圖4是表示懸掛式起重機(jī)的一個(gè)例子的圖。圖5是表示高架搬運(yùn)車的一個(gè)例子的圖。圖6是表示起重機(jī)用行駛部以及搬運(yùn)車用行駛部的一個(gè)例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是表示與圖7接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是表示與圖8接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示與圖9接續(xù)、使懸掛式起重機(jī)從存儲(chǔ)庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動(dòng)時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖11是表示規(guī)定區(qū)域是維護(hù)區(qū)域的一個(gè)例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規(guī)定區(qū)域的一個(gè)例子的俯視圖。具體實(shí)施方式以下，參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。但是，本發(fā)明并不限于該實(shí)施方式。另外，在附圖中為了說明實(shí)施方式，放大或強(qiáng)調(diào)地記載一部分等適當(dāng)?shù)馗淖儽壤邅肀硎尽D1是表示本實(shí)施方式的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如被設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，搬運(yùn)收納有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中被使用的半導(dǎo)體晶圓的foup，或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。錫山區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)公司商鋪搬運(yùn)電話

    圖7～圖9是表示通過高架搬運(yùn)車50搬運(yùn)物品2時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。在圖7～圖9中示出從第二保管區(qū)域sa2開始以保管區(qū)域sa1或者裝置區(qū)域ta1為下一個(gè)搬運(yùn)目的地的物品2被第二起重機(jī)40b載置于第二交接端口30b的例子。例如，如圖7所示，在物品2被載置于在第二保管區(qū)域sa2的+y側(cè)端部和-x側(cè)配置的第二交接端口30b的情況下，控制裝置60(參照圖1)針對高架搬運(yùn)車50進(jìn)行指示以將第二保管區(qū)域sa2的第二交接端口30b的物品2搬運(yùn)至保管區(qū)域sa1的交接端口30a。高架搬運(yùn)車50沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12移動(dòng)至第二交接端口30b，使橫向伸出機(jī)構(gòu)55向+x方向突出，并驅(qū)動(dòng)升降驅(qū)動(dòng)部54使保持部53下降，由此通過保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外，高架搬運(yùn)車50根據(jù)來自控制裝置60等的信息，獲取以下信息：接收到的物品2的搬運(yùn)目的地是在保管區(qū)域sa1的+y側(cè)端部和+x側(cè)配置的交接端口30a。此外，第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12內(nèi)，例如沿與順時(shí)針相同方向環(huán)繞行駛。其結(jié)果是，能夠減少第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車50產(chǎn)生干擾的時(shí)刻、和高架搬運(yùn)車50彼此產(chǎn)生干擾的時(shí)刻。另外。梁溪區(qū)公司商鋪搬運(yùn)電話無錫質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    高架搬運(yùn)車50在從其它存儲(chǔ)庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st接受了物品2的情況下，能夠沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛至存儲(chǔ)庫區(qū)域10a的交接口12，在交接口12載置物品2。在高架搬運(yùn)車50在機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41行駛的情況下，位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對于交接口12的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對于交接口12的交接中，在利用側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a的側(cè)方突出了的狀態(tài)下，使物品保持部53升降(參照圖5)。另外，位于外繞軌道41a的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對于裝載端口lp的交接中，不驅(qū)動(dòng)或者基本不驅(qū)動(dòng)側(cè)出機(jī)構(gòu)55而使物品保持部53升降(參照圖5)。另外，位于外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的高架搬運(yùn)車50能夠進(jìn)行物品2相對于暫存區(qū)st的交接。高架搬運(yùn)車50在物品2相對于暫存區(qū)st的交接中，在通過側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動(dòng)部54向外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b軌道的側(cè)方突出了的狀態(tài)下使物品保持部53升降。物品2相對于暫存區(qū)st的交接在外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個(gè)中都能夠進(jìn)行，高架搬運(yùn)車50通過改變側(cè)出機(jī)構(gòu)55的突出方向就能夠?qū)?yīng)(參照圖5)。此外。

    起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車用行駛部51均能在起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40行駛。這樣，起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車用行駛部51是共用的結(jié)構(gòu)，所以不需要以與起重機(jī)用行駛部31及搬運(yùn)車用行駛部51不同的其他結(jié)構(gòu)進(jìn)行制造，能夠減少懸掛式起重機(jī)30以及高架搬運(yùn)車50的制造成本。此外，可以由一臺懸掛式起重機(jī)30使用多臺(例如兩臺)起重機(jī)用行駛部31。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠經(jīng)由桅桿32適當(dāng)?shù)乇３肿鳛橹亓课锏妮d置部39以及物品2等。起重機(jī)用行駛部31以及搬運(yùn)車用行駛部51具備共用的車輪71a以及供車輪71a安裝的行駛部主體71b。多個(gè)車輪71a分別與起重機(jī)軌道20或者高架搬運(yùn)車軌道40的下方的內(nèi)表面抵接。供多個(gè)車輪71a安裝的行駛部主體71b具備用于驅(qū)動(dòng)車輪71a的行駛驅(qū)動(dòng)部、或者各種傳感器。起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40具備供電部70。供電部70具有供電導(dǎo)軌75、以及被設(shè)置于供電導(dǎo)軌75的非接觸供電線76。供電部70被配置于起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40的下方，沿著起重機(jī)軌道20以及高架搬運(yùn)車軌道40連續(xù)地或者斷續(xù)地設(shè)置。另外，在懸掛式起重機(jī)30的安裝部36以及高架搬運(yùn)車50的安裝部52a設(shè)置有受電部73。受電部73經(jīng)由非接觸供電線76而受電，向行駛部主體71b等供給電力。無錫學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu)，上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛，其中，起重機(jī)在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運(yùn)物品，第二起重機(jī)在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品，高架搬運(yùn)車在交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品。根據(jù)本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法，通過、第二起重機(jī)進(jìn)行區(qū)段內(nèi)的物品的搬運(yùn)，從而能夠增加物品的保管數(shù)量，通過高架搬運(yùn)車進(jìn)行區(qū)段間的物品的搬運(yùn)，從而能夠抑制與頂棚軌道下方的設(shè)備的干擾。另外，由于能夠防止沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的、第二起重機(jī)的、第二桅桿與裝載端口、、第二保管部、以及、第二交接端口的干擾，并且將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道由、第二起重機(jī)和高架搬運(yùn)車共享，因此無需分別對應(yīng)地另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道的鋪設(shè)所需要的成本。另外，在、第二起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)的情況下，由于無需在與、第二起重機(jī)對應(yīng)的地上側(cè)(地板面?zhèn)?設(shè)置軌道，因此能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。另外，在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道是環(huán)繞軌道。梁溪區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)公司商鋪搬運(yùn)電話

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    如圖10所示，保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外，針對該保管部220(或者交接端口230)，、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是，在該結(jié)構(gòu)中，高架搬運(yùn)車50無法針對裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面，、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外，如圖10所示，也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320，并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對保管架80的保管部320，、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外，針對保管架80的上表面80a的交接端口330，、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外，、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外，在圖10中，示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結(jié)構(gòu)。梁溪區(qū)公司商鋪搬運(yùn)電話

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