能夠除去抗蝕劑。用本發(fā)明剝離液處理施加有抗蝕劑的基材的條件沒有特別限定,例如,可以舉出在設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液中浸漬基材1~60分鐘左右的條件、將設(shè)為10~80℃的本發(fā)明剝離液向基材噴霧1~60分鐘左右的條件。需要說明的是,浸漬時,可以搖動基材,或?qū)Ρ景l(fā)明剝離液施加超聲波??刮g劑的種類沒有特別限定,可以是例如干膜抗蝕劑、液體抗蝕劑等中的任一種。干膜抗蝕劑的種類也沒有特別限定,例如推薦堿可溶型的干膜抗蝕劑。作為這樣的堿可溶型的干膜抗蝕劑,例如,可以舉出rd-1225(sap用25μm厚)(日立化成株式會社制)等。施加抗蝕劑的基材沒有特別限定,例如,可以舉出印刷布線板、半導體基板、...
按照組成成分和應用工藝不同,濕電子化學品可分為通用性和功能性濕電子化 學品。通用濕電子化學品以超凈高純試劑為主,一般為單組份、單功能、被大量使 用的液體化學品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類 包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等;堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等;有機溶劑類包括甲醇、乙醇、異丙醇、**、乙酸乙酯等;其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復配 類化學品,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎(chǔ)上,加入 水、有機溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學品。例如剝離液、顯影液、蝕 刻液、清洗液等...
所述防濺射擋板下方安裝有印刷輥,所述表面印刷結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)上方安裝有收卷調(diào)速器,所述收卷調(diào)速器一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動電機,所述收卷驅(qū)動電機一側(cè)安裝有輥固定架,所述輥固定架一側(cè)安裝有膠水盛放箱,所述膠水盛放箱下方安裝有點膠頭,所述點膠頭下方安裝有卷邊輥,所述卷邊輥一側(cè)安裝有膠面收卷輥,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭,所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。進一步的,所述主支撐架與所述橫向支架通過螺栓連接,所述伺服變頻電機與所述電機減速箱通過導線連接。進...
具體實施方式現(xiàn)有技術(shù)中剝離液廢液中含有光刻膠樹脂、水和某些金屬雜質(zhì),而剝離液廢液的處理主要是通過焚燒或者低水平回收,其大量的使用但不能夠有效地回收,或者回收后需要通過大量的時間分析其含量以及花大量時間進行再生處理,影響了剝離液廢液的利用率。本發(fā)明對于已知的剝離液的含量以及比例有預先的了解,通過預先制定添加劑的方法,將添加劑以及某些原材料加入后重新制備剝離液新液。本發(fā)明中對于回收的剝離液廢液的進一步處理加工,是采用現(xiàn)有技術(shù)中加壓、蒸餾等方式,可以是采用階段性變壓精餾塔進行加壓、蒸餾處理。表1:已知的剝離液新液的組分:表二:添加劑的組分組分比例:純化液體的組分表四:制備剝離液新液在對純化液...
用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:有少量殘渣4:基本能剝離,但一部分殘渣多5:一半以上能剝離,但一部分殘渣多6:基本不能剝離,但一部分剝離7:不能剝離【表2】由該結(jié)果可知,在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發(fā)明組成,與使用氫氧化鈉的比較組成相比,即使l/s狹窄,也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設(shè)為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理,將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90%以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外,剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設(shè)置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網(wǎng)眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條...
本發(fā)明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術(shù)::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規(guī)制度的問題,而避免其使用。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明要解決的問題因此,本發(fā)明的課題在于,提供容易除去微細的布...
所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動電機(802),所述收卷驅(qū)動電機(802)一側(cè)安裝有輥固定...
701、油墨放置箱;702、油墨加壓器;703、高壓噴頭;704、防濺射擋板;705、印刷輥;8、膠面剝離結(jié)構(gòu);801、收卷調(diào)速器;802、收卷驅(qū)動電機;803、輥固定架;804、膠水盛放箱;805、點膠頭;806、卷邊輥;807、膠面收卷輥;9、電加熱箱;10、熱風噴頭;11、干燥度感應器;12、電氣控制箱;13、液晶操作面板。具體實施方式下面結(jié)合附圖對本**技術(shù)作進一步說明:如圖1-圖4所示,一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機3、電機減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結(jié)構(gòu)7、膠面剝離結(jié)構(gòu)8,所述主支撐架1上方設(shè)置有所述橫向支架2,所述橫向支架2...
用顯微鏡觀察也難以看出的程度)3:有少量殘渣4:基本能剝離,但一部分殘渣多5:一半以上能剝離,但一部分殘渣多6:基本不能剝離,但一部分剝離7:不能剝離【表2】由該結(jié)果可知,在含有溶纖劑的抗蝕劑的剝離液中使用氫氧化鉀代替氫氧化鈉的本發(fā)明組成,與使用氫氧化鈉的比較組成相比,即使l/s狹窄,也能除去抗蝕劑。(3)剝離性能的評價方法將液溫設(shè)為50℃的各剝離液使用噴涂裝置向上述試驗片實施剝離處理,將試驗片的粘性部分的dfr以目視全部面積的90%以上被剝離的時刻作為剝離時間。另外,剝離片尺寸(長邊)是采集噴涂停止后附著于設(shè)置于試驗基板固定用的臺上的排渣用網(wǎng)眼的剝離片以目視實施的。此時的噴涂裝置的條...
1.顯影液:顯影液是一種溶液,用于在PCB板上顯示銅線軌道的比例和位置,使其成為可以用于焊接元件的良好的PCB板。2.剝離液:剝離液是一種特殊的溶劑,用于將PCB板上的銅線軌道剝離開,以便重新焊接元件。3.蝕刻液:蝕刻液是一種酸性溶液,用于將PCB板上的銅線軌道腐蝕掉,以便重新焊接元件。4.清洗液:清洗液是一種混合物,用于將PCB板上的塵埃、污垢和其他殘留物消除干凈,以便進行焊接和裝配。 1.顯影液:是指用于顯影制版的液體,一般由溶劑、硫酸銅、有機酸和抗氧化劑等組成。2.剝離液:是指用于把制版上的顯影膜剝離出來的液體,一般由硝酸鋁、硫酸鈉等組成。3.蝕刻液:是指用于蝕刻制版的液體,一...
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2020-2024年中國剝離液行業(yè)市場供需現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢預測報告》顯示,剝離液屬于濕電子化學品的重要品類,近幾年受新能源、汽車電子等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,我國濕電子化學品市場規(guī)模持續(xù)擴增,2019年我國濕電子化學品市場規(guī)模達到100億元左右,需求量約為138萬噸。隨著剝離液在半導體產(chǎn)業(yè)中的應用增長,剝離液產(chǎn)量以及市場規(guī)模隨之擴大,2019年我國半導體用剝離液需求量約為2.1萬噸,只占據(jù)濕電子化學品總需求量的1.5%左右。從競爭方面來看,當前全球剝離液的生產(chǎn)由濕電子化學品企業(yè)主導,主要集中在歐美、日韓以及中國,代表性企業(yè)有德國巴斯夫、德國漢高、美國霍尼韋爾、美國ATMI公...
在生產(chǎn)方面,剝離液的純度對于應用領(lǐng)域有所限制,高純度剝離液生產(chǎn)工藝復雜,且對于生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制均有較高的要求,整體技術(shù)門檻較高。在資金方面,為取得競爭優(yōu)勢,剝離液生產(chǎn)企業(yè)需要在研發(fā)、技術(shù)、設(shè)備方面投入大量資金,因此為實現(xiàn)剝離液產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)所需的資金門檻相對較高。新思界產(chǎn)業(yè)分析人士表示,剝離液作為半導體制造的關(guān)鍵性濕電子化學品,在半導體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展背景下,剝離液市場需求攀升。就總體來看,剝離液雖然是一種關(guān)鍵化工原料,但由于需求量較少,因此市場規(guī)模偏小,生產(chǎn)企業(yè)由大型濕電子化學品主導,新進入企業(yè)難以尋求發(fā)展機遇。華星光電用的哪家的剝離液?廣東銅蝕刻液剝離液銷售公司 本發(fā)明涉及化學制劑技術(shù)...
含有的胺化合物的質(zhì)量分為:1%-2%。進一步技術(shù)方案中,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質(zhì)量分為:30%-50%;含有胺化合物的質(zhì)量分為:35%-55%;含有緩蝕劑的質(zhì)量分為:6%-12%;含有潤濕劑的質(zhì)量分為:1%-7%。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一種或多種。進一步技術(shù)方案...
本發(fā)明**技術(shù)公開了一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置,包括主支撐架、橫向支架、伺服變頻電機、電機減速箱、印刷品放置箱、表面印刷結(jié)構(gòu)、膠面剝離結(jié)構(gòu),所述主支撐架上方設(shè)置有所述橫向支架,所述橫向支架上方設(shè)置有所述伺服變頻電機,所述卷邊輥一側(cè)安裝有膠面收卷輥,所述膠面剝離結(jié)構(gòu)一側(cè)安裝有電加熱箱,所述電加熱箱下方安裝有熱風噴頭,所述熱風噴頭下方安裝有干燥度感應器,所述干燥度感應器下方安裝有電氣控制箱,所述電氣控制箱上方安裝有液晶操作面板。有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進行剝離,同時能夠?qū)τ∷⑵纺z面進行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。Aprintedpeelingcompound...
2)、伺服變頻電機(3)、電機減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結(jié)構(gòu)(7)、膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述主支撐架(1)上方設(shè)置有所述橫向支架(2),所述橫向支架(2)上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(3),所述伺服變頻電機(3)上方設(shè)置有所述電機減速箱(4),所述電機減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5),所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓...
所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂?;螂逯械囊环N。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術(shù)方案,本發(fā)明技術(shù)方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發(fā)明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去...
添加劑中含有醇醚化合物、胺化合物、緩蝕劑以及潤濕劑;s3:將步驟s1的剝離液廢液與添加劑混合,重新制備剝離液新液,制備過程中加入酰胺化合物或醇醚化合物。光刻膠剝離液為純有機溶劑體系,廢液可通過蒸餾回收80-95%有效物,得出純化液體,而在上述制備方式中,純化液體所含的組分與添加劑所含的組分之間是具有相重復的,可以認為,添加劑是根據(jù)已知的剝離液新液的組分進行配制的,添加劑可以是對純化液體與剝離液新液之間的組分的差別而進行的添加、補充,使得純化液體和添加劑混合后,能夠具有與剝離液新液相同的組分。那么,可以知道,在預先知道剝離液新液的組分的基礎(chǔ)上,可以通過預先配制含有剝離液新液中的某些組分的...
技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,光學領(lǐng)域,電學,生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。技術(shù)背景:微納制造技術(shù)是衡量一個國家制造水平的重要標志,對提高人們的生活水平,促進產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)。基于半導體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),再通過金屬的沉積和溶膠實現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應等會造成曝光...
按照組成成分和應用工藝不同,濕電子化學品可分為通用性和功能性濕電子化 學品。通用濕電子化學品以超凈高純試劑為主,一般為單組份、單功能、被大量使 用的液體化學品,按照性質(zhì)劃分可分為:酸類、堿類、有機溶劑類和其他類。酸類 包括氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸等;堿類包括氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀等;有機溶劑類包括甲醇、乙醇、異丙醇、**、乙酸乙酯等;其他類包括雙氧水等。功能濕電子化學品指通過復配手段達到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復配 類化學品,即在單一的超凈高純試劑(或多種超凈高純試劑的配合)基礎(chǔ)上,加入 水、有機溶劑、螯合劑、表面活性劑混合而成的化學品。例如剝離液、顯影液、蝕 刻液、清洗液等...
在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的***種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供...
含有的胺化合物的質(zhì)量分為:1%-2%。進一步技術(shù)方案中,所述的添加劑中含有醇醚化合物的質(zhì)量分為:30%-50%;含有胺化合物的質(zhì)量分為:35%-55%;含有緩蝕劑的質(zhì)量分為:6%-12%;含有潤濕劑的質(zhì)量分為:1%-7%。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的酰胺化合物以及步驟s2中添加劑所含的酰胺化合物均為n-甲基甲酰胺(nmf)、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的一種或者多種。進一步技術(shù)方案中,所述的步驟s1中剝離液廢液所含的醇醚化合物以及步驟s2中添加劑所含的醇醚化合物均為二乙二醇丁醚(bdg)、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的一種或多種。進一步技術(shù)方案...
縮短了某些領(lǐng)域與發(fā)達國家技術(shù)上的差距.騰田化學技術(shù)團隊具有豐富分析及研發(fā)經(jīng)驗,徹底解決了化工領(lǐng)域如金屬表面處理劑、清洗劑、金屬加工液、橡膠、塑料、膠黏劑、涂料、水處理藥劑、紡織印染助劑等企業(yè)配方改進、新產(chǎn)品研發(fā)的切實問題;正是騰田化學質(zhì)量的口碑,贏得多個領(lǐng)域**企業(yè)關(guān)注,成功地建立精細化學品研發(fā)平臺;在騰田化學共同努力下,民營企業(yè)不斷技術(shù)創(chuàng)新,有利于化工行業(yè)的良好發(fā)展.騰田化學溫馨提示:當你有產(chǎn)品分析數(shù)據(jù),但是無法后期生產(chǎn)的時候,可以聯(lián)系騰田化學科技(上海)有限公司。騰田化學的業(yè)務范圍:1.各類膠粘劑產(chǎn)品配方分析以及產(chǎn)品研發(fā),為客戶提供產(chǎn)品配方及生產(chǎn);2.涂料及油墨產(chǎn)品配方分析,為客戶...
所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,所述***管道包括多個***子管道,每一所述***子管道與一子過濾器連通,且所述多個***子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述第二管道包括多個第三子管道,每一所述第三子管...
濕電子化學品位于電子信息產(chǎn)業(yè)偏中上游的材料領(lǐng)域。濕電子化學品上游是基 礎(chǔ)化工產(chǎn)品,下游是電子信息產(chǎn)業(yè)(信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、 LED、平板顯示、太陽能電池、**等領(lǐng)域)。濕電子化學品的生產(chǎn)工藝主要采用物 理的提純技術(shù)及混配技術(shù),將工業(yè)級的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W試劑,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學試劑。濕電子化學品行業(yè)是精細化工和電 子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點,具有品種多、 質(zhì)量要求高、對環(huán)境潔凈度要求苛刻、產(chǎn)品更新?lián)Q代快、產(chǎn)品附加值高、資金投入 量大等特點,是化工領(lǐng)域相當有發(fā)展前景的領(lǐng)域之一。剝離液蝕刻后的樣貌形態(tài)?;葜萁?..
濕電子化學品位于電子信息產(chǎn)業(yè)偏中上游的材料領(lǐng)域。濕電子化學品上游是基 礎(chǔ)化工產(chǎn)品,下游是電子信息產(chǎn)業(yè)(信息通訊、消費電子、家用電器、汽車電子、 LED、平板顯示、太陽能電池、**等領(lǐng)域)。濕電子化學品的生產(chǎn)工藝主要采用物 理的提純技術(shù)及混配技術(shù),將工業(yè)級的化工原料提純?yōu)槌瑑舾呒兓瘜W試劑,并按照 特定的配方混配為具有特定功能性的化學試劑。濕電子化學品行業(yè)是精細化工和電 子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域,其行業(yè)特色充分融入了兩大行業(yè)的自身特點,具有品種多、 質(zhì)量要求高、對環(huán)境潔凈度要求苛刻、產(chǎn)品更新?lián)Q代快、產(chǎn)品附加值高、資金投入 量大等特點,是化工領(lǐng)域相當有發(fā)展前景的領(lǐng)域之一。剝離液的價格哪家比較優(yōu)惠?廣州銀...
2)、伺服變頻電機(3)、電機減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結(jié)構(gòu)(7)、膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述主支撐架(1)上方設(shè)置有所述橫向支架(2),所述橫向支架(2)上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(3),所述伺服變頻電機(3)上方設(shè)置有所述電機減速箱(4),所述電機減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5),所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓...
例如即使為50/50μm以下的線/間距、推薦10/10~40/40μm的線/間距也能除去抗蝕劑。實施例以下,舉出實施例對本發(fā)明進行詳細說明,但本發(fā)明不受這些實施例任何限定。實施例1抗蝕劑的剝離液的制備:將以下的表1中記載的成分在水中混合、溶解而制備抗蝕劑的剝離液?!颈?】(mol/l)氫氧化鉀氫氧化鈉異丙基溶纖劑硅酸鉀本發(fā)明組成:(1)基板制作方法為了提**膜抗蝕劑一基材間的密合,將覆銅層疊板(古河電工(株式會社)制:ccl:電解銅箔gts35μm箔)通過粗化處理(jcu制:ebakemuneobrownnbsii、蝕刻量μm)使表面粗度成為ra約μm。其后,使用干膜抗蝕劑(日立化成制...
所述硫脲類緩蝕劑包括硫脲、苯基硫脲或月桂?;螂逯械囊环N。具體的,所述聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑為聚氧乙烯聚氧丙烯單丁基醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基聚氧乙烯醚、二壬基酚聚氧乙烯醚中的一種。采用上述技術(shù)方案,本發(fā)明技術(shù)方案的有益效果是:本用于疊層晶圓的光刻膠剝離液具有較快的剝離速度,對金屬的腐蝕率低,而且使用壽命長。具體實施方式本發(fā)明涉及一種用于疊層晶圓的光刻膠剝離液,配方包括10~20wt%二甲基亞砜,10~20wt%一乙醇胺,5~11wt%四甲基氫氧化銨,~1wt%硫脲類緩蝕劑和~2wt%聚氧乙烯醚類非離子型表面活性劑,5~15wt%n-甲基吡咯烷酮和余量的去...
所述過濾器包括多個并列排布的子過濾器,所述***管道包括多個***子管道,每一所述***子管道與一子過濾器連通,且所述多個***子管道與當前級腔室對應的存儲箱連通。在一些實施例中,所述第二管道包括公共子管道及多個第二子管道,每一所述第二子管道與一子過濾器連通,每一所述第二子管道與所述公共子管道連通,所述公共子管道與所述下一級腔室連通。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述閥門開關(guān)設(shè)置在每一所述***子管道及每一所述第二子管道上。在一些實施例中,所述第二管道包括多個第三子管道,每一所述第三子管...
博洋股份擁有甲類、丙類的?;飞a(chǎn)和倉儲**廠房,功能包括了液體稀釋、固體溶解、液體和固體混配等工藝要求的定制研發(fā)類別Category?;返燃塇azardouschemicalsgrade設(shè)備材質(zhì)Materialofequipment工藝TechnologyOEM定制加工OEM第三類Thethird(flammableliquilds)不銹鋼Stainlesssteel溶解、稀釋Dissolutionanddilution第五類Thefifth(oxidizingsubstanceandorganicperoxides)搪瓷Enamel固液配料Solid-liquidingredients第...