光學平臺精密隔振系統(tǒng)設計需要考慮的環(huán)境微振動干擾是復雜的,包括:大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設備的振動、各類機械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動,甚至包括人員走動所引起的振動等。精密的光學實驗依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作...
光學平臺很主要的一個目標是消除平臺上任意兩個以上部件之間的相對位移。大多數(shù)光學實驗都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導致儀器測量結果的不穩(wěn)定性和不準確性,所以光學平臺顯得十分重要。光學平臺隔振原理:振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內部的振...
從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(T...
光學平臺從功能上分為固定式和可調式;被動或主動式。光學平臺普遍應用于光學、電子、精密機械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領域,以及其他機械行業(yè)的精密試驗儀器、設備振動隔離的關鍵裝置中。主要構成:標準光學平臺基本組件包括:1、頂板;2、底板;3...
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數(shù)測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IV CV脈沖/動態(tài)...
取樣長度若取0.25mm時,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;當取樣長度取0.8mm時,普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根據(jù)上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5~0.8μm時,表面加工精度屬于一般水平。勤確的光學平臺...
光學平臺平面度,對于隔振性能,沒有任何影響,甚至若為了追求高平面度,往往會去除掉光學平臺的隔振性能,原因如下:我們知道,光學平臺臺面,若為達到高平面度,通常需要反復磨削,在加工過程中,多次磨削容易使材料產生形變,為了減少形變,通常要加厚臺面,但我們通過振動恢復...
對于當今的多芯片(multi-die packages)封裝,例如堆疊芯片級封裝(SCSP)或系統(tǒng)級封裝(SiP)–開發(fā)用于識別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對提高整體系統(tǒng)產量至關重要。晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任...
優(yōu)良平臺和面包板應具有全鋼結構,包括厚5毫米的頂板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過精確的壓膜工具制成,通過焊接平墊片保證其幾何間距。平臺和面包板中的蜂窩芯結構從頂板一直延伸到底板,中間無過渡層,從而構成更加堅固、熱穩(wěn)定性更強的平...
手動探針臺規(guī)格描述(以實驗室常見的儀準ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側標配顯微鏡升降機構,可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側標配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標配精調旋轉輪,可微...
優(yōu)良平臺和面包板應具有全鋼結構,包括厚5毫米的頂板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接鋼制蜂窩芯。蜂窩芯通過精確的壓膜工具制成,通過焊接平墊片保證其幾何間距。平臺和面包板中的蜂窩芯結構從頂板一直延伸到底板,中間無過渡層,從而構成更加堅固、熱穩(wěn)定性更強的平...
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。...
振幅在數(shù)值上等于位移的大小。對于光學平臺系統(tǒng),臺面受外力作用時,離開平衡位置的距離,同光學平臺系統(tǒng)的結構、受力大小、受力的位置、瞬時加速度、速度、持續(xù)時間、臺面的剛性、隔振系統(tǒng)的阻尼比等諸多因素有著非常復雜的非線性函數(shù)關系,如果標稱振幅的具體指標,需要注明上述...
半導體測試是半導體生產過程中的重要環(huán)節(jié),其測試設備包括測試機、分選機、探針臺。其中,測試機是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設備,分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專業(yè)設備,與測試機共同實現(xiàn)批量自動化測試。受益于國內封裝測試業(yè)產能擴張,半導體測試...
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2020年及2021年,全球半導體測試設備市場規(guī)?;驅⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內半導體技術的發(fā)展,多個晶圓廠及實驗室的建立,國內探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行...
晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,...
探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。平面電機應使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃,氣壓為0.4±0.04MPa。相對于平面電機工...
探針臺主要應用于半導體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-...
當今科學界的科學實驗需要越來越精密的計算和測量,因此一個能與外界環(huán)境和干擾相對隔離的設備儀器對實驗的結果測量時非常重要的。能夠固定各種光學元件以及顯微鏡成像設備等的光學平臺也成為科研實驗中必備的產品。光學平臺很主要的一個目標是消除平臺上任意兩個以上部件之間的相...
相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力...
光學平板通常作為分光鏡或窗口等透過型元件或被用作全反射鏡或光學測量中的基準平面。其中大部分產品有各種指標的組合:形狀,面精度,多種厚度和平行度。臺面采用陣列的M6標準螺紋孔,便于固定各種調整架、支撐架、光具座、位移臺等,是一種便利且性價比高的平臺。產品特點:光...
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序...
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序...
光學平臺隔振腿除了支撐,主要作用是隔離來自地面的振動,隔振性能是其Z重要指標之一。其他性能還包括:各腿高度單獨調節(jié),自動水平,載重能力,高度可選,有無磁性等等。光學平板按其結構可分為:實體光學平板和夾心光學平板兩種。實體光學平板主要是將實體材料進行機械加工而成...
相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力...
定子在加工過程中生產廠家根據(jù)不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
探針臺可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設置在正確的位置,就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針...
探針測試臺x-y工作臺的分類:縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:...
主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的...
晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數(shù):垂直或面內磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸、6寸、碎片;兼容4組探針(RF或DC測試);提供Z軸探針平臺快速升降功能,實現(xiàn)高效測試;磁場強度≥330 mT;直流探針(4組)或微波探針(4組);XY電控行...