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來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-09-08

    行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。供電部70具有供電導(dǎo)軌75、和設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方,并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外,在、第二起重機(jī)40a、40b的安裝部46和高架搬運(yùn)車50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力,并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示,控制裝置60統(tǒng)一控制搬運(yùn)系統(tǒng)100??刂蒲b置60通過無線或者有線的通信來控制、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50的動(dòng)作。此外,控制裝置60也可以分割為控制、第二起重機(jī)40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運(yùn)車50的控制裝置。另外,也可以通過不同的控制裝置來控制起重機(jī)40a與第二起重機(jī)40b。在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中,起重機(jī)40a在保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,起重機(jī)40a沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛,并在處理裝置tl1的裝載端口lp、保管部20a、以及交接端口30a之間搬運(yùn)物品2。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運(yùn)物品2。例如,第二起重機(jī)40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個(gè)方向,例如圖1中的逆時(shí)針的方向行駛。錫山區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。徐州正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)

    是在裝載端口lp的上方不設(shè)置保管部220,在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。例如,也可以是在圖1所示的處理裝置tl1與處理裝置tl1之間、或者第二處理裝置tl2與第二處理裝置tl2之間(或者裝載端口lp與裝載端口lp之間)設(shè)置保管架80的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該結(jié)構(gòu),與上述相同地,能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2間(裝載端口lp間)產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。這樣,通過配置保管部220、和具備保管部320的保管架80,在搬運(yùn)系統(tǒng)100中,能夠容易地使物品2的保管數(shù)量增大。此外,在搬運(yùn)系統(tǒng)100中,保管部220或者保管架80的設(shè)置數(shù)量能夠任意地設(shè)定。以上,對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行了說明,但本發(fā)明并不限定于上述的說明,在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如,在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中,也可以在高架搬運(yùn)車50的移動(dòng)路徑中配置儲(chǔ)料機(jī)(自動(dòng)倉(cāng)庫(kù))等。儲(chǔ)料機(jī)例如可以設(shè)置于區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車50可以能夠針對(duì)該儲(chǔ)料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接,例如,能夠在儲(chǔ)料機(jī)與、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外,在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)。江蘇寫字樓商鋪搬運(yùn)打包新吳區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    圖4是表示懸掛式起重機(jī)的一個(gè)例子的圖。圖5是表示高架搬運(yùn)車的一個(gè)例子的圖。圖6是表示起重機(jī)用行駛部以及搬運(yùn)車用行駛部的一個(gè)例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是表示與圖7接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是表示與圖8接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示與圖9接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖11是表示規(guī)定區(qū)域是維護(hù)區(qū)域的一個(gè)例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規(guī)定區(qū)域的一個(gè)例子的俯視圖。具體實(shí)施方式以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。但是,本發(fā)明并不限于該實(shí)施方式。另外,在附圖中為了說明實(shí)施方式,放大或強(qiáng)調(diào)地記載一部分等適當(dāng)?shù)馗淖儽壤邅肀硎?。圖1是表示本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如被設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,搬運(yùn)收納有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中被使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。

    也有第二起重機(jī)40b或者其他高架搬運(yùn)車50也以行駛或者停止的狀態(tài)存在于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的情況,但能夠通過高架搬運(yùn)車50所具備的接近傳感器等避免與第二起重機(jī)40b或者其他高架搬運(yùn)車50的干擾。在高架搬運(yùn)車50的行駛方向上存在第二起重機(jī)40b或者其他高架搬運(yùn)車50的情況下,也可以由控制裝置60等針對(duì)第二起重機(jī)40b或者其他高架搬運(yùn)車50指示周期性行駛,確保搬運(yùn)物品2的高架搬運(yùn)車50的行駛。另外,第二起重機(jī)40b或者其他高架搬運(yùn)車50也可以代替在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上環(huán)繞行駛,而從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12經(jīng)由連接軌道15或者第二連接軌道16移動(dòng)至區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14。接下來,如圖8所示,高架搬運(yùn)車50維持將物品2保持的狀態(tài)地在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12上沿順時(shí)針的方向行駛,從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a經(jīng)由連接軌道15的出口部15b向區(qū)段間頂棚軌道13移動(dòng)(參照?qǐng)D8的箭頭)。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、連接軌道15、以及區(qū)段間頂棚軌道13的截面形狀相同或者大致相同(參照?qǐng)D6),因此高架搬運(yùn)車50能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12無障礙地移動(dòng)至區(qū)段間頂棚軌道13。接下來,如圖9所示,高架搬運(yùn)車50在區(qū)段間頂棚軌道13上朝向-x方向行駛。梁溪區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置;區(qū)段間頂棚軌道,其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié);保管部和第二保管部,它們?cè)趨^(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層,并用于保管物品;交接端口和第二交接端口,它們?cè)O(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方;起重機(jī),其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部,并且在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運(yùn)物品;第二起重機(jī),其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部,并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品;以及高架搬運(yùn)車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),并且在交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品,上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外,可以起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)。另外。錫山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興貨車商鋪搬運(yùn)公司電話

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    也可將物品2相對(duì)于暫存區(qū)st的交接限定為外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個(gè)。圖7~圖10是表示使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域亦即存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。在本實(shí)施方式中,在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b移動(dòng)的情況下,不需要從起重機(jī)軌道20取下懸掛式起重機(jī)30,能夠沿著以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及高架搬運(yùn)車軌道40移動(dòng)。在該情況下,也可通過作業(yè)者等的手動(dòng)操作來移動(dòng)懸掛式起重機(jī)30,也可通過控制裝置80(參照?qǐng)D1)自動(dòng)地移動(dòng)。如圖7所示,懸掛式起重機(jī)30存在于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)的起重機(jī)軌道20。首先,使懸掛式起重機(jī)30從起重機(jī)軌道20經(jīng)由連結(jié)軌道60a向機(jī)架間軌道43移動(dòng)(參照?qǐng)D7的箭頭)。通過該移動(dòng),懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a內(nèi)向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a外移動(dòng)。此外,懸掛式起重機(jī)30在高架搬運(yùn)車軌道40行駛而移動(dòng)到其它區(qū)域時(shí),使與桅桿32(參照?qǐng)D4)干涉的設(shè)備等避開懸掛式起重機(jī)30的移動(dòng)路徑。另外,起重機(jī)軌道20以及連結(jié)軌道60a如上所述,各自剖面形狀相同,所以懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠無障礙地從起重機(jī)軌道20進(jìn)入連結(jié)軌道60a。接下來,如圖8所示。徐州正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)

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