在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng),因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道?;萆絽^(qū)寫(xiě)字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)
、第二移送部44a、44b具備能夠沿與、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通過(guò)把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動(dòng)的爪部49a的卡盤(pán),使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方,使保持部49上升,由此將物品2懸掛保持。在、第二移送部44a、44b接收物品2時(shí),將臂部48伸長(zhǎng)而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使、第二升降臺(tái)43a、43b上升,由此利用保持部49將物品2提起。接著,、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,由此將保持有物品2的保持部49配置于、第二升降臺(tái)43a、43b的下方。此外,、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如,也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu),也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如使用升降機(jī)等,沿著、第二桅桿42a、42b使、第二升降臺(tái)43a、43b升降。、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動(dòng)部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,、第二升降臺(tái)43a、43b通過(guò)該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。江蘇長(zhǎng)途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)新吳區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。
圖7~圖9是表示通過(guò)高架搬運(yùn)車50搬運(yùn)物品2時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。在圖7~圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開(kāi)始以保管區(qū)域sa1或者裝置區(qū)域ta1為下一個(gè)搬運(yùn)目的地的物品2被第二起重機(jī)40b載置于第二交接端口30b的例子。例如,如圖7所示,在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下,控制裝置60(參照?qǐng)D1)針對(duì)高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運(yùn)至保管區(qū)域sa1的交接端口30a。高架搬運(yùn)車50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)至第二交接端口30b,使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向突出,并驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54使保持部53下降,由此通過(guò)保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外,高架搬運(yùn)車50根據(jù)來(lái)自控制裝置60等的信息,獲取以下信息:接收到的物品2的搬運(yùn)目的地是在保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的交接端口30a。此外,第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi),例如沿與順時(shí)針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是,能夠減少第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車50產(chǎn)生干擾的時(shí)刻、和高架搬運(yùn)車50彼此產(chǎn)生干擾的時(shí)刻。另外。
另一個(gè)終端通過(guò)工業(yè)總線接入到其他非移動(dòng)設(shè)備的控制系統(tǒng)或者子網(wǎng)絡(luò)中,從而實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)設(shè)備與整個(gè)網(wǎng)絡(luò)的無(wú)線通訊互聯(lián)。值得一提的是,由于光的直線傳播的特點(diǎn),紅外通訊需要兩端必須一直在一條直線上,否則會(huì)發(fā)生數(shù)據(jù)終端。因此紅外通訊不適合設(shè)備有拐彎運(yùn)行的設(shè)備上。物理信息傳遞離散搬運(yùn)設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中與其他設(shè)施進(jìn)行數(shù)據(jù)交互式的數(shù)據(jù)內(nèi)容有大有小,有些交互內(nèi)容可能只是一些狀態(tài)量0或1。比如搬運(yùn)機(jī)器人需要通過(guò)某道門(mén)之前,需要給門(mén)傳遞一條開(kāi)門(mén)的請(qǐng)求數(shù)據(jù),這一數(shù)據(jù)就是簡(jiǎn)單的狀態(tài)量0或者1。由于數(shù)據(jù)量非常小,實(shí)際應(yīng)用中,可以采用物理觸發(fā)的方式來(lái)傳遞狀態(tài)量,比如在門(mén)之前的某個(gè)位置安裝類似于光電開(kāi)關(guān)之類的傳感器,并將傳感器的信號(hào)接入門(mén)的控制系統(tǒng)內(nèi)。每次搬運(yùn)機(jī)器人到達(dá)此處開(kāi)關(guān)位置時(shí),由自身物理上來(lái)觸發(fā)開(kāi)關(guān),這樣間接傳遞了開(kāi)門(mén)的請(qǐng)求數(shù)據(jù)。另外一些應(yīng)用場(chǎng)景下,也可以通過(guò)物理的方式傳遞更多的數(shù)據(jù),而這些數(shù)據(jù)如果是固定不變的,就更加容易實(shí)現(xiàn)物理傳遞。比如AGV在運(yùn)行中進(jìn)過(guò)一個(gè)第三方的信息采集站,信息采集站需要采集當(dāng)前AGV的標(biāo)識(shí),即當(dāng)前通過(guò)的AGV是編號(hào)為幾的信息。此情形下,可以通過(guò)在AGV上貼附條碼或者二維碼的標(biāo)簽。新吳區(qū)短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。
如圖10所示,保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外,針對(duì)該保管部220(或者交接端口230),、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是,在該結(jié)構(gòu)中,高架搬運(yùn)車50無(wú)法針對(duì)裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外,如圖10所示,也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320,并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對(duì)保管架80的保管部320,、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330,、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外,、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外,在圖10中,示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子,但也可以代替該結(jié)構(gòu)。錫山區(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)
惠山區(qū)長(zhǎng)短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)
這兩種方案中的路徑并不相同,因此方案1和方案2雖然都已經(jīng)遍歷了所有的上游和下游,但是用的時(shí)間確實(shí)大相徑庭的。事實(shí)上,如果我們開(kāi)始出發(fā)點(diǎn)不是B1點(diǎn),而是B2點(diǎn),此時(shí)又會(huì)有另外兩種方案3和方案4,路徑也與上述的不同,自然用的時(shí)間也不同。我們可以按照先按方案1從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),然后按照方案3從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1點(diǎn),然后再按照方案2從B1點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B2點(diǎn),后按照方案4從B2點(diǎn)出發(fā)搬運(yùn)完成后回到B1。以上通過(guò)4次不同的復(fù)合搬運(yùn)作業(yè),完成了4次不同的遍歷方式,涵蓋了所有的上下游的搬運(yùn)方案,如果4中搬運(yùn)方案出現(xiàn)的概率平均,并且4中方案的搬運(yùn)周期分別為T(mén)1、T2、3、T4,則可以得到從上游到下游的總周期時(shí)間為:T1+T2+T3+T4。可以得到總的平均效率為:E=2*I*4*3600/(T1+T2+T3+T4);注:以上將2對(duì)2的所有的搬運(yùn)方案當(dāng)做一個(gè)循環(huán)時(shí)間來(lái)作為搬運(yùn)周期,其中的搬運(yùn)路徑總共計(jì)算了16次(其中有若干重復(fù)),而實(shí)際中很多情況下,上游下游的數(shù)量要比2多的多,如果按照上邊的計(jì)算流程來(lái)估算效率,計(jì)算的工作量非常大。如果有m個(gè)上游點(diǎn),有n個(gè)下游點(diǎn),從某個(gè)下游點(diǎn)將每個(gè)上游點(diǎn)以此搬運(yùn)到所有的n點(diǎn),總共的搬運(yùn)方案有n*m!。徐州學(xué)校商鋪搬運(yùn)