極紫外光刻（英語：Extremeultra-violet，也稱EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長(zhǎng)是下一代光刻技術(shù)，其波長(zhǎng)為13.5納米，預(yù)計(jì)將于2021年得到廣泛應(yīng)用。幾乎所有的光學(xué)材料對(duì)13.5nm波長(zhǎng)的極紫外光都有很強(qiáng)的吸收，因此，EUV光刻機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)只有使用反光鏡。我們上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA905鋁合金材料正是適合做反射鏡的材料，很好得避免了材料吸收紫外線的問題。增大紫外線的反射率。此外在天體物理學(xué)的應(yīng)用上，有國(guó)際紫外探測(cè)器（IUE），是一個(gè)主要用于紫外光譜觀測(cè)的天文衛(wèi)星。在超過19年的觀測(cè)時(shí)間里，IUE對(duì)不同的天體進(jìn)行了10萬次以上的觀測(cè)，這些天體包括：行星、彗星、恒星、星際氣體、超新星、行星極光、星系和類星體等。這也是這種材料的典型應(yīng)用。表面反射率高的微晶鋁合金。全國(guó)微晶鋁合金產(chǎn)品介紹

微晶結(jié)構(gòu)鋁合金材料的應(yīng)用，RSA-905微晶結(jié)構(gòu)，適合精密拋光加工，應(yīng)用反射鏡和光學(xué)透鏡模具。特點(diǎn)：1，表面平整度好小于1nm2，不需要在表面鍍層3，成型后穩(wěn)定性高4，熱膨脹系數(shù)低5，高導(dǎo)熱率6，輕量化解決方案。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高，可以應(yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。特點(diǎn)：1，優(yōu)越的可加工性2，比剛度高3，成型后穩(wěn)定性高4，熱膨脹系數(shù)低5，高導(dǎo)熱率6，輕量化解決方案?？焖倮鋮s工藝使微晶合金晶粒大小分布均勻，容易得到表面高平整度。加工性能好。反射鏡微晶鋁合金RSA-6061微晶鋁合金對(duì)如今市場(chǎng)的影響。

RSP技術(shù)生產(chǎn)和開發(fā)鋁高溫合金。由于超快速冷卻技術(shù)（>每秒1.000.000oC），液態(tài)金屬“凍結(jié)”并產(chǎn)生具有非常精細(xì)均勻微觀結(jié)構(gòu)的新型微晶鋁合金。RSP開發(fā)的熔融紡絲生產(chǎn)方法為獨(dú)特和質(zhì)量的材料奠定了基礎(chǔ)，這些材料為航空航天，光學(xué)，精密設(shè)備，賽車，電子，醫(yī)療和汽車行業(yè)的輕量化應(yīng)用提供了合適的解決方案。該工藝被稱為快速凝固工藝（RSP），為合金化提供了很大的范圍，并生產(chǎn)出具有獨(dú)特性能的材料。憑借較短的生產(chǎn)周期優(yōu)勢(shì)，RSP將自己定位為材料生產(chǎn)和合金開發(fā)方面的佼佼者。

光學(xué)模具一般都用于眼鏡模具，照相機(jī)攝像機(jī)鏡頭，毫米波雷達(dá)的罩子這種對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)要求比較高的產(chǎn)品，因?yàn)檫@些產(chǎn)品對(duì)于光潔度，成像清晰度。甚至對(duì)于毫米波雷達(dá)的雷達(dá)波反射的要求都是有比較高的要求，基本要求這些產(chǎn)品反射率都是很高的，不能產(chǎn)生任何光線的漫反射，使其影響表面成象效果。怎么樣才能將光學(xué)模具鏡面拋光做的比較好呢？可以選用上海微聯(lián)實(shí)業(yè)的RSA微晶鋁合金。首先光學(xué)模具鏡面拋光原料是有一定的要求的，我們的RSA-905的特殊工藝，使其表面平整度非常好，顆粒均勻，精加工非常方便。然后我們的RSA-905強(qiáng)度非常高，模次率達(dá)到幾十萬次。非常經(jīng)濟(jì)實(shí)惠。小衛(wèi)星上可以用的微晶鋁材料。

RSP微晶鋁合金是高性能納米結(jié)構(gòu)鋁合金，主要有三個(gè)牌號(hào)：RSA-6061，RSA-443，RSA-905，都廣泛應(yīng)用于光學(xué)行業(yè)，1、反射鏡，使用RSA系列的微晶鋁，代替普通的6061，可以得到更好的表面加工質(zhì)量，表面光潔度可以提高4倍。可以替代碳化硅材料，微晶鋁可加工性能好。RSA-443，可以用作鍍鎳反射鏡基體，沒有雙金屬效應(yīng)；可以制造高精度設(shè)備模塊。RSA-905可以通過拋光達(dá)到RMS＜1nm；可以制造高精密光學(xué)部件。2、模具和模仁的應(yīng)用RSA-905可以直接用作模仁，無需鍍鎳及后續(xù)加工，模次率大幅提高。微晶鋁合金可以做檢波器。航天航空微晶鋁合金量大從優(yōu)

可以做半導(dǎo)體設(shè)備的微晶鋁合金。全國(guó)微晶鋁合金產(chǎn)品介紹

RSP鋁合金密度小，強(qiáng)度高，韌性高，高的導(dǎo)熱率和電導(dǎo)率，高耐磨性，耐腐蝕性好，優(yōu)異的加工性能。在航空航天，機(jī)械制造，工業(yè)半導(dǎo)體等有大量應(yīng)用。RSA-905適合精拋光加工，具有表面平整度好，成型后穩(wěn)定性能高，熱膨脹系數(shù)低，高的導(dǎo)熱率，無需表面渡層?？梢詰?yīng)用于反射鏡和光學(xué)透鏡模具。RSA-443熱穩(wěn)定性和機(jī)械性能高，具有優(yōu)越的可加工性，比剛度高，導(dǎo)熱系數(shù)高，熱膨脹系數(shù)低，成型后穩(wěn)定性高?？梢詰?yīng)用于高精密工業(yè)半導(dǎo)體部件。全國(guó)微晶鋁合金產(chǎn)品介紹