納米壓痕儀的應(yīng)用,納米壓痕儀可適用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護性薄膜,裝飾性薄膜等等?;w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機材料等。半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層);光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織);工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。納米力學(xué)測試可以應(yīng)用于納米材料的研究和...
有限元數(shù)值分析方面,Hurley 等分別基于解析模型和有限元模型兩種數(shù)據(jù)分析方法測量了鈮薄膜的壓入模量,并進行了對比。Espinoza-Beltran 等考慮探針微懸臂的傾角、針尖高度、梯形橫截面、材料各向異性等的影響,給出了一種將實驗測試和有限元優(yōu)化分析相結(jié)合,確定針尖樣品面外和面內(nèi)接觸剛度的方法。有限元分析方法綜合考慮了實際情況中的多種影響因素,精度相對較高。Kopycinska-Muller 等研究了AFAM 測試過程中針尖樣品微納米尺度下的接觸力學(xué)行為。Killgore 等提出了一種通過檢測探針接觸共振頻率變化對針尖磨損進行連續(xù)測量的方法。納米力學(xué)測試設(shè)備的精度和靈敏度對于獲得準(zhǔn)確的測...
模塊化設(shè)計使系統(tǒng)適用于各種形貌樣品的測試需求及各種SEM/FIB配置,緊湊的外形設(shè)計適用于各種全尺寸的SEM/FIB樣品室。用戶可設(shè)計自定義的測試程序和測試模式:①FT-SH傳感器連接頭,其配置的4個不同型號的連接頭,可滿足各種不同的測試條件(平面外或者平面內(nèi)測試)和不同的測試距離。②FFT-SB樣品基座適配頭,其配置的4個不同型號的適配頭用來調(diào)節(jié)樣品臺的高度和角度。③FT-ETB電學(xué)測試樣品臺,包含2個不同的電學(xué)測試樣品臺,實現(xiàn)樣品和納米力學(xué)測試平臺的電導(dǎo)通。④FT-S微力傳感探針和FT-G微鑷子,實現(xiàn)微納力學(xué)測試和微納操作組裝(按需額外購買)。納米力學(xué)測試能夠揭示材料表面的微觀結(jié)構(gòu)與性能之...
納米力學(xué)從研究的手段上可分為納觀計算力學(xué)和納米實驗力學(xué)。納米計算力學(xué)包括量子力學(xué)計算方法、分子動力學(xué)計算和跨層次計算等不同類型的數(shù)值模擬方法。納米實驗力學(xué)則有兩層含義:一是以納米層次的分辨率來測量力學(xué)場,即所謂的材料納觀實驗力學(xué);二是對特征尺度為1-100nm之間的微細結(jié)構(gòu)進行的實驗力學(xué)研究,即所謂的納米材料實驗力學(xué)。納米實驗力學(xué)研究有兩種途徑:一是對常規(guī)的硬度測試技術(shù)、云紋法等宏觀力學(xué)測試技術(shù)進行改造,使它們能適應(yīng)納米力學(xué)測量的需要;另一類是創(chuàng)造如原子力顯微鏡、摩擦力顯微鏡等新的納米力學(xué)測量技術(shù)建立新原理、新方法。通過納米力學(xué)測試,可以優(yōu)化材料的加工工藝,提高產(chǎn)品的性能和品質(zhì)。福建材料科學(xué)納...
AFAM 的基本原理是利用探針與樣品的接觸振動來對材料納米尺度的彈性性能進行成像或測量。AFAM 于20 世紀(jì)90 年代中期由德國薩爾布呂肯無損檢測研究所的Rabe 博士(女) 首先提出,較初為單點測量模式。2000 年前后,她們采用逐點掃頻的方式實現(xiàn)了模量成像功能,但是成像的速度很慢,一幅128×128 像素的圖像需要大約30min,導(dǎo)致圖像的熱漂移比較嚴(yán)重。2005 年,美國國家標(biāo)準(zhǔn)局的Hurley 博士(女) 采用DSP 電路控制掃頻和探針的移動,將成像速度提高了4~5倍(一幅256×256 像素的圖像需要大約25min)。納米壓痕技術(shù)作為一種常見測試方法,可實時監(jiān)測材料在微觀層面的力學(xué)...
除了采用彎曲振動模式進行測量外,Reinstadtler 等給出了探針扭轉(zhuǎn)振動模式測量側(cè)向接觸剛度的理論基礎(chǔ)。通過同時測量探針微懸臂的彎曲振動和扭轉(zhuǎn)振動,Hurley 和Turner提出了一種同時測量各向同性材料楊氏模量、剪切模量和泊松比的方法。Killgore 等提出了利用軟探針的高階模態(tài)進行AFAM 定量化測試的方法,可以使探針施加在樣品上的力減小到10 nN,極大地擴展了這一方法的應(yīng)用范圍。Killgore 和Hurley提出了一種新的脈沖接觸共振的方法,將接觸共振與脈沖力模式相結(jié)合,不只能測量探針的接觸共振頻率和品質(zhì)因子,還可以測量針尖樣品之間黏附力的大小。納米力學(xué)測試技術(shù)的發(fā)展離不開...
量子效應(yīng)也決定納米結(jié)構(gòu)新的電,光和化學(xué)性質(zhì)。因此量子效應(yīng)在鄰近的納米科學(xué),納米技術(shù),如納米電子學(xué),先進能源系統(tǒng)和納米生物技術(shù)學(xué)科范圍得到更多注意。納米測量技術(shù)是利用改制的掃描隧道顯微鏡進行微形貌測量,這個技術(shù)已成功的應(yīng)用于石墨表面和生物樣本的納米級測量。安全一直是必須認(rèn)真考慮的問題。電測量工具會輸出有危險的、甚至是致命的電壓和電流。清楚儀器使用中何時會發(fā)生這些情形顯得極為重要,只有這樣人們才能采取恰當(dāng)?shù)陌踩婪妒侄?。請認(rèn)真閱讀并遵從各種工具附帶的安全指示。在進行納米力學(xué)測試時,需要特別注意樣品的制備和處理過程,以避免引入誤差。廣東微納米力學(xué)測試廠家供應(yīng)目前納米壓痕在科研界和工業(yè)界都得到了普遍的...
研究液相環(huán)境下的流體載荷對探針振動產(chǎn)生的影響可以將AFAM 定量化測試應(yīng)用范圍擴展至液相環(huán)境。液相環(huán)境下增加的流體質(zhì)量載荷和流體阻尼使探針振動的共振頻率和品質(zhì)因子都較大程度上減小。Parlak 等采用簡單的解析模型考慮流體質(zhì)量載荷和流體阻尼效應(yīng),可以在液相環(huán)境下從探針的接觸共振頻率導(dǎo)出針尖樣品的接觸剛度值。Tung 等通過嚴(yán)格的理論推導(dǎo),提出通過重構(gòu)流體動力學(xué)函數(shù)的方法,將流體慣性載荷效應(yīng)進行分離。此方法不需要預(yù)先知道探針的幾何尺寸及材料特性,也不需要了解周圍流體的力學(xué)性能。通過納米力學(xué)測試,可以測量材料的硬度、彈性模量、粘附性等關(guān)鍵參數(shù)。廣東微納米力學(xué)測試服務(wù)電子/離子束云紋法和電鏡掃描云紋...
納米壓痕獲得的材料信息也比較豐富,既可以通過靜態(tài)力學(xué)性能測試獲得材料的硬度、彈性模量、斷裂韌性、相變(疇變) 等信息,也可以通過動態(tài)力學(xué)性能測試獲得被測樣品的存儲模量、損耗模量或損耗因子等。另外,動態(tài)納米壓痕技術(shù)還可以實現(xiàn)對材料微納米尺度存儲模量和損耗模量的模量成像(modulus mapping)。圖1 是美國Hysitron 公司生產(chǎn)的TI-900 Triboindenter 納米壓痕儀的實物圖。納米壓痕作為一種較通用的微納米力學(xué)測試方法,目前仍然有不少研究者致力于對其方法本身的改進和發(fā)展。納米力學(xué)測試通常在真空或者液體環(huán)境下進行,以保證測試的準(zhǔn)確性。廣州納米力學(xué)測試參考價研究液相環(huán)境下的...