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來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-11-02

    具體實(shí)施方式以下,參照附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對圖中的方向進(jìn)行說明。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中。梁溪區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫商鋪搬運(yùn)公司電話

    入口部15a形成供高架搬運(yùn)車50從區(qū)段間頂棚軌道13向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運(yùn)車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與連接軌道15相同地,具有入口部16a和出口部16b作為兩個(gè)軌道。入口部16a形成供高架搬運(yùn)車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運(yùn)車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外,在本實(shí)施方式中,示出連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子,但連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示,保管部20a和交接端口30a配置于保管區(qū)域sa1。如圖1所示,第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。保管部20a和交接端口30a配置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。保管部20a和交接端口30a配置于在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。無錫商鋪搬運(yùn)公司電話梁溪區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    "接頭"需要建立在移動(dòng)的離散設(shè)備與上下游設(shè)備之間的良好通訊條件的基礎(chǔ)上。與上位軟件的通訊為了更好的管理整個(gè)搬運(yùn)過程,一個(gè)自動(dòng)化系統(tǒng)通常也需要有一個(gè)管理搬運(yùn)任務(wù)和設(shè)備的上位管理軟件,常見的有倉庫管理軟件WMS、倉庫控制軟件WCS、自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人調(diào)度軟件等等。上位各種管理軟件的功能都是建立在與現(xiàn)場環(huán)境中所有的搬運(yùn)設(shè)備信息交互的基礎(chǔ)上。上位管理軟件下發(fā)的指令數(shù)據(jù)需要通訊通道將命令傳遞到搬運(yùn)設(shè)備上,同時(shí),現(xiàn)場的搬運(yùn)設(shè)備的當(dāng)前的狀態(tài)和任務(wù)執(zhí)行情況要實(shí)時(shí)的上傳給上位機(jī)管理軟件與第三方的通訊需要通過運(yùn)動(dòng)才能執(zhí)行搬運(yùn)任務(wù)的離散搬運(yùn)設(shè)備,在執(zhí)行任務(wù)時(shí)一定會(huì)占用一定的公共資源,比如要占用通道,占用電梯又或者是通過一到門。占用公共資源之前,離散搬運(yùn)設(shè)備可能需要通過與公共資源通訊進(jìn)而申請占用授權(quán),公共資源允許后通知搬運(yùn)設(shè)備,在完成占用后,搬運(yùn)設(shè)備將釋放信號(hào)再次通知給公共資源,以便公共資源下次為別的設(shè)備提供資源。:工業(yè)內(nèi)通用的通訊方式主要有兩大類,有線通訊,無線通訊。傳統(tǒng)的有線通訊穩(wěn)定性高,無線通訊便捷和機(jī)動(dòng)性高。很顯然,對于絕大部分的離散搬運(yùn)設(shè)備來講,無線通訊是較好的選擇。而在實(shí)際上。

    也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41。另外,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道。另外,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分。附圖標(biāo)記的說明lp…裝載端口、mn…維護(hù)裝置;st…暫存區(qū);tl…處理裝置;2…物品;10…存儲(chǔ)庫;10a…存儲(chǔ)庫區(qū)域;10b…存儲(chǔ)庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域;10g…作業(yè)者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重機(jī)軌道;30…懸掛式起重機(jī);31…起重機(jī)用行駛部;32…桅桿;33…升降臺(tái);34…物品移載部;35…升降驅(qū)動(dòng)部;40…高架搬運(yùn)車軌道;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a、42a…外繞軌道;41b、42b…內(nèi)繞軌道;41c、42c…連接軌道;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機(jī)架間軌道;44…第二機(jī)架間軌道;50…高架搬運(yùn)車。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導(dǎo)體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲(chǔ)庫。存儲(chǔ)庫具備用于在多個(gè)保管架與交接口之間移載物品的起重機(jī)。作為該起重機(jī)公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機(jī),為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機(jī)在共用的軌道上行駛的構(gòu)成(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:國際公開第2016/178347號(hào)對于文獻(xiàn)1所記載的存儲(chǔ)庫,兩種懸掛式起重機(jī)雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲(chǔ)庫的一個(gè)存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)。因此,在使該懸掛式起重機(jī)向其它的存儲(chǔ)庫區(qū)域移動(dòng)時(shí),或者為了維護(hù)而使懸掛式起重機(jī)向維護(hù)區(qū)域移動(dòng)時(shí),需要從軌道取下并搬運(yùn)懸掛式起重機(jī)。但是,從軌道取下懸掛式起重機(jī)的作業(yè)麻煩且費(fèi)事,作業(yè)者的負(fù)擔(dān)大。并且,由于使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)已取下的懸掛式起重機(jī),所以不僅成本提高,而且存在搬運(yùn)也需要時(shí)間這樣的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機(jī)在存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動(dòng)而不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:被配置于存儲(chǔ)庫區(qū)域內(nèi)的存儲(chǔ)庫?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)短途商鋪搬運(yùn)電話

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    、第二移送部44a、44b具備能夠沿與、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動(dòng)的爪部49a的卡盤,使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方,使保持部49上升,由此將物品2懸掛保持。在、第二移送部44a、44b接收物品2時(shí),將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使、第二升降臺(tái)43a、43b上升,由此利用保持部49將物品2提起。接著,、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,由此將保持有物品2的保持部49配置于、第二升降臺(tái)43a、43b的下方。此外,、第二移送部44a、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如,也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu),也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如使用升降機(jī)等,沿著、第二桅桿42a、42b使、第二升降臺(tái)43a、43b升降。、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動(dòng)部45b。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,、第二升降臺(tái)43a、43b通過該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。無錫商鋪搬運(yùn)公司電話

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