如圖10所示，保管部220(或者交接端口330)在、第二裝置區(qū)域ta1、ta2中也可以配置于、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp的上方。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒀b載端口lp的上方的空間作為保管區(qū)域有效地活用。此外，針對(duì)該保管部220(或者交接端口230)，、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。但是，在該結(jié)構(gòu)中，高架搬運(yùn)車50無(wú)法針對(duì)裝載端口lp直接進(jìn)行物品2的交接。另一方面，、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對(duì)裝載端口lp進(jìn)行物品2的交接。另外，如圖10所示，也可以在、第二處理裝置tl1、tl2與、第二處理裝置tl1、tl2之間設(shè)置保管架80。保管架80在內(nèi)部的上下方向和左右方向(y方向)設(shè)置多個(gè)保管部320，并在上表面80a設(shè)置有交接端口330。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒃?、第二處理裝置tl1、tl2之間產(chǎn)生的空間作為保管區(qū)域有效地活用。針對(duì)保管架80的保管部320，、第二起重機(jī)40能夠進(jìn)行物品2的交接。另外，針對(duì)保管架80的上表面80a的交接端口330，、第二起重機(jī)40a、40b和高架搬運(yùn)車50雙方能夠進(jìn)行物品2的交接。另外，、第二起重機(jī)40a、40b能夠在保管部220與保管部320之間搬運(yùn)物品2。此外，在圖10中，示出設(shè)置保管部220和保管架80雙方的例子，但也可以代替該結(jié)構(gòu)?；萆絽^(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。江蘇品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)

    在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。江蘇品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)新吳區(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    但物品2也可是foup以外的物品。另外，搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2也可以是由設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。如圖1所示，搬運(yùn)系統(tǒng)100具有：存儲(chǔ)庫(kù)10、高架搬運(yùn)車軌道40、高架搬運(yùn)車50、以及第二連結(jié)軌道60a、60b以及控制裝置80。存儲(chǔ)庫(kù)10被配置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a以及其它存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b內(nèi)。圖2是表示存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a的一個(gè)例子的圖。如圖2所示，存儲(chǔ)庫(kù)10具備：保管部11、交接口12、起重機(jī)軌道20以及懸掛式起重機(jī)30。保管部11在上下方向被設(shè)置多層，并且在沿著懸掛式起重機(jī)30的移動(dòng)方向的左右方向排列的狀態(tài)下保管物品2。保管部11使用能夠載置物品2的貨架部等。也可在載置物品2的貨架部設(shè)置有進(jìn)入到被設(shè)置于物品2的底面的槽部的多個(gè)銷。該銷進(jìn)入到物品2的槽部，由此物品2被定位于貨架部。多個(gè)保管部11在各存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b中被設(shè)置于三個(gè)位置，但并不限于該結(jié)構(gòu)，保管部11的數(shù)量是任意的。交接口12作為在與高架搬運(yùn)車50等之間進(jìn)行物品2的交接的場(chǎng)所設(shè)置。交接口12在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a中設(shè)置多個(gè)。起重機(jī)軌道20沿著保管部11以及交接口12設(shè)置。

    保持部53通過(guò)把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動(dòng)的爪部53a的卡盤(pán)，使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動(dòng)部54懸掛且以能夠擺動(dòng)的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的、第二起重機(jī)40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu)，也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動(dòng)部54例如是升降機(jī)，通過(guò)抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過(guò)卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動(dòng)部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅(qū)動(dòng)部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標(biāo)高度。橫向伸出機(jī)構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動(dòng)板?？蓜?dòng)板能夠向行駛部51的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動(dòng)。在可動(dòng)板安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)部和升降驅(qū)動(dòng)部54。主體部52具有引導(dǎo)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的引導(dǎo)件、和驅(qū)動(dòng)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動(dòng)部等。橫向伸出機(jī)構(gòu)55通過(guò)來(lái)自電動(dòng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力，使升降驅(qū)動(dòng)部54和保持部53沿著引導(dǎo)件，在突出位置與收納位置之間移動(dòng)。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。濱湖區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置；區(qū)段間頂棚軌道，其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié)；保管部和第二保管部，它們?cè)趨^(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層，并用于保管物品；交接端口和第二交接端口，它們?cè)O(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方；起重機(jī)，其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導(dǎo)而升降的移送部，并且在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運(yùn)物品；第二起重機(jī)，其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導(dǎo)而升降的第二移送部，并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運(yùn)物品；以及高架搬運(yùn)車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動(dòng)部、以及使升降驅(qū)動(dòng)部向側(cè)方突出的橫向伸出機(jī)構(gòu)，并且在交接端口與第二交接端口之間搬運(yùn)物品，上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外，可以起重機(jī)是懸掛式起重機(jī)。另外。錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好，誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。無(wú)錫商鋪搬運(yùn)收費(fèi)

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    第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸，在兩根軌道之間設(shè)置有多個(gè)連接軌道。高架搬運(yùn)車50沿著高架搬運(yùn)車軌道40移動(dòng)，將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp、與存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接。另外，高架搬運(yùn)車50除了裝載端口lp以及交接口12之外，還在與沿著高架搬運(yùn)車軌道40(外繞軌道41a、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載。處理裝置tl例如是曝光裝置、涂布機(jī)顯影載置、制膜裝置或者蝕刻裝置等，對(duì)被收納于搬運(yùn)系統(tǒng)100搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。圖5是表示高架搬運(yùn)車50的一個(gè)例子的圖。如圖5所示，高架搬運(yùn)車50具有搬運(yùn)車用行駛部51和主體部52。搬運(yùn)車用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同，具備未圖示的行駛驅(qū)動(dòng)部以及多個(gè)車輪71a(參照?qǐng)D6)，沿著高架搬運(yùn)車軌道40行駛。行駛驅(qū)動(dòng)部例如也可是被設(shè)置于搬運(yùn)車用行駛部51并驅(qū)動(dòng)車輪71a的電動(dòng)馬達(dá)，也可是使用高架搬運(yùn)車軌道40設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運(yùn)車用行駛部51的下部。江蘇品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)

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