其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設(shè)置；區(qū)段間頂棚軌道，其將區(qū)段內(nèi)頂棚軌道與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道連結(jié)；保管部和第二保管部，它們在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方沿上下方向設(shè)置有多層，并用于保管物品；交接端口和第二交接端口，它們設(shè)置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道各自的下方且側(cè)方；起重機，其具備沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的行駛部、從行駛部垂下的桅桿、以及被桅桿引導而升降的移送部，并且在處理裝置的裝載端口、保管部、以及交接端口之間搬運物品；第二起重機，其具備沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部，并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品；以及高架搬運車，其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅(qū)動部、以及使升降驅(qū)動部向側(cè)方突出的橫向伸出機構(gòu)，并且在交接端口與第二交接端口之間搬運物品，上述行駛部沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外，可以起重機是懸掛式起重機。另外?；萆絽^(qū)長短途商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。宜興質(zhì)量商鋪搬運收費
行駛部主體71b具備用于驅(qū)動車輪71a的行駛驅(qū)動部、和各種傳感器。頂棚軌道10具備供電部70。供電部70具有供電導軌75、和設(shè)置于供電導軌75的非接觸供電線76。供電部70配置于頂棚軌道10的下方，并沿著頂棚軌道10連續(xù)設(shè)置或者間斷設(shè)置。另外，在、第二起重機40a、40b的安裝部46和高架搬運車50的安裝部52a設(shè)置有電力接收部73。電力接收部73經(jīng)由非接觸供電線76接收電力，并向行駛部主體71b等供給電力。如圖1所示，控制裝置60統(tǒng)一控制搬運系統(tǒng)100?？刂蒲b置60通過無線或者有線的通信來控制、第二起重機40a、40b和高架搬運車50的動作。此外，控制裝置60也可以分割為控制、第二起重機40a、40b的控制裝置、和控制高架搬運車50的控制裝置。另外，也可以通過不同的控制裝置來控制起重機40a與第二起重機40b。在上述的搬運系統(tǒng)100中，起重機40a在保管區(qū)域sa1內(nèi)搬運物品2。例如，起重機40a沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11朝向一個方向，例如圖1中的逆時針的方向行駛，并在處理裝置tl1的裝載端口lp、保管部20a、以及交接端口30a之間搬運物品2。第二起重機40b在第二保管區(qū)域sa2內(nèi)搬運物品2。例如，第二起重機40b沿著第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12朝向一個方向，例如圖1中的逆時針的方向行駛。錫山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運具錫山區(qū)短途商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向存儲庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機軌道20移動(參照圖9的箭頭)。第二機架間軌道44、第二連結(jié)軌道60b以及起重機軌道20各自剖面形狀相同，所以懸掛式起重機30的起重機用行駛部31能夠無障礙地從第二機架間軌道44經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b進入起重機軌道20。懸掛式起重機30構(gòu)成被設(shè)置于存儲庫區(qū)域10b的存儲庫10的一部分，能夠在存儲庫區(qū)域10b內(nèi)的保管部11與交接口12之間進行物品2的交接。此外，在懸掛式起重機30的移動中，在從當前的軌道向下一個軌道換乘時、或者以曲線狀移動時也可降低移動速度，防止下垂的桅桿32因振動或者離心力等向外側(cè)擺動。另外，懸掛式起重機30走從存儲庫區(qū)域10b向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下，與上述相同，首先，從存儲庫區(qū)域10b內(nèi)的起重機軌道20c經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b向第二機架間軌道44移動。接著，懸掛式起重機30向第二機架內(nèi)環(huán)繞軌道42的外繞軌道42a移動，經(jīng)由連接軌道42c向內(nèi)繞軌道42b移動。接著，懸掛式起重機30從機架間軌道43側(cè)的連接軌道42c向外繞軌道42a移動，從外繞軌道42a向機架間軌道43移動，從機架間軌道43經(jīng)由連結(jié)軌道60a向存儲庫區(qū)域10a內(nèi)的起重機軌道20移動。如上所述，根據(jù)本實施方式的搬運系統(tǒng)100。
具體實施方式以下，參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中，使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向，是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導體設(shè)備的制造工廠等，對收容有在半導體設(shè)備的制造中使用的半導體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中，使用物品2是foup的例子來進行說明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外，搬運系統(tǒng)100也能夠應用于除半導體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中。新吳區(qū)長途商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
電池的電量也逐漸被消耗掉。由于電池在移動設(shè)備上，同時可被在線監(jiān)控，因此在電池的電量掉到一定的設(shè)定值后，搬運系統(tǒng)會提醒要對電池進行充電操作。充電可以利用移動設(shè)備的機動性對其到指定充電站位置自動充電也可以進行電池直接置換操作。坦克鏈類：有些應用場景下，離散搬運設(shè)備的行程不大，也沒有很多角度換向等動作，則可以繼續(xù)采用傳統(tǒng)的動力線纜的方式進行供電。為了保護好動力電纜不會隨著設(shè)備的移動造成損毀，可以采用線纜坦克鏈的方式將動力電纜保護起來。線纜坦克鏈技能有效保證移動搬運設(shè)備移動的機動性不受影響，同時也能有效的保證動力線的完整。劃觸線對于移動設(shè)備的供電，傳統(tǒng)和應用的一種方式是劃觸線供電。在移動設(shè)備上安裝有碳刷機構(gòu)，通過與劃觸線的接觸，將動力電傳輸?shù)揭苿釉O(shè)備本體上做為動力輸入。劃觸線可以根據(jù)移動路線的需要，做成有一定曲率的。非接觸供電對于離散類移動設(shè)備還有一類特殊的供電方式為無接觸式供電方式。通常采用兩根電纜鋪設(shè)在移動的路徑的地面下方，兩根電纜的電流成反向流動，在兩根電纜之間形成強烈磁場。通過在移動設(shè)備上安裝電力感應裝置，使移動設(shè)備在經(jīng)過鋪設(shè)有此類電纜的地面處時，將磁場轉(zhuǎn)換為電能。梁溪區(qū)品質(zhì)商鋪搬運報價哪家好，誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫長短途商鋪搬運收費
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以規(guī)定的速度使升降臺33下降或者上升。另外，驅(qū)動部35b被控制裝置80等控制，將升降臺33保持在目標的高度。升降驅(qū)動部35雖被設(shè)置于上部支承體37(起重機用行駛部31)，但并不限于該結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部35例如也可被設(shè)置于升降臺33。作為升降驅(qū)動部35被設(shè)置于升降臺33的構(gòu)成例如，也可以將從上部支承體37吊掛下來的帶狀物或者線材等通過搭載于升降臺33的升降機等進行卷繞或抽出而使升降臺33升降。另外，也可將驅(qū)動小齒輪的電動馬達等搭載于升降臺33，將該小齒輪嚙合的齒條形成于桅桿32，驅(qū)動電動馬達等使小齒輪旋轉(zhuǎn)，由此使升降臺33升降。如圖1～圖3所示，高架搬運車軌道40被配置于存儲庫區(qū)域10a外。高架搬運車軌道40沿著處理裝置tl的裝載端口lp設(shè)置，延伸到存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域)10b。高架搬運車軌道40除了懸掛式起重機30的載入時都被設(shè)置于在高架搬運車50的運轉(zhuǎn)中允許作業(yè)者的通行的作業(yè)者通路10g的上方。另外，懸掛式起重機30的起重機用行駛部31能夠在高架搬運車軌道40行駛。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠使在作業(yè)者的進入被禁止的作業(yè)者進入禁止區(qū)域10f內(nèi)運轉(zhuǎn)的懸掛式起重機30、經(jīng)由被設(shè)置于作業(yè)者的通行被允許的作業(yè)者通路10g上的高架搬運車軌道40而適當?shù)匾苿印Ｒ伺d質(zhì)量商鋪搬運收費
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