什么是負(fù)離子,沃壹小編給大家分析一下
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【負(fù)離子科普二】自然界中的負(fù)離子從哪里來(lái)的?
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負(fù)離子發(fā)生器的原理是什么呢?
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關(guān)于負(fù)離子的常見十問(wèn)
運(yùn)動(dòng),需要選對(duì)時(shí)間和地點(diǎn)
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也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41。另外,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c、10d)移動(dòng)的情況下,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道。另外,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請(qǐng)的特愿2017-128569以及本說(shuō)明書所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分。附圖標(biāo)記的說(shuō)明lp…裝載端口、mn…維護(hù)裝置;st…暫存區(qū);tl…處理裝置;2…物品;10…存儲(chǔ)庫(kù);10a…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域;10b…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域;10g…作業(yè)者通路;11…保管部;12…交接口;20,20c,20d…起重機(jī)軌道;30…懸掛式起重機(jī);31…起重機(jī)用行駛部;32…桅桿;33…升降臺(tái);34…物品移載部;35…升降驅(qū)動(dòng)部;40…高架搬運(yùn)車軌道;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a、42a…外繞軌道;41b、42b…內(nèi)繞軌道;41c、42c…連接軌道;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機(jī)架間軌道;44…第二機(jī)架間軌道;50…高架搬運(yùn)車。梁溪區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。江蘇長(zhǎng)短途商鋪搬運(yùn)服務(wù)
起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車用行駛部51均能在起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40行駛。這樣,起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車用行駛部51是共用的結(jié)構(gòu),所以不需要以與起重機(jī)用行駛部31及搬運(yùn)車用行駛部51不同的其他結(jié)構(gòu)進(jìn)行制造,能夠減少懸掛式起重機(jī)30以及高架搬運(yùn)車50的制造成本。此外,可以由一臺(tái)懸掛式起重機(jī)30使用多臺(tái)(例如兩臺(tái))起重機(jī)用行駛部31。根據(jù)該結(jié)構(gòu),能夠經(jīng)由桅桿32適當(dāng)?shù)乇3肿鳛橹亓课锏妮d置部39以及物品2等。起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車用行駛部51具備共用的車輪71a以及供車輪71a安裝的行駛部主體71b。多個(gè)車輪71a分別與起重機(jī)軌道20或者高架搬運(yùn)車軌道40的下方的內(nèi)表面抵接。供多個(gè)車輪71a安裝的行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、或者各種傳感器。起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40具備供電部70。供電部70具有供電導(dǎo)軌75、以及被設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70被配置于起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40的下方,沿著起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40連續(xù)地或者斷續(xù)地設(shè)置。另外,在懸掛式起重機(jī)30的安裝部36以及高架搬運(yùn)車50的安裝部52a設(shè)置有受電部73。受電部73經(jīng)由非接觸供電線76而受電,向行駛部主體71b等供給電力。濱湖區(qū)寫字樓商鋪搬運(yùn)公司電話濱湖區(qū)正規(guī)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。
但物品2也可是foup以外的物品。另外,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2也可以是由設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。如圖1所示,搬運(yùn)系統(tǒng)100具有:存儲(chǔ)庫(kù)10、高架搬運(yùn)車軌道40、高架搬運(yùn)車50、以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及控制裝置80。存儲(chǔ)庫(kù)10被配置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a以及其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b內(nèi)。圖2是表示存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的一個(gè)例子的圖。如圖2所示,存儲(chǔ)庫(kù)10具備:保管部11、交接口12、起重機(jī)軌道20以及懸掛式起重機(jī)30。保管部11在上下方向被設(shè)置多層,并且在沿著懸掛式起重機(jī)30的移動(dòng)方向的左右方向排列的狀態(tài)下保管物品2。保管部11使用能夠載置物品2的貨架部等。也可在載置物品2的貨架部設(shè)置有進(jìn)入到被設(shè)置于物品2的底面的槽部的多個(gè)銷。該銷進(jìn)入到物品2的槽部,由此物品2被定位于貨架部。多個(gè)保管部11在各存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b中被設(shè)置于三個(gè)位置,但并不限于該結(jié)構(gòu),保管部11的數(shù)量是任意的。交接口12作為在與高架搬運(yùn)車50等之間進(jìn)行物品2的交接的場(chǎng)所設(shè)置。交接口12在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a中設(shè)置多個(gè)。起重機(jī)軌道20沿著保管部11以及交接口12設(shè)置。
在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導(dǎo)體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲(chǔ)庫(kù)。存儲(chǔ)庫(kù)具備用于在多個(gè)保管架與交接口之間移載物品的起重機(jī)。作為該起重機(jī)公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機(jī),為了提高物品的移載效率,提出了兩種懸掛式起重機(jī)在共用的軌道上行駛的構(gòu)成(例如,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:國(guó)際公開第2016/178347號(hào)對(duì)于文獻(xiàn)1所記載的存儲(chǔ)庫(kù),兩種懸掛式起重機(jī)雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲(chǔ)庫(kù)的一個(gè)存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)。因此,在使該懸掛式起重機(jī)向其它的存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域移動(dòng)時(shí),或者為了維護(hù)而使懸掛式起重機(jī)向維護(hù)區(qū)域移動(dòng)時(shí),需要從軌道取下并搬運(yùn)懸掛式起重機(jī)。但是,從軌道取下懸掛式起重機(jī)的作業(yè)麻煩且費(fèi)事,作業(yè)者的負(fù)擔(dān)大。并且,由于使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)已取下的懸掛式起重機(jī),所以不僅成本提高,而且存在搬運(yùn)也需要時(shí)間這樣的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機(jī)在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動(dòng)而不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:被配置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)的存儲(chǔ)庫(kù)。新吳區(qū)短途商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。
、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實(shí)心的棒狀,截面形成為圓形狀、橢圓形狀、長(zhǎng)圓形狀、或者四邊形狀等多邊形狀。、第二桅桿42a、42b的下端被設(shè)定為從地板面隔開規(guī)定間隔的狀態(tài)。在圖4中,在、第二行駛部41a、41b的下方經(jīng)由安裝部46安裝有上部支承體47。、第二桅桿42a、42b安裝于上部支承體47的下表面?zhèn)龋⒊蔀閺?、第二行駛?1a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件,也可以使用焊接等在上部支承體47安裝、第二桅桿42a、42b。此外,、第二桅桿42a、42b可以是一根,例如,可以分別設(shè)置于、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外,、第二起重機(jī)40a、40b使用兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b(參照?qǐng)D2和圖3)。兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置,被上部支承體47連結(jié)。、第二桅桿42a、42b被兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b支承。這樣,能夠利用兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的、第二桅桿42a、42b。此外,、第二起重機(jī)40a、40b并不限定于使用兩臺(tái)、第二行駛部41a、41b,也可以使用1臺(tái)或者3臺(tái)以上的、第二行駛部41a、41b。起重機(jī)40a的行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。江蘇長(zhǎng)短途商鋪搬運(yùn)服務(wù)
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其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu),上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛,其中,起重機(jī)在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運(yùn)物品,第二起重機(jī)在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品,高架搬運(yùn)車在交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,通過(guò)、第二起重機(jī)進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運(yùn),從而能夠增加物品的保管數(shù)量,通過(guò)高架搬運(yùn)車進(jìn)行區(qū)段間的物品的搬運(yùn),從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外,由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的、第二起重機(jī)的、第二桅桿與裝載端口、、第二保管部、以及、第二交接端口的干擾,并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由、第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車共享,因此無(wú)需分別對(duì)應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道,能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外,在、第二起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)的情況下,由于無(wú)需在與、第二起重機(jī)對(duì)應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道,因此能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。另外,在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道。江蘇長(zhǎng)短途商鋪搬運(yùn)服務(wù)
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