高架搬運車50在從其它存儲庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st接受了物品2的情況下,能夠沿著高架搬運車軌道40行駛至存儲庫區(qū)域10a的交接口12,在交接口12載置物品2。在高架搬運車50在機架內(nèi)環(huán)繞軌道41行駛的情況下,位于外繞軌道41a的高架搬運車50能夠進行物品2相對于交接口12的交接。高架搬運車50在物品2相對于交接口12的交接中,在利用側(cè)出機構(gòu)55使升降驅(qū)動部54向外繞軌道41a的側(cè)方突出了的狀態(tài)下,使物品保持部53升降(參照圖5)。另外,位于外繞軌道41a的高架搬運車50能夠進行物品2相對于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運車50在物品2相對于裝載端口lp的交接中,不驅(qū)動或者基本不驅(qū)動側(cè)出機構(gòu)55而使物品保持部53升降(參照圖5)。另外,位于外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的高架搬運車50能夠進行物品2相對于暫存區(qū)st的交接。高架搬運車50在物品2相對于暫存區(qū)st的交接中,在通過側(cè)出機構(gòu)55使升降驅(qū)動部54向外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b軌道的側(cè)方突出了的狀態(tài)下使物品保持部53升降。物品2相對于暫存區(qū)st的交接在外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個中都能夠進行,高架搬運車50通過改變側(cè)出機構(gòu)55的突出方向就能夠?qū)?yīng)(參照圖5)。此外。新吳區(qū)專業(yè)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。江陰貨車商鋪搬運費用
使懸掛式起重機30從存儲庫區(qū)域10a沿著機架間軌道43、機架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機架間軌道44移動,經(jīng)由維護區(qū)域10c側(cè)的第二連結(jié)軌道60b向起重機軌道20c移動。在維護區(qū)域10c中,也可保持將懸掛式起重機30保持于起重機軌道20c的狀態(tài)來進行維護,也可從起重機軌道20c取下懸掛式起重機30來進行維護。另外,可以利用維護裝置mn維護懸掛式起重機30,也可利用其它器具等進行維護。在利用維護裝置mn進行維護的情況下,例如也可通過控制裝置80自動地進行。在使懸掛式起重機30從維護區(qū)域10c向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下,與上述實施方式相同,使懸掛式起重機30沿著起重機軌道20c、第二連結(jié)軌道60b以及第二機架間軌道44移動,從第二機架內(nèi)環(huán)繞軌道42側(cè)向存儲庫區(qū)域10a移動。這樣,能夠容易使懸掛式起重機30在存儲庫區(qū)域10a內(nèi)與維護區(qū)域10c之間移動,能夠避免在維護時將懸掛式起重機30從起重機軌道20取下并搬運這樣的麻煩并且能夠避免提高成本的作業(yè)。另外,如圖12所示,規(guī)定區(qū)域10d也可具有懸掛式起重機30的初始投入部90、以及保管多個懸掛式起重機30的起重機保管部91。此外,雖在規(guī)定區(qū)域10d配置有維護裝置mn,但也可代替維護裝置mn而配置有保管部11,也可配置有起重機保管部91。江陰長途商鋪搬運電話梁溪區(qū)短途商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
圖4是表示懸掛式起重機的一個例子的圖。圖5是表示高架搬運車的一個例子的圖。圖6是表示起重機用行駛部以及搬運車用行駛部的一個例子的圖。圖7是表示使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖8是表示與圖7接續(xù)、使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖9是表示與圖8接續(xù)、使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖10是表示與圖9接續(xù)、使懸掛式起重機從存儲庫區(qū)域向規(guī)定區(qū)域移動時的移動路徑的一個例子的圖。圖11是表示規(guī)定區(qū)域是維護區(qū)域的一個例子的俯視圖。圖12是表示包含初始投入部的規(guī)定區(qū)域的一個例子的俯視圖。具體實施方式以下,參照附圖來說明本發(fā)明的實施方式。但是,本發(fā)明并不限于該實施方式。另外,在附圖中為了說明實施方式,放大或強調(diào)地記載一部分等適當(dāng)?shù)馗淖儽壤邅肀硎?。圖1是表示本實施方式的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如被設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,搬運收納有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中被使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,或者收納有中間掩膜等的中間掩膜盒等物品2。這里雖說明了物品2是foup的情況。
因此效率會大受影響。為了進一步提升離散搬運系統(tǒng)的效率,參考上節(jié)的效率計算,可以得知從下面幾個方面入手:增加更多的搬運設(shè)備到系統(tǒng)中提升離散搬運系統(tǒng)的物理運行速度提升單臺設(shè)備的承載量由于離散搬運系統(tǒng)的特點是機動性,也就是搬運設(shè)備通過自由移動的方式可以在不同的位置之間進行搬運物料。由于設(shè)備本身是不停移動的特點,因此如何解決移動通訊的問題是個挑戰(zhàn)。:多臺離散搬運設(shè)備之間通訊離散搬運設(shè)備之間由于在共同完成一項總的上下游搬運任務(wù),因此設(shè)備與設(shè)備之間不可避免的可能會出現(xiàn)同時接駁同一個的上游,可能會出現(xiàn)接駁同一個下游;設(shè)備與設(shè)備由于同時在移動,可能會同時移動到同一個位置,占用同一個公共資源(比如都要乘坐一部電梯,都要通過一扇門等),因此搬運設(shè)備之間需要彼此溝通協(xié)調(diào)好,設(shè)備與設(shè)備之間互相避讓,互相遵守一定的運行原則,這樣才能保證多臺設(shè)備之間默契配合共同完成搬運任務(wù)。離散設(shè)備與需要接駁的上下游設(shè)備之間的通訊離散設(shè)備在從上游取物料和將本體上的物料輸出到下游時,在互相接駁動作之前,首先需要兩者之間"接頭",確保上下游完全就位并具備條件時,才能開始接駁動作?;萆絽^(qū)企業(yè)商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
具體實施方式以下,參照附圖對實施方式進行說明。在以下的各圖中,使用xyz坐標系對圖中的方向進行說明。在該xyz坐標系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,關(guān)于x、y、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè))。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進行搬運。在本實施方式中,使用物品2是foup的例子來進行說明,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中。錫山區(qū)貨車商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。新吳區(qū)企業(yè)商鋪搬運價錢
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第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示、第二保管區(qū)域sa1、sa2的、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示,、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部,由此相對于架部定位物品2。各、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。、第二保管部20a、20b和、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛,由此在、第二保管部20a、20b等的下方,例如能夠作為能夠供操作人員等通行的通路利用。、第二保管部20a、20b沿著裝載端口lp在y方向上排列配置多個。、第二保管部20a、20b在各個、第二保管區(qū)域sa1、sa2配置兩列。、第二保管部20a、20b的各個列相對于裝載端口lp的列在x方向?qū)χ门渲?。保管?0a配置于相對于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a的正下方在x方向錯開的位置。江陰貨車商鋪搬運費用
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