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并將第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12由第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車50共享,因此無需另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道10的鋪設(shè)所需要的成本。另外,高架搬運(yùn)車50能夠在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛,因此如圖5的單點(diǎn)劃線所示,能夠在與、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp之間進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是,在產(chǎn)生、第二起重機(jī)40a、40b的故障、或者產(chǎn)生、第二起重機(jī)40a、40b因其他物品2的搬運(yùn)而顧及不到等狀況的情況下,能夠暫時(shí)通過高架搬運(yùn)車50進(jìn)行與裝載端口lp之間的物品2的交接,能夠防止搬運(yùn)效率的降低。并且,高架搬運(yùn)車50在作為從其他區(qū)域搬運(yùn)來的物品2的搬運(yùn)目的地的裝載端口lp空置的情況下(能夠搬運(yùn)的情況),保持原樣地將物品2搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp,由此能夠提高物品2的搬運(yùn)效率。在上述的實(shí)施方式中,例舉將、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的架部配置于、第二保管區(qū)域sa1、sa2內(nèi)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明,但并不限定于該結(jié)構(gòu),保管部和交接端口也可以配置于、第二保管區(qū)域sa1、sa2的外側(cè)。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。在以下的說明中,對與上述的實(shí)施方式相同或者等同的構(gòu)成部分標(biāo)注同一附圖標(biāo)記并省略或者簡化說明。濱湖區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州貨車商鋪搬運(yùn)費(fèi)用
驅(qū)動部45b設(shè)置于上部支承體,進(jìn)行懸掛部件45a的抽出、卷繞。若驅(qū)動部45b將懸掛部件抽出,則、第二升降臺43a、43b被、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而下降。另外,若驅(qū)動部45b卷繞懸掛部件45a,則、第二升降臺43a、43b被、第二桅桿42a、42b引導(dǎo)而上升。驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制,使、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外,驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制,將、第二升降臺43a、43b保持于目標(biāo)高度。雖然、第二升降驅(qū)動部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(、第二行駛部41a、41b),但并不限定于該結(jié)構(gòu)。、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如也可以設(shè)置于、第二升降臺43a、43b。作為在、第二升降臺43a、43b設(shè)置、第二升降驅(qū)動部45a、45b的結(jié)構(gòu),例如可以利用搭載于、第二升降臺43a、43b的升降機(jī)等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進(jìn)行卷起或者抽出而使、第二升降臺43a、43b升降。另外,也可以在、第二升降臺43a、43b搭載用于驅(qū)動小齒輪的電動馬達(dá)等,在、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條,驅(qū)動電動馬達(dá)等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示。商鋪搬運(yùn)價(jià)錢新吳區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對應(yīng),因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。
但物品2也可是foup以外的物品。另外,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2也可以是由設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。如圖1所示,搬運(yùn)系統(tǒng)100具有:存儲庫10、高架搬運(yùn)車軌道40、高架搬運(yùn)車50、以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及控制裝置80。存儲庫10被配置于存儲庫區(qū)域10a以及其它存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b內(nèi)。圖2是表示存儲庫區(qū)域10a的一個(gè)例子的圖。如圖2所示,存儲庫10具備:保管部11、交接口12、起重機(jī)軌道20以及懸掛式起重機(jī)30。保管部11在上下方向被設(shè)置多層,并且在沿著懸掛式起重機(jī)30的移動方向的左右方向排列的狀態(tài)下保管物品2。保管部11使用能夠載置物品2的貨架部等。也可在載置物品2的貨架部設(shè)置有進(jìn)入到被設(shè)置于物品2的底面的槽部的多個(gè)銷。該銷進(jìn)入到物品2的槽部,由此物品2被定位于貨架部。多個(gè)保管部11在各存儲庫區(qū)域10a、10b中被設(shè)置于三個(gè)位置,但并不限于該結(jié)構(gòu),保管部11的數(shù)量是任意的。交接口12作為在與高架搬運(yùn)車50等之間進(jìn)行物品2的交接的場所設(shè)置。交接口12在存儲庫區(qū)域10a中設(shè)置多個(gè)。起重機(jī)軌道20沿著保管部11以及交接口12設(shè)置。錫山區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
所述存儲庫具備:在上下方向設(shè)置多層來保管物品的保管部、用于交接物品的交接口、沿著保管部以及交接口設(shè)置的起重機(jī)軌道、沿著起重機(jī)軌道行駛的起重機(jī)用行駛部、從起重機(jī)用行駛部垂下的桅桿、以及具有被桅桿引導(dǎo)地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運(yùn)物品的懸掛式起重機(jī);高架搬運(yùn)車軌道,其被設(shè)置于存儲庫區(qū)域之外,沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域;高架搬運(yùn)車,其具有沿著高架搬運(yùn)車軌道行駛的搬運(yùn)車用行駛部、以及保持并升降物品的物品保持部,并且在交接口與裝載端口之間搬運(yùn)物品;以及連結(jié)軌道,其連結(jié)起重機(jī)軌道與高架搬運(yùn)車軌道,所述搬運(yùn)方法包含以下步驟:使起重機(jī)用行駛部從起重機(jī)軌道通過連結(jié)軌道進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道,在高架搬運(yùn)車軌道行駛至規(guī)定區(qū)域,或者使起重機(jī)用行駛部從規(guī)定區(qū)域進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道行駛至連結(jié)軌道,通過連結(jié)軌道進(jìn)入起重機(jī)軌道而在起重機(jī)軌道行駛。根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,通常沿著存儲庫區(qū)域內(nèi)的起重機(jī)軌道行駛并且在存儲庫區(qū)域內(nèi)在保管部與交接口之間移載物品的懸掛式起重機(jī)能夠根據(jù)需要,通過連結(jié)軌道以及高架搬運(yùn)車軌道移動到存儲庫區(qū)域外的規(guī)定區(qū)域。根據(jù)該結(jié)構(gòu)。無錫品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)短途商鋪搬運(yùn)公司
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為了能有效的覆蓋大部分的搬運(yùn)情況,我們可以選擇一個(gè)系數(shù)比如2/3或者3/4的距離來估算系統(tǒng)的搬運(yùn)效率,這樣可以兼顧大部分的效率要求,并且也不會一直出現(xiàn)搬運(yùn)能力過剩的情況。3.離散搬運(yùn)的優(yōu)勢參照上述的跳水的例子,可以總結(jié)得出離散搬運(yùn)系統(tǒng)的優(yōu)勢有如下幾點(diǎn):離散搬運(yùn)設(shè)備往往靈活機(jī)動,占用較少的公共資源,或者非全時(shí)占用,比如通道,門等等;離散搬運(yùn)設(shè)備之間可以冗余可互相備份,系統(tǒng)魯棒性好;相比連續(xù)式搬運(yùn),離散式搬運(yùn)系統(tǒng)可以通過增加搬運(yùn)設(shè)備的數(shù)量,更容易達(dá)到靈活擴(kuò)容的目的;離散搬運(yùn)設(shè)備通??梢栽诒倔w上做一些機(jī)構(gòu),設(shè)備異形成本低,便于與多種上下游以不同的形式接駁物料單元離散搬運(yùn)設(shè)備,更有可能做成智能化,無需安裝調(diào)試,直接投入到新現(xiàn)場即可使用4.離散搬運(yùn)的挑戰(zhàn)離散搬運(yùn)系統(tǒng)由于搬運(yùn)時(shí)通過設(shè)備在空間上的移動來完成作業(yè),同時(shí)返程時(shí)又不可避免的空載,因此這些特征屬性自帶了一些在實(shí)際應(yīng)用中要面對解決的一些挑戰(zhàn)。離散搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)物料時(shí),在空間上的運(yùn)行速度隨著技術(shù)的進(jìn)步越來越快,比如堆垛機(jī)有的速度能達(dá)到250米/分鐘甚至更高。但是由于搬運(yùn)設(shè)備在執(zhí)行任務(wù)時(shí),經(jīng)常有返程空載的情況,在返程的時(shí)間內(nèi),并未有任何的物料參與。徐州貨車商鋪搬運(yùn)費(fèi)用