AZO透明導電薄膜具有高可見光透過率和低電阻率的特點,因此可以作為平面顯示器和太陽能平面電極材料,也可用在節(jié)能方面,如建筑玻璃表面和汽車玻璃表面近年來,隨著液晶顯示、觸控面板、有機發(fā)光顯示、太陽能電池等的發(fā)展,使得透明導電薄膜成為關鍵性材料之一。目前,常用的錫...
氧化鋁薄膜是一種重要的功能薄膜材料,由于具有較高的介電常數(shù)、高熱導率、抗輻照損傷能力強、抗堿離子滲透能力強以及在很寬的波長范圍內(nèi)透明等諸多優(yōu)異的物理、化學性能,使其在微電子器件、電致發(fā)光器件、光波導器件以及抗腐蝕涂層等眾多領域有著廣的應用。磁控濺射具有濺射鍍膜...
AZO透明導電薄膜具有高可見光透過率和低電阻率的特點,因此可以作為平面顯示器和太陽能平面電極材料,也可用在節(jié)能方面,如建筑玻璃表面和汽車玻璃表面近年來,隨著液晶顯示、觸控面板、有機發(fā)光顯示、太陽能電池等的發(fā)展,使得透明導電薄膜成為關鍵性材料之一。目前,常用的錫...
鍍膜的主要工藝有PVD和化學氣相沉積(CVD)。(1)PVD技術是目前主流鍍膜方法,其中的濺射工藝在半導體、顯示面板應用廣。PVD技術分為真空蒸鍍法、濺鍍法和離子鍍法。三種方法各有優(yōu)劣勢:真空蒸鍍法對于基板材質沒有限制;濺鍍法薄膜的性質、均勻度都比蒸鍍薄膜好;...
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控...
ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近60%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。中低端ITO靶材有玻...
陶瓷靶材和金屬靶材各自優(yōu)缺點:1.導電性:金屬靶材都具有導電性,可以適應各種不同電源類型機臺,而陶瓷靶材因為大部分不具備導電性,只能使用射頻電源. 2.導熱性:金屬靶材導熱性能好,濺射時可以大功率運行.陶瓷靶材導熱性較差,濺射時功率不宜過高.復合性:3. 金屬...
主要PVD方法的特點:半導體、顯示面板使用濺射鍍膜法(1)金屬提純:靶材純度要求高。金屬提純的主要方式有化學提純與物理提純,化學提純主要分為濕法提純與火法提純,通過電解、熱分解等方式析出主金屬。物理提純則是通過蒸發(fā)結晶、電遷移、真空熔融法等步驟提純得到主金屬。...
靶材綁定背板流程:一、什么是綁定綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。靶材綁定常用釬焊,釬料常用In、Sn、In–Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/㎝2。二、為什么要綁定 1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如I...
背板材料:無氧銅(OFC)–目前經(jīng)常使用的作背板的材料。因為無氧銅具有良好的導電性和導熱性,而且比較容易機械加工。如果保養(yǎng)適當,無氧銅背板可以重復使用10次甚至更多。鉬(Mo)–在某些使用條件比較特殊的情況下,如需要進行高溫貼合的條件下,無氧銅容易被氧化和...
從整體上看,ITO在光電綜合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的優(yōu)勢或將為靶材帶來降本空間。在相關實驗中利用AZO靶材和ITO靶材制備了3組實驗薄膜(共6份樣品)。實驗中主要從光學性能和電學性能上對AZO薄膜和ITO薄膜進行了對比。在特定情況下AZO靶材與IT...
江蘇迪納科精細材料股份有限公司是一家主要生產(chǎn)和銷售陶瓷,金屬,合金等各類型靶材。陶瓷靶材以氧化銦基和氧化鋅基為主,金屬和合金靶材以各種熔煉工藝和擠壓鍛造工藝為主。 ITO靶材應用領域 1、平板顯示器(純度4N)在平板顯示領域,ITO靶材主要用于...
陶瓷靶材陶瓷靶材按化學組成,可分為氧化物陶瓷靶材、硅化物陶瓷靶材、氮化物陶瓷靶材、氟化物陶瓷靶材和硫化物陶瓷靶材等.陶瓷靶材是比較脆的靶材,通常陶瓷靶材都會綁定背板一起使用,背板除了在濺射過程中可支撐陶瓷靶材,還可以在濺射過程中起到熱傳遞的作用.陶瓷靶材的種類...
氧化鈮由于其獨特的物理和化學性質而被廣地應用于現(xiàn)代技術的許多領域。例如,利用其較強的紫外線吸收能力,可將其用作紫外敏感材料的保護膜;利用其薄膜折射率較高的特性,可與SiO2等配合可制備具有不同折射率的薄膜。由于這些明顯的優(yōu)點,氧化鈮靶材被廣地應用于太陽能電池、...
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控...
從整體上看,ITO在光電綜合性能上高于AZO靶材,但AZO靶材的優(yōu)勢或將為靶材帶來降本空間。在相關實驗中利用AZO靶材和ITO靶材制備了3組實驗薄膜(共6份樣品)。實驗中主要從光學性能和電學性能上對AZO薄膜和ITO薄膜進行了對比。在特定情況下AZO靶材與IT...
ITO陶瓷靶材在磁控濺射過程中,靶材表面受到Ar轟擊和被濺射原子再沉積的多重作用而發(fā)生復雜的物理化學變化,ITO靶材表面會產(chǎn)生許多小的結瘤,這個現(xiàn)象被稱為ITO靶材的毒化現(xiàn)象。靶材結瘤毒化后.靶材的濺射速率降低,孤光放電頻率增加,所制備的薄膜電阻增加,透光率降...
陶瓷靶材是一種重要的濺射靶材,廣泛應用于各個領域的薄膜制備和表面處理。作為一種高純度、高密度的材料,陶瓷靶材具有許多獨特的特點和優(yōu)勢。首先,陶瓷靶材具有優(yōu)異的化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性,能夠在高溫和復雜的化學環(huán)境下保持穩(wěn)定的性能。這使得陶瓷靶材在各種薄膜制備過程中能...
靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極,晶體硅太陽能電池較少用到濺射靶材。太陽能電池主要包括晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池,晶體硅太陽能電池轉化效率較高、性能穩(wěn)定,且各個產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)比較成熟,占據(jù)了太陽能電池市場的主導地位。而晶體硅太陽能電池按照生產(chǎn)工藝不同可分...
靶材由“靶坯”和“背板”焊接而成。(1)靶坯是高速離子束流轟擊的目標材料,屬于濺射靶材的主要部分,涉及高純金屬、晶粒取向調控。在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。(2)背板起到主要起到固定濺射靶材的作用,涉及...
氧化鈮由于其獨特的物理和化學性質而被廣地應用于現(xiàn)代技術的許多領域。例如,利用其較強的紫外線吸收能力,可將其用作紫外敏感材料的保護膜;利用其薄膜折射率較高的特性,可與SiO2等配合可制備具有不同折射率的薄膜。由于這些明顯的優(yōu)點,氧化鈮靶材被廣地應用于太陽能電池、...
靶材安裝注意事項靶材安裝過程中非常重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射腔體冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響,導致在濺射過程中熱量無法散發(fā)**終會造成靶材...
濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控...
氧化鋁薄膜是一種重要的功能薄膜材料,由于具有較高的介電常數(shù)、高熱導率、抗輻照損傷能力強、抗堿離子滲透能力強以及在很寬的波長范圍內(nèi)透明等諸多優(yōu)異的物理、化學性能,使其在微電子器件、電致發(fā)光器件、光波導器件以及抗腐蝕涂層等眾多領域有著廣的應用。磁控濺射具有濺射鍍膜...
靶材安裝注意事項靶材安裝過程中非常重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射腔體冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴重或背板翹曲嚴重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響,導致在濺射過程中熱量無法散發(fā)**終會造成靶材...
鍍膜的主要工藝有PVD和化學氣相沉積(CVD)。(1)PVD技術是目前主流鍍膜方法,其中的濺射工藝在半導體、顯示面板應用廣。PVD技術分為真空蒸鍍法、濺鍍法和離子鍍法。三種方法各有優(yōu)劣勢:真空蒸鍍法對于基板材質沒有限制;濺鍍法薄膜的性質、均勻度都比蒸鍍薄膜好;...
江蘇迪納科精細材料股份有限公司是一家主要生產(chǎn)和銷售陶瓷,金屬,合金等各類型靶材。陶瓷靶材以氧化銦基和氧化鋅基為主,金屬和合金靶材以各種熔煉工藝和擠壓鍛造工藝為主。 ITO靶材應用領域 1、平板顯示器(純度4N)在平板顯示領域,ITO靶材主要用于...
透明導電薄膜的種類很多,主要有 ITO,TCO,AZO 等,其中 ITO的性能比較好,ITO具有高透光率,低電阻率。目前 ITO 的制備方法主要是磁控濺射,要獲得高質量的 ITO薄膜,制備高密度、高純度和高均勻性的 ITO 靶材是關鍵。高質量的成品 ITO...
ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近60%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。中低端ITO靶材有玻...
AZO透明導電薄膜具有高可見光透過率和低電阻率的特點,因此可以作為平面顯示器和太陽能平面電極材料,也可用在節(jié)能方面,如建筑玻璃表面和汽車玻璃表面近年來,隨著液晶顯示、觸控面板、有機發(fā)光顯示、太陽能電池等的發(fā)展,使得透明導電薄膜成為關鍵性材料之一。目前,常用的錫...