1. 為提高船用低速柴油機(jī)柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命,采用離子鍍技術(shù)與多弧磁控耦合鍍膜技術(shù)分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。這2種涂層晶體生長良好、結(jié)構(gòu)連續(xù)致密,均未出現(xiàn)分層、開裂及剝離的現(xiàn)象,DLC涂層相對光滑,粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm; DLC涂層表面納米硬度、彈性模量及泊松比均高于TiN涂層;無論在空氣中還是重油環(huán)境下,TiN涂層摩擦系數(shù)均高于DLC涂層,耐磨性低于DLC涂層;臺架試驗后TiN涂層柱塞表面出現(xiàn)比較明顯的平行狀溝槽磨痕,而且整體磨損比較嚴(yán)重,而DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺,不易被發(fā)現(xiàn),進(jìn)一步證明DLC的耐磨損性能更優(yōu)越。要...
1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波...
DLC涂層在汽車發(fā)動機(jī)零件上的應(yīng)用汽車發(fā)動機(jī)中的活塞環(huán)安裝在活塞側(cè)壁的凹槽內(nèi),環(huán)外圓面緊貼在氣缸內(nèi)壁。隨著活塞在氣缸內(nèi)上下往復(fù)運(yùn)動,環(huán)面不斷地刮擦氣缸內(nèi)壁,產(chǎn)生較大的摩擦功損耗,工況比較惡劣,影響到發(fā)動機(jī)整機(jī)的能耗和使用壽命;含氫DLC涂層(以下簡稱DLC)和無氫DLC涂層(以下簡稱TaC)作為一種新的涂層材料和技術(shù),因為具有更加優(yōu)異的性能得到業(yè)界的比較好的重視。與CrN相比,DLC可以有效減少摩擦,進(jìn)一步降低摩擦功損耗,重要的一點是更加不易拉缸。在以非燃油為燃料的新能源汽車發(fā)動機(jī)中,DLC涂層的活塞環(huán)可以在無潤滑油的干態(tài)摩擦條件下起到良好的潤滑和耐磨減磨的作用,這也是目前解決這類活塞環(huán)壽命和...
DLC涂層應(yīng)用 (1)鉆頭、銑刀DLC涂層可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。 (2)光盤模具及其輔助模具光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目前,國外大多采用DLC膜層,部分提高了模具的壽命和盤片的質(zhì)量。鍍膜之后有硬度高,摩擦系數(shù)低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好且環(huán)保等特點。 (3)芯軸DLC涂層的耐磨減摩及耐腐蝕性,可顯著提高齒輪、芯軸等運(yùn)動部件的使用性能及壽命。 (4)刀片上的應(yīng)用現(xiàn)在DLC也在各種刀片如剪刀、刮胡刀等上的應(yīng)用...
1.通過調(diào)節(jié)DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進(jìn)而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環(huán)境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。 2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)。由于它的組成、光學(xué)透過率、硬度、折射率和在化學(xué)腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應(yīng)用領(lǐng)域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。 DLC涂層與天然鉆石一樣硬,甚至更硬,切削刀具涂上極高硬度和低摩擦的DLC,它可劃傷鉆石,在上面留下劃痕。煙臺加硬DLC生產(chǎn)企業(yè)DLC1.類石墨碳...
1.類金剛石(DLC)薄膜由于其優(yōu)異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關(guān)節(jié)材質(zhì)中。該文綜述了DLC薄膜在人工關(guān)節(jié)摩擦副表面改性的研究現(xiàn)狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內(nèi)應(yīng)力。介紹了提高DLC膜基結(jié)合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進(jìn)展。接著,對不同DLC薄膜人工關(guān)節(jié)摩擦副的研究成果進(jìn)行了闡述。較為終,針對DLC薄膜存在的問題提出了今后DLC薄膜人造關(guān)節(jié)的研究方向。 2.關(guān)節(jié)置換術(shù)是目前醫(yī)治關(guān)節(jié)疾病較為直接、有效的手段,隨著國民經(jīng)濟(jì)的增長,人工關(guān)節(jié)在我國的需求量不斷增加。通過比較發(fā)現(xiàn),類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關(guān)節(jié)耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應(yīng)用前景。 DL...
1. 類金剛石(DLC)薄膜由于其優(yōu)異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關(guān)節(jié)材質(zhì)中。該文綜述了DLC薄膜在人工關(guān)節(jié)摩擦副表面改性的研究現(xiàn)狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內(nèi)應(yīng)力。介紹了提高DLC膜基結(jié)合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進(jìn)展。接著,對不同DLC薄膜人工關(guān)節(jié)摩擦副的研究成果進(jìn)行了闡述。然后,針對DLC薄膜存在的問題提出了今后DLC薄膜人造關(guān)節(jié)的研究方向。關(guān)節(jié)置換術(shù)是目前解決關(guān)節(jié)疾病明顯直接、有效的手段,隨著國民經(jīng)濟(jì)的增長,人工關(guān)節(jié)在我國的需求量不斷增加。通過比較發(fā)現(xiàn),類金剛石(DLC)薄膜在提高人工關(guān)節(jié)耐磨損、耐腐蝕性能方面具有更好的應(yīng)用前景。DLC適合用于各種醫(yī)療...
1. 為提高船用低速柴油機(jī)柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命,采用離子鍍技術(shù)與多弧磁控耦合鍍膜技術(shù)分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。這2種涂層晶體生長良好、結(jié)構(gòu)連續(xù)致密,均未出現(xiàn)分層、開裂及剝離的現(xiàn)象,DLC涂層相對光滑,粗糙度Ra為0.10μm,而TiN涂層Ra為0.16μm; DLC涂層表面納米硬度、彈性模量及泊松比均高于TiN涂層;無論在空氣中還是重油環(huán)境下,TiN涂層摩擦系數(shù)均高于DLC涂層,耐磨性低于DLC涂層;臺架試驗后TiN涂層柱塞表面出現(xiàn)比較明顯的平行狀溝槽磨痕,而且整體磨損比較嚴(yán)重,而DLC涂層柱塞表面的磨痕非常窄并且淺,不易被發(fā)現(xiàn),進(jìn)一步證明DLC的耐磨損性能更優(yōu)越。D...
DLC涂層在模具上的應(yīng)用①沖壓成形模具:凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。②注塑成形模具:模腔和型芯、頂桿及各類鑲件等。③半導(dǎo)體模具:引腳成形模具的刀口件、封裝模具的成形鑲件和鑲塊等。④其他零部件:軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動滾輪等。DLC涂層具有高硬度、表面平滑、低磨擦系數(shù)、易脫模、耐磨耗、耐酸堿、熱導(dǎo)性佳及低溫制程等特性。材料的高壓沖刷與顆粒很難對其造成損傷,因而遠(yuǎn)比其它材料更適合應(yīng)用在模具的保護(hù)上,大幅度地增加模具使用壽命。8. 以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進(jìn)行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果。煙臺注塑模具DLC價格DLC1. 為提高...
1.類金剛石薄膜(DLC)具有優(yōu)良的摩擦性能和力學(xué)性能,也具有較好的耐腐蝕性、組織相容性和血液相容性,可被廣泛應(yīng)用于骨科、心血管和牙科等領(lǐng)域,是一種很有前途的生物醫(yī)學(xué)材料。 2.實驗結(jié)論表明DLC有著較好的抗凝血性能,并且與其他醫(yī)用材料對比其抗凝血效果也更佳。另外發(fā)現(xiàn)DLC抑菌能力并不突出,但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數(shù)等措施使其成為較為理想的無機(jī)抑菌薄膜材料。兩種性能的結(jié)合使DLC可能成為人體植入材料的表面鍍層。 DLC涂層在醫(yī)療器械的應(yīng)用,以DLC涂層具有很好的生物相容性,它對蛋白質(zhì)的吸附率高,對血小板的吸附率低。寧波注塑模具DLC生產(chǎn)企業(yè)DLC 1.通過調(diào)節(jié)DLC薄膜的沉...
1. 類金剛石碳膜(Diamond-like carbon films,簡稱DLC膜)作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能,如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等,可較為用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,具有良好的應(yīng)用前景。我們開發(fā)了等離子體-離子束源增強(qiáng)沉積系統(tǒng),并同過該系統(tǒng)中的磁過濾真空陰極弧和非平衡磁控濺射來進(jìn)行DLC膜的開發(fā)。該項技術(shù)較為用于電子、裝飾、宇航、機(jī)械和信息等領(lǐng)域,用于摩擦、光學(xué)功能等用途。我國技術(shù)正處于發(fā)展和完善階段,有巨大市場潛力。DLC涂層適用于極端磨損情況和高相對速度,甚至是在無潤滑運(yùn)轉(zhuǎn)的條件下使用。常州DLC功能DL...
DLC涂層應(yīng)用 (1)鉆頭、銑刀DLC涂層可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。 (2)光盤模具及其輔助模具光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目前,國外大多采用DLC膜層,部分提高了模具的壽命和盤片的質(zhì)量。鍍膜之后有硬度高,摩擦系數(shù)低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好且環(huán)保等特點。 (3)芯軸DLC涂層的耐磨減摩及耐腐蝕性,可顯著提高齒輪、芯軸等運(yùn)動部件的使用性能及壽命。 (4)刀片上的應(yīng)用現(xiàn)在DLC也在各種刀片如剪刀、刮胡刀等上的應(yīng)用...
目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5~1.2μm。采用無損設(shè)備對不同沉積時間(10、15、20、1. 以類金剛石(DLC)薄膜作為電極進(jìn)行污水處理時,具有比IrO2/Ta2O5鈦涂層電極、PbO2等電極更好的氧化效果,這是由于DLC具有更寬的電勢窗口和更低的背景電流.此外,DLC還具有耐酸、耐腐蝕以及低吸附特性等特點,不會在酸性、腐蝕性的污水中破損,因此比其他的電極更適合在污水中長時間工作.為此,對DLC的...
醫(yī)用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關(guān),對其進(jìn)行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細(xì)胞相容性、血液相容性及彈性、化學(xué)惰性等特點,而成為一種很有應(yīng)用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料,分析發(fā)現(xiàn):上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結(jié)構(gòu)和成分密切相關(guān)。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導(dǎo)致的,膜層本身并不參加電化學(xué)反應(yīng)。電化學(xué)腐蝕反應(yīng)過程為:1)形成閉塞電池;2)自催化過程促進(jìn)基體材料的腐蝕;3)由于基體材料被破壞,薄膜出現(xiàn)剝離現(xiàn)象。DLC涂層在模具上的應(yīng)用,沖壓成形模具:凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。嘉興醫(yī)療器械DLC加工中心DLCD...
醫(yī)用植入器件的生物相容性與表面性能密切相關(guān),對其進(jìn)行有效的表面改性處理是提高其生物相容性的途徑之一。類金剛石薄膜具有良好的細(xì)胞相容性、血液相容性及彈性、化學(xué)惰性等特點,而成為一種很有應(yīng)用前景的生物膜材料。本文針對植入器件用316L不銹鋼材料,分析發(fā)現(xiàn):上述膜改性體系的耐蝕性能與薄膜的結(jié)構(gòu)和成分密切相關(guān)。它們的腐蝕是由于膜層中存在的缺陷導(dǎo)致的,膜層本身并不參加電化學(xué)反應(yīng)。電化學(xué)腐蝕反應(yīng)過程為:1)形成閉塞電池;2)自催化過程促進(jìn)基體材料的腐蝕;3)由于基體材料被破壞,薄膜出現(xiàn)剝離現(xiàn)象。DLC涂層在模具上的應(yīng)用,注塑成形模具:模腔和型芯、頂桿及各類鑲件等。江蘇涂層DLC功能DLC DLC涂層適用...
1. 為解決輪胎模具粘膠、腐蝕、積碳、易磨損、難清洗等問題,通常在輪胎模具表面噴涂Teflon涂層。但是,Teflon涂層的硬度較低,耐磨性差,需要定期重復(fù)噴涂。類金剛石涂層(DLC)作為一種新型功能涂層材料,具有高硬度和高彈性模量、耐磨損、高結(jié)合強(qiáng)度等優(yōu)點,具有應(yīng)用在輪胎模具表面的潛力。輪胎模具DLC涂層代替Teflon涂層,解決Teflon涂層的硬度較低、耐磨性差這一難題,具有重要的現(xiàn)實意義。為探究DLC涂層在輪胎模具上應(yīng)用的可行性,本課題主要進(jìn)行了以下幾個方面的研究:(1)加工并制備了基體試樣,并在試樣上沉積了含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層。DLC是工業(yè)領(lǐng)域常用涂層之一,是一種...
1. 柴油機(jī)關(guān)鍵部件活塞銷受到周期性的交變機(jī)械載荷和熱載荷作用,易因粘著導(dǎo)致磨損。為提高柴油機(jī)活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti 3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層,結(jié)果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質(zhì)和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結(jié)合強(qiáng)度、更優(yōu)的摩擦學(xué)性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質(zhì)和CrC、Ti C化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高...
采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關(guān)系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結(jié)合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機(jī)制。結(jié)果薄膜的厚度值在預(yù)設(shè)范圍以內(nèi),該方法制備的薄膜結(jié)構(gòu)致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠(yuǎn)離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的Cr N/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結(jié)合力等級比較高可以達(dá)到工業(yè)級的HF2。表面輪廓無較大量動,表面粗糙度Ra...
DLC涂層應(yīng)用 (1)鉆頭、銑刀DLC涂層可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。 (2)光盤模具及其輔助模具光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目前,國外大多采用DLC膜層,部分提高了模具的壽命和盤片的質(zhì)量。鍍膜之后有硬度高,摩擦系數(shù)低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好且環(huán)保等特點。 (3)芯軸DLC涂層的耐磨減摩及耐腐蝕性,可顯著提高齒輪、芯軸等運(yùn)動部件的使用性能及壽命。 (4)刀片上的應(yīng)用現(xiàn)在DLC也在各種刀片如剪刀、刮胡刀等上的應(yīng)用...
采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關(guān)系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結(jié)合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機(jī)制。結(jié)果薄膜的厚度值在預(yù)設(shè)范圍以內(nèi),該方法制備的薄膜結(jié)構(gòu)致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠(yuǎn)離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的Cr N/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。薄膜的結(jié)合力等級比較高可以達(dá)到工業(yè)級的HF2。表面輪廓無較大量動,表面粗糙度Ra...
DLC涂層在汽車發(fā)動機(jī)零件上的應(yīng)用汽車發(fā)動機(jī)中的活塞環(huán)安裝在活塞側(cè)壁的凹槽內(nèi),環(huán)外圓面緊貼在氣缸內(nèi)壁。隨著活塞在氣缸內(nèi)上下往復(fù)運(yùn)動,環(huán)面不斷地刮擦氣缸內(nèi)壁,產(chǎn)生較大的摩擦功損耗,工況比較惡劣,影響到發(fā)動機(jī)整機(jī)的能耗和使用壽命;含氫DLC涂層(以下簡稱DLC)和無氫DLC涂層(以下簡稱TaC)作為一種新的涂層材料和技術(shù),因為具有更加優(yōu)異的性能得到業(yè)界的比較好的重視。與CrN相比,DLC可以有效減少摩擦,進(jìn)一步降低摩擦功損耗,重要的一點是更加不易拉缸。在以非燃油為燃料的新能源汽車發(fā)動機(jī)中,DLC涂層的活塞環(huán)可以在無潤滑油的干態(tài)摩擦條件下起到良好的潤滑和耐磨減磨的作用,這也是目前解決這類活塞環(huán)壽命和...
DLC涂層簡介 DLC涂層在在刀具上的應(yīng)用,采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命,使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能,從而大幅度提高機(jī)械加工效率。DLC涂層是工業(yè)領(lǐng)域常用涂層之一,是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的涂層物質(zhì)。 類金剛石(DLC)涂層是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,因此通常作為耐磨涂層使用。 DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術(shù)生產(chǎn),包括物物物理相沉積 (PVD) ,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) ,離子束輔助沉積 (IBAD) ,陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積...
1.通過調(diào)節(jié)DLC薄膜的沉積工藝可以改變DLC薄膜中sp2雜化碳的含量以及氫的含量,進(jìn)而影響DLC薄膜的摩擦性能;真空、惰性氣體和低濕環(huán)境有利于獲得更好的摩擦效果;過渡層和偏壓有利于提高DLC薄膜與基底之間的附著力,其摩擦性能也會得到提升。 2.類金剛石膜是無定形碳中含sp3鍵的亞穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)。由于它的組成、光學(xué)透過率、硬度、折射率和在化學(xué)腐蝕劑中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金剛石,其應(yīng)用領(lǐng)域不斷被拓寬,因此對類金剛石的研究也日益成為熱點。 DLC可適合用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,具有良好的應(yīng)用前景?;窗材湍LCDLC1輪胎模具DLC涂層代替Teflon涂層,解決T...
1. 柴油機(jī)關(guān)鍵部件活塞銷受到周期性的交變機(jī)械載荷和熱載荷作用,易因粘著導(dǎo)致磨損。為提高柴油機(jī)活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti 3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層,結(jié)果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明顯缺陷和孔洞,但都附著少量的顆粒物,相較而言摻雜Cr的DLC涂層表面更加平滑;摻雜Cr的DLC涂層,Cr以單質(zhì)和CrC化合物形式存在,具有更高的膜-基結(jié)合強(qiáng)度、更優(yōu)的摩擦學(xué)性能;摻雜Cr與Ti的DLC涂層性能與摻雜Cr的DLC涂層類似,Cr、Ti以單質(zhì)和CrC、Ti C化合物的形式存在;摻雜W的DLC涂層,由于生成了WC化合物,涂層脆性高...
按輪胎模具加工工藝制備35#鋼基體試樣,Teflon涂層完全按照輪胎模具涂層的工藝噴涂,含氫DLC、無氫DLC涂層分別采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積和電弧離子鍍沉積。 對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的結(jié)構(gòu)、成分和表面形貌進(jìn)行了分析和比較。三種涂層具有不同的粗糙度、斷面結(jié)構(gòu)、元素組成,而不同成分、結(jié)構(gòu)會對涂層的表面性能造成不同的影響,因此對三種涂層的結(jié)構(gòu)、成分進(jìn)行表征,為涂層表面性能的改進(jìn)提供理論依據(jù)。結(jié)果表明,兩種DLC涂層粗糙度均小于Teflon涂層的粗糙度,三種涂層結(jié)構(gòu)均勻致密,無明顯沉積裂紋產(chǎn)生。 對含氫DLC、無氫DLC和Teflon涂層的表面性能進(jìn)行測量與比...
1. 類金剛石碳膜(diamond-like carbon films,簡稱DLC膜),是含有類似金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳膜,也是我們在這里真正需要介紹的一種。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的來源和制備方法的差異,DLC膜可分為含氫和不含氫兩大類。DLC膜是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,在含氫DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。我們從1996年起開始磁過濾真空弧及沉積DLC膜研究,正在完善工業(yè)化技術(shù)。如等離子體源沉積法、離子束源沉積法、孿生中頻磁控濺射法、真空陰極電弧沉積法和脈沖高壓放點等。不同的制備方法,DLC膜的成分、結(jié)構(gòu)和性能不同...
1. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波...
DLC涂層的主要性能1、力學(xué)性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達(dá)到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達(dá)50GPa以上,而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達(dá)21GPa。膜層內(nèi)的成分對膜層的硬度有一定的影響,Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。b、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度。薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)...
1.類金剛石(Diamond-likeCarbon,DLC)薄膜是碳以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合形成的一種亞穩(wěn)態(tài)非晶材料,具有高硬度、高耐磨性、良好的透明性和生物相容性等獨特的性質(zhì)。采用不同的工藝方法制備的DLC薄膜具有不同的微觀結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。特別地,作為光學(xué)材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內(nèi)調(diào)控。 2. 利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變...
DLC涂層簡介 DLC涂層在在刀具上的應(yīng)用,采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命,使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能,從而大幅度提高機(jī)械加工效率。DLC涂層是工業(yè)領(lǐng)域常用涂層之一,是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的涂層物質(zhì)。 類金剛石(DLC)涂層是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,因此通常作為耐磨涂層使用。 DLC涂層可以使用各種薄膜沉積技術(shù)生產(chǎn),包括物物物理相沉積 (PVD) ,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) ,離子束輔助沉積 (IBAD) ,陰極電弧沉積 (CAD) 和脈沖激光沉積...