǔn)能力高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)自動(dòng)楔形補(bǔ)償序列電動(dòng)和程序控制的曝光間隙支持蕞新的UV-LED技術(shù)蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求分步流程指導(dǎo)遠(yuǎn)程技術(shù)支持多用戶的概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權(quán)限，...

接觸探頭測(cè)量彎曲和難測(cè)的表面CP-1-1.3測(cè)量平面或球形樣品，結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈。CP-1-AR-1.3可以抑制背面反射，對(duì)1.5mm厚的基板可抑制96%。鋼制單線圈外加PVC涂層，ZUI大可測(cè)厚度15um。CP-2-1.3用于探入更小的凹表面，直徑17...

傳感器位置傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI...

將手輕輕放在桌面上。上方區(qū)塊中的一個(gè)或多個(gè)LED可能會(huì)亮起，指示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果你現(xiàn)在在桌面上施加很大的力，所有過載燈都會(huì)亮起，并且隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表明系統(tǒng)暫時(shí)不再隔離，直到過載消除（待機(jī)模式）。消除過載后，隔離燈應(yīng)再...

AVI200-SAVI200-S的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元，蕞大可以負(fù)載400公斤。通過增加隔離模塊的數(shù)量，可以輕松承受更高的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長度的單個(gè)模塊。AVI200-M的隔離始于1,...

Herz防震臺(tái)/防振臺(tái)是世界上蕞知銘的防震臺(tái)/防振臺(tái)系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時(shí)代，極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測(cè)量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的極大效能，達(dá)到蕞佳成果。Nanotechnology正在改變，由高層次的研究波及各個(gè)行業(yè)的基本生產(chǎn)...

TableStable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有獨(dú)力的防振單元和控制器。可能有多種變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺(tái)，或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。特點(diǎn)：?通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的...

TS特點(diǎn)：◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。◎當(dāng)儀器裝載時(shí)，高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行。◎即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時(shí)，自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí)，給予穩(wěn)定性?！蛲ㄟ^按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者...

TableStable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有獨(dú)力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺(tái)，或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。特點(diǎn)：?通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的...

AVI400-SAVI400-S的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型模塊的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-S的隔離始于1,2H...

所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM，STM），干涉儀和其他高分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如...

AVI200-MAVI200-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式...

AVI-600系列（負(fù)載：1200kg）型號(hào)：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP形狀：控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)...

支撐面測(cè)試在系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，推動(dòng)支撐表面。燈不亮，除了可能會(huì)大力推動(dòng)。如果可以輕松使燈點(diǎn)亮，則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對(duì)水平或垂直力施加更大的作用，并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請(qǐng)注意，該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運(yùn)行，但會(huì)產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)...

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。（來自網(wǎng)絡(luò)）先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技...

LFS-2傳感器測(cè)量?jī)蓚€(gè)軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測(cè)得的水平隔離度（透...

TableStable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有獨(dú)力的防振單元和控制器?？赡苡卸喾N變化，例如將其用作電子顯微鏡（SEM）的隔振臺(tái)，或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。特點(diǎn)：?通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的...

AVI-400系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號(hào)：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個(gè)LED指示防...

LFS-2傳感器測(cè)量?jī)蓚€(gè)軸的水平加速度，直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上，并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用，可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測(cè)得的水平隔離度（透...