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光學(xué)平臺(tái)的隔振性能取決于臺(tái)面本身和支架的隔振性能，總體上說，光學(xué)平臺(tái)的隔振，通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn)：隔振支架：通常來說，氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架，部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(dòng)（常見10～200Hz）減少一至兩個(gè)數(shù)量級(jí)臺(tái)面物理性能：要求臺(tái)面有一定...

我們對(duì)單模光纖間的相互耦合、多模光纖出射光場(chǎng)的光束及光強(qiáng)做了基本的了解及分析，為后面的多-單模光纖耦合系統(tǒng)的架構(gòu)打下基礎(chǔ)。其次，通過對(duì)耦合器件自聚焦透鏡及球透鏡的分析及研究，設(shè)計(jì)并研制出了多模光纖到單模光纖耦合系統(tǒng)的雛形。先使用自聚焦透鏡來匯聚從多模光纖出射光...

探針臺(tái)的作用是什么？探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試...

探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針...

半自動(dòng)型：chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡；針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"；可搭配P...

手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述（以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸，六寸探針臺(tái)為例）：探針臺(tái)載物臺(tái)平整度：5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu)，可抬高顯微鏡，便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm，并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪，可微...

在光芯片領(lǐng)域，芯片耦合封裝問題是光子芯片實(shí)用化過程中的關(guān)鍵問題，芯片性能的測(cè)試也是至關(guān)重要的一步驟，現(xiàn)有的硅光芯片耦合測(cè)試系統(tǒng)是將光芯片的輸入輸出端光纖置于顯微鏡下靠人工手工移動(dòng)微調(diào)架轉(zhuǎn)軸進(jìn)行調(diào)光，并依靠對(duì)輸出光的光功率進(jìn)行監(jiān)控，再反饋到微調(diào)架端進(jìn)行調(diào)試。芯片...

精細(xì)探測(cè)技術(shù)帶來新優(yōu)勢(shì)：先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對(duì)易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng)。以先進(jìn)工藝驅(qū)動(dòng)在有效區(qū)域上墊片的測(cè)試，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個(gè)可能損害到晶圓的來源是探針力...

探針臺(tái)的分類：探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來劃分，也可以按照操作方式來劃分成：手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)：手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒...

對(duì)于當(dāng)今的多芯片（multi-diepackages）封裝，例如堆疊芯片級(jí)封裝(SCSP)或系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)–開發(fā)用于識(shí)別已知測(cè)試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對(duì)提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何...

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋...

手動(dòng)探針臺(tái)：普遍應(yīng)用于，科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段，批量不是很大的情況，大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表，量測(cè)半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動(dòng)態(tài)I...

平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)：平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損，使用壽命長(zhǎng)。而...

晶圓探針器是用于測(cè)試集成電路的機(jī)器（自動(dòng)測(cè)試設(shè)備）。對(duì)于電氣測(cè)試，一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯（或管芯陣列）經(jīng)過電氣測(cè)試后，探針臺(tái)將晶片移動(dòng)到下一個(gè)管芯（或管芯），下一個(gè)測(cè)試就可...

探針臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格的芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試及探卡測(cè)試針臺(tái)座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，下面就由上海...

近來出現(xiàn)的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針，它結(jié)合了探針臺(tái)準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺(tái)探針夾具——接地-信號(hào)-接地（GSG）或者接地-信號(hào)（GS）——一端帶有pogo-pin探針，另一端帶有典型的同軸連接器。這些新...

探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，極大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)需要使用測(cè)試儀和探針...

光學(xué)平板采用好的鋁材制造。與鋼材相比，鋁材硬重比大，有一定的抗振性，溫度傳導(dǎo)性好，不良環(huán)境中溫度形變小，陽(yáng)極氧化后美觀，耐磨，但是鋁材的剛性較差，無法承載較大的重量。因此一般用于承載較小的系統(tǒng)種。而且不宜懸空支撐。隨著眾多研究機(jī)構(gòu)對(duì)光學(xué)平臺(tái)質(zhì)量要求的不斷提高和...

探針臺(tái)是半導(dǎo)體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶...

探針臺(tái)為研究和工程實(shí)驗(yàn)室在測(cè)試運(yùn)行期間移動(dòng)通過多個(gè)溫度點(diǎn)時(shí)，提供前所未有的自動(dòng)化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知，學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進(jìn)入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境，在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來...

平臺(tái)阻尼需要進(jìn)行各種測(cè)試，對(duì)其厚度/面積的比值進(jìn)行優(yōu)化。更大面積的平臺(tái)（邊長(zhǎng)至少為10英尺或3米）具有厚度為12.2英寸（310毫米）的標(biāo)準(zhǔn)厚度，這樣可以提高穩(wěn)定性。對(duì)于更小面積的平臺(tái)，厚度可以是8.3英寸（210毫米）或12.2英寸（310毫米），也可定制更...

不同用途的實(shí)驗(yàn)室，光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)臺(tái)面選擇不一樣，化學(xué)實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目，經(jīng)常要用到酸、堿、有機(jī)溶劑等各類化學(xué)藥品，所以，一般要求實(shí)驗(yàn)臺(tái)臺(tái)面材質(zhì)要耐腐蝕，另外對(duì)于某些高溫化學(xué)實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)室臺(tái)面需要耐高溫。1、陶瓷臺(tái)面：陶瓷臺(tái)面板優(yōu)點(diǎn)是耐高溫，耐腐蝕，絕緣、耐磨度...

用顯微鏡對(duì)圖像進(jìn)行高度放大的成像系統(tǒng)，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點(diǎn)的圖像。如果，在曝光過程中光學(xué)系統(tǒng)的每一部分(照明系統(tǒng)、樣品、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、成像光學(xué)系統(tǒng)和相紙平面)都精確地一同移動(dòng)，不存在相對(duì)位移，成像也會(huì)很清晰。如果樣品相對(duì)物鏡產(chǎn)生了運(yùn)動(dòng)，則像就...

隨著時(shí)間的延續(xù)，不規(guī)則溫度變化會(huì)造成漸漸的結(jié)構(gòu)彎曲。減小溫度效應(yīng)的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如，避免在平臺(tái)下放置散熱設(shè)備，隔絕熱源設(shè)備和硬件，如光源、火焰等。良好的熱傳導(dǎo)性可起到作用，然而，在極端特殊的應(yīng)用中，選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必...

密封平臺(tái)顯微鏡設(shè)備用戶應(yīng)采取接觸固定的方法并予以充分的保護(hù),要確保加工面與玻璃的接觸面積大于5mm，而不應(yīng)是所有光學(xué)平臺(tái)顯微鏡本身就不能再進(jìn)行其他的玻璃保護(hù)處理。用戶一方面要保護(hù)好產(chǎn)品,一方面要保證安全拿人開刀才是很危險(xiǎn)的事小尺寸全硬板狀的平板顯微鏡工作時(shí)應(yīng)該...

光學(xué)平臺(tái)的硬重比對(duì)于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺(tái)的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動(dòng)。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺(tái)可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學(xué)平臺(tái)可以充分的提高硬重比，達(dá)到提...

光學(xué)平臺(tái)實(shí)芯理化板：沒有特殊要求的普通物理實(shí)驗(yàn)臺(tái)可以使用實(shí)芯理化板來作為臺(tái)面，但是要注意保養(yǎng)，并且不可以使用尖利的物品劃擦，三聚氰胺板也可以作為普通物理實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)臺(tái)的臺(tái)面。光學(xué)平臺(tái)石材臺(tái)面板：針對(duì)一些高溫度、高壓力、高磨損的物理實(shí)驗(yàn)，石材類的物理實(shí)驗(yàn)臺(tái)面比較有...

光學(xué)平臺(tái)的硬重比對(duì)于其共振頻率有著重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺(tái)的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動(dòng)。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺(tái)可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形，增加系統(tǒng)內(nèi)部的剛性。內(nèi)部采用蜂窩狀支撐結(jié)構(gòu)的光學(xué)平臺(tái)可以充分的提高硬重比，達(dá)到提...

光學(xué)平臺(tái)普遍運(yùn)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測(cè)等領(lǐng)域，以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動(dòng)隔離的關(guān)鍵裝置中。隨著先進(jìn)的設(shè)備和工藝的發(fā)展，使納米量級(jí)的測(cè)量成為可能。例如，變相光學(xué)干涉儀測(cè)量物體的表面粗糙度，目前可以達(dá)到...

光學(xué)平臺(tái)，又稱光學(xué)面包板、光學(xué)桌面、科學(xué)桌面、實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面，一般平臺(tái)都需要進(jìn)行隔振等措施，保證其不受外界因素干擾，使科學(xué)實(shí)驗(yàn)正常進(jìn)行。光學(xué)平臺(tái)追求水平，首先加工的時(shí)候整個(gè)臺(tái)面是極平的。之后臺(tái)面置放與四個(gè)聯(lián)通的氣囊上，以保證臺(tái)面水平。臺(tái)面上布滿成...