微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的...
現(xiàn)有物理打磨技術(shù),接觸式加工,磨損基石,需要切削油, 加工后需要清洗,異形件打磨和局部打磨有難度。納秒激光打磨有以下問題:產(chǎn)生細微裂紋,熔化-再凝固產(chǎn)生熱變形, 表面物性發(fā)生變化, 周圍會產(chǎn)生多個顆粒。飛秒激光打磨:改善現(xiàn)有打磨技術(shù)的問題 -熱影響極小,可以局...
隨著科技的不斷進步和市場需求的變化,飛秒激光切割機在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用將更加廣。未來,飛秒激光切割機將朝著更高精度、更高效率、更環(huán)保的方向發(fā)展。同時,隨著人工智能和機器人技術(shù)的發(fā)展,飛秒激光切割機將實現(xiàn)更高程度的智能化和自動化,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。此外,飛...
微泰利用激光制造和供應(yīng)高質(zhì)量的超精密零件,包括鉆孔、成形、切割和拋光。 它可以加工多種材料,包括 PCD PCBN、陶瓷、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼和鉬,包括直接用于 MLCC 和半導(dǎo)體生產(chǎn)線的零件。 他們生產(chǎn)的各種部件,甚至是進入該生產(chǎn)線的設(shè)備。 特別是,我...
微泰,傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,半導(dǎo)體加工,可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用:半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,傳輸閥 (I...
微泰,傳輸閥 (I-MOTION)、I型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,半導(dǎo)體加工,可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用:半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,傳輸閥 (I...
微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨特的三重保護保護環(huán)機能:采用鋁質(zhì)材料,減輕重量的同時提高保護環(huán)內(nèi)部粗糙度,有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附;通過提升保護環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計,且保護環(huán)逐步收窄,進一步提升流速,防止粉塵黏附;采用三元系 O 型圈,確保保護環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定,可保證 30 萬次...
微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點:首先,它已向中國臺灣的 Micron、UMC、AKT 等,新加坡的 Micron、Global Foundries,馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,且品質(zhì)得到認(rèn)可,同時完成了對半導(dǎo)體 ...
激光打孔工藝可分為長脈沖(ms級)和短脈沖(ns、ps、fs級)激光工藝,注意脈沖寬度是個時間單位,不是長度單位,其中ps皮秒激光和fs飛秒激光也被行業(yè)內(nèi)叫做超快激光。兩種工藝相比各有優(yōu)缺點,同樣是氣化材料加工小孔,前者因為其單個脈沖照射時間更長,能提供更多能...
飛秒激光加工作為一種高度精密的加工技術(shù),已經(jīng)在各種領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,包括微加工、光學(xué)元件制造、醫(yī)療器械、電子器件以及打印機壓電噴頭等微細結(jié)構(gòu)的加工。特別是在打印機壓電噴頭的制造中,飛秒激光加工展現(xiàn)出了獨特的優(yōu)勢和應(yīng)用潛力。首先,飛秒激光微孔加工具有極高的精...
光電器件是現(xiàn)代通信和照明領(lǐng)域的重要組成部分,其制造過程中需要對各種微小的光學(xué)元件進行精確加工。飛秒激光切割機可以用于制造各種光電器件,如激光器、LED燈等。這些器件需要高精度的切割和焊接,而飛秒激光切割技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)這些要求,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。隨著納米技術(shù)...
要求更小更精密的前列IT產(chǎn)業(yè)中,有追求納米級超精密加工的次世代企業(yè),精密加工技術(shù)及設(shè)計技術(shù)為背景,在半導(dǎo)體和電子部件市場中,有生產(chǎn)自動化設(shè)備的精密部件,切削工具的企業(yè),上海安宇泰科技有限公司。用自主技術(shù)-電解在線砂輪修整技術(shù)(ELID)與飛秒激光拋光技術(shù)融...
微泰,大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,插板閥,氣動(鎖定)閘閥和手動(鎖定)閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸,ISO、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動閘閥的鎖定功能(Exist Manual GV of Locking Fu...
飛秒激光新技術(shù)應(yīng)用剛剛興起,主要應(yīng)用行業(yè)包括:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)(特別是薄膜技術(shù))、平面顯示產(chǎn)業(yè)、合金微鑄造、精確孔徑和電極結(jié)構(gòu)加工、航空難材料加工、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域!在中國制造2025的大戰(zhàn)略背景下,傳統(tǒng)工業(yè)制造業(yè)面臨深度轉(zhuǎn)型,其中一個方向就是效率提升的同...
微泰憑借 30 年的精密加工技術(shù)和銳利刀具的邊緣技術(shù),利用激光的微孔加工技術(shù),生產(chǎn)了客戶所需的各種產(chǎn)品。除了零件,我們還生產(chǎn)和供應(yīng)需要裝配的部件。與液晶面板( LCD) 這樣的大尺寸元件相比,微泰更傾向于半導(dǎo)體/MLCC/新能源電池等更小、更精密的領(lǐng)域,并且在...
微泰,精湛的超精密加工技術(shù),可達到微米級加工,充分考慮材料的特殊性加工超平整零件,平整度公差小于 3 um零件精密加工的關(guān)鍵在于確保高水平的精度和質(zhì)量,并確保與既定尺寸的偏差小實現(xiàn)。 精密加工的半導(dǎo)體晶圓真空卡盤的平面度公差不超過 3 μm,并通過三維接觸測量...
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點:閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理,形成屏蔽和保護環(huán)(Shield Blocker 和 Protection Ring)用三重預(yù)防方式切斷粉末(Powder),延長閥門驅(qū)動和使用壽命。三重預(yù)防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,控制系統(tǒng)閘閥,控制閘閥、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動方式操作,可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致...
微泰開發(fā)了一種創(chuàng)新的新技術(shù),用于在 PCD 工具中形成用于加工非鐵材料的斷屑器。 利用先進技術(shù),PCD 刀具的切削刃可以形成所需形狀的斷屑器。這項技術(shù)可用于從粗加工到精加工的廣泛應(yīng)用,并通過在加工過程中隨意調(diào)整外殼尺寸,顯著提高刀具的壽命和表面光澤度。 通過改...
微泰利用飛秒激光螺旋鉆孔技術(shù)生產(chǎn)各種精密零部件,使用激光進行微孔加工(可加工至Φ0.01mm)·可以改變微孔形狀(圓形、橢圓形、方形)·激光加工不同于一般鉆孔,因此孔位置始終保持不變,因為孔是在熱處理后加工的。納秒紅外激光器環(huán)鉆系統(tǒng)–功率:50W,脈沖能量:1...
微泰,利用自主自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。MLCC方面有三星電機,日本村田等很多企業(yè)的業(yè)績,是韓國三星主要供應(yīng)商。主要生產(chǎn):1,MLCC吸膜板,2,各種MLCC刀具,刀片。3,M...
微泰主要產(chǎn)品有1、-手動鎖定閥:操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭:2、特殊閥門:全金屬配件構(gòu)成,由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成;3、三位閥:半開功能的壓力控制閥。氣動閘閥:?產(chǎn)品范圍:1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次...
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點:閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都進行了防護處理,形成屏蔽和保護環(huán)(Shield Blocker 和 Protection Ring)用三重預(yù)防方式切斷粉末(Powder),延長閥門驅(qū)動和使用壽命。三重預(yù)防驅(qū)動方式的Shield功能可防止氣體...
微泰,傳輸閥 (L-MOTION)、L型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,半導(dǎo)體加工,可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用:半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,傳輸閥 ...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,R...
微泰,定制大型轉(zhuǎn)移閥,定制大型輸送閥,?應(yīng)用:大型涂層系統(tǒng)。定制大型轉(zhuǎn)移閥,定制大型輸送閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:氣動、法蘭尺寸:(內(nèi)徑)80×500、(內(nèi)徑)100×400、(內(nèi)徑)200×1800、(內(nèi)徑)650×1050等法蘭類型:定制、饋通焊接波紋管/O形...
微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)...
微泰,定制大型轉(zhuǎn)移閥,定制大型輸送閥,?應(yīng)用:大型涂層系統(tǒng)。定制大型轉(zhuǎn)移閥,定制大型輸送閥規(guī)格如下:驅(qū)動方式:氣動、法蘭尺寸:(內(nèi)徑)80×500、(內(nèi)徑)100×400、(內(nèi)徑)200×1800、(內(nèi)徑)650×1050等法蘭類型:定制、饋通焊接波紋管/O形...
飛秒激光是一種激光技術(shù),其脈沖時間極短,一般在飛秒(即百萬億分之一秒)量級。這種極短的脈沖時間使得飛秒激光在材料加工領(lǐng)域具有獨特的優(yōu)勢,尤其在對材料進行精細加工時表現(xiàn)突出。利用飛秒激光對碳化硅進行打孔和切割可以實現(xiàn)精密、高效的加工。由于飛秒激光的脈沖時間極短,...