NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ) ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC ? 具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um) ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm ? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快 表面三維微觀形貌測(cè)量的意義 在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表...
滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作更簡(jiǎn)單,更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù) 個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 更好用戶體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),個(gè)性化應(yīng)用軟件支持 1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測(cè)量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),達(dá)到國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) NanoX-2000/3000 ...
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ) ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC ? 具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um) ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm ? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快 如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 我們主要...
輪廓儀的自動(dòng)拼接功能: 條件: 被測(cè)區(qū)域明顯大于視場(chǎng)的區(qū)域,使用自動(dòng)圖片拼接。 需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接, 輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來(lái)。 軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差,自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差,減小誤差。 但是誤差是一定存在的。 白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),**提高加工效率。二維輪廓儀聯(lián)系電話 輪廓儀在晶圓的IC封...
NanoX-系列輪廓儀**性客戶 ? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 集成電路先進(jìn)封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯 半導(dǎo)體,華潤(rùn)安盛等 ? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等 ? 高 效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 常州億晶光電,中國(guó)臺(tái)灣速位科技、山東衡力新能源等 ? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè) – 三星電機(jī)、京東方、深圳夏瑞科技等 具備 Global alignment & Unit alignment 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm XY運(yùn)動(dòng)速度 **快 ...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別: 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊?,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,這樣既可以測(cè)量輪廓尺...
關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。Bruker輪廓儀當(dāng)?shù)貎r(jià)格 輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉...
輪廓儀對(duì)精密加工的意義 現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè),從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用: 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。自動(dòng)測(cè)量輪廓儀美元價(jià) 1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃 ...
輪廓儀的培訓(xùn) 一、 培訓(xùn)承諾 系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場(chǎng); 系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng); 1.1. 培訓(xùn)對(duì)象 系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員); 其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。 1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容 系統(tǒng)操作使用說(shuō)明書。 培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等,具體內(nèi)容...
輪廓儀的性能 測(cè)量模式 : 移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI) 樣 品 臺(tái) : 150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)(可選配) XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5° 可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái) CCD 相機(jī)像素: 標(biāo)配:1280×960 視場(chǎng)范圍: 560×750um(10×物鏡) 具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī) 光學(xué)系統(tǒng): 同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng) 光 源: 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)...
NanoX-8000輪廓儀的自動(dòng)化系統(tǒng)主要配置 : ? XY比較大行程650*650mm ? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸 ? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um ? XY 平臺(tái)比較大移動(dòng)速度:200mm/s ? Z 軸聚焦:100mm行程自動(dòng)聚焦,0.1um移動(dòng)步進(jìn) ? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石 ? 配置真空臺(tái)面 ? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息 ? 主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm 如果想要了...
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢(shì)呢 世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù) 合理的產(chǎn)品價(jià)格 24小時(shí)到現(xiàn)場(chǎng)的本地化售后服務(wù) 無(wú)償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持 個(gè)性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持 合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù) 更佳的產(chǎn)品性價(jià)比和更優(yōu)解決方案 非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測(cè)量?jī)x器,可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來(lái)自網(wǎng)絡(luò)) 一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。NanoScopy輪廓儀服務(wù)為先 新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表...
如何正確使用輪廓儀 準(zhǔn)備工作 1.測(cè)量前準(zhǔn)備。 2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常。 3.擦凈工件被測(cè)表面。 測(cè)量 1.將測(cè)針正確、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。 2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。 4.開(kāi)始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。 5.測(cè)量完畢,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。 輪廓的角度處理: 角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線...
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀? 一、準(zhǔn)備工作 1.測(cè)量前準(zhǔn)備。 2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常。 3.擦凈工件被測(cè)表面。 二、測(cè)量 1.將測(cè)針正確、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。 2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。 4.開(kāi)始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。 5.測(cè)量完畢,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。 在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺(tái)式的。中科院輪...
NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù) 3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1): 測(cè)量模式: PSI + VSI + CSI Z軸測(cè)量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標(biāo)配/500um選配) 10mm 精密電機(jī)拓展掃描 CCD相機(jī): 1920x1200 高速相機(jī)(標(biāo)配) 干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標(biāo)配), 20X, 50X, 100X(NIKON ) 物鏡切換: 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡) Z軸聚焦: 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦 照明系統(tǒng): 高 效長(zhǎng)壽白...
輪廓儀的技術(shù)原理 被測(cè)表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉 移相法(PSI) 高度和干涉相位 f = (2p/l ) 2 h 形貌高度: < 120nm 精度: < 1nm RMS重復(fù)性: 0.01nm 垂直掃描法 (VSI+CSI) 精度: ?/1000 干涉信號(hào)~光程差位置 形貌高度: nm-mm, 精度: >2nm 干涉測(cè)量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響 以下來(lái)自網(wǎng)絡(luò): 輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為...
輪廓儀的主要客戶群體 300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測(cè) 集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 高 效太陽(yáng)能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 超高精密表面工程技術(shù) 輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種...