技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明解決的技術問題在于提供高速高響應度的硅基光電二極管及其制備方法，在不影響光電二極管響應度的前提下，解決了硅基光電二極管響應速度慢的問題，實現(xiàn)硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發(fā)明是通過以下技術方案來實現(xiàn)：一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極的襯底；襯底正面依次設有高反層、外延層、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極；所述的高反層上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極相對應的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)以及設在其內(nèi)的有源區(qū)；所述的正面金屬電極還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)相連接。所述的襯底為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極。所述的高反層由折射率～～；高反層上開設的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔，或者為同心環(huán)形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時，孔直徑為10～50um，孔間距為15～50um，圓形孔的總面積為結面積的1/2；所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時，同心環(huán)中心與正面金屬電極的中心重合，同心環(huán)中心為刻蝕區(qū)，相鄰環(huán)間距5～20um。所述的外延層淀積在高反層上；在外延層上分別以n型離子注入形成保護環(huán)。世華高硅光電二極管助你實現(xiàn)智能生活。湖南硅pin硅光電二極管多少錢

    6)在sio2層104、si3n4層105上刻出接觸孔，然后濺射金屬，濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極106；7)在襯底107的背面做金屬化處理形成背面電極108。進一步的，所述的襯底107采用電阻率20～100為ohm·cm的低電阻率硅材料；襯底107直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸；所述的高反層109是由折射率～～，通過化學氣相淀積或光學鍍膜技術生成；所述的外延層101的電阻率為500～1000ohm·cm，外延層101的厚度與耗盡區(qū)寬度相當；所述的保護環(huán)102為as離子源注入，注入劑量為1e15～2e15。所述的有源區(qū)103為b離子源注入，注入劑量為1e15～2e15；所述的正面金屬電極106是在濺射al之后刻蝕形成。具體的，包括以下操作：1)以在n+摻雜硅材料作為襯底107，在其上通過化學氣相淀積或光學鍍膜生成厚度3～5um的高反層109；其中。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展。湖南硅pin硅光電二極管多少錢pin硅光電二極管 選深圳世華高。

    深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。硅光電二極管是當前普遍應用的半導體光電二極管。下面我們談談2CU和2DU兩種類型硅光電二極管的種類、構造以及應用上的一些問題。種類與構造一、2CU型硅光電二極管：2CU型硅光電二極管是用N型硅單晶制作的，根據(jù)外形尺寸的大小它又可分2CU-1-，2CU-2-，2CU-3-等型號，其中2CU-1-與2CU-2-體積較大，2CU-3-稍小些（見圖1（a））。這種類型的光電二極管多用帶透鏡窗口的金屬管殼封裝，下端有正、負兩個電極引線，它們分別與管心中的光敏面（P型層）和N型襯底相連。光線從窗入后經(jīng)透鏡聚焦在管心上，由于這種聚光作用增強了光照強度，從而可以產(chǎn)生較大的光電流。二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環(huán)極（見圖1（b））。前極即光敏區(qū)（N型區(qū)）的引線；后極為襯底（P型區(qū)）的引線。

    該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。由襯底107與外延層101體電阻組成)，cj為光電二極管結電容(主要由p+有源區(qū)103與外延層101構成二極管的勢壘電容組成)，rl為系統(tǒng)等效負載(50ω)；rs＝ρ(wo-wd)/aj+rc，其中，wo為襯底厚度，wd為耗盡區(qū)寬度，aj為結面積，rc為接觸電阻(歐姆接觸可忽略不計)，ρ為襯底電阻率；光電二極管響應度responsivity很大程度上依賴于耗盡區(qū)的寬度，耗盡區(qū)越寬，光子轉換的光生載流子越多，響應度越高；而光電二極管響應時間t由三部分組成：t＝(tcc2+tdiff2+trc2)1/2；tcc為耗盡區(qū)中光生載流子的收集時間，與耗盡區(qū)寬度wd成正比；tdiff為耗盡區(qū)之外的光生載流子擴散到耗盡區(qū)里面所需的時間，正比于(wo-wd)2；trc為rc時間常數(shù)，trc＝(rs+rl)cj；本發(fā)明提供的高速高響應度的硅基光電二極管。專業(yè)硅光電二極管生產(chǎn)廠家就找深圳世華高。

    世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。高反層109由高折射率薄膜與低折射率薄膜交替疊加組成；2)利用等離子刻蝕機在高反層109上以干法刻蝕開設刻蝕孔，并刻蝕掉與正面金屬電極106相對的高反層109；3)刻蝕完成后，在高反層109上以化學氣相淀積的方法生長電阻率500～1000ohm·cm的n-外延層，其厚度與耗盡區(qū)寬度相當；4)在外延層101上以as離子源進行n型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成保護環(huán)102。與保護環(huán)102間距12～20um，在外延層101上以b離子源進行p型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成有源區(qū)103；5)在保護環(huán)102和有源區(qū)103上通過熱氧化法生成sio2層104，在sio2層上方淀積生長si3n4層105；6)接連刻穿si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al，并將濺射層刻蝕形成正面金屬電極106；7)在襯底107背面直接進行金屬化處理形成背面電極108。下面給出具體的實施例。實施例11)在n+重摻雜的襯底107上濺射生成厚度3～5um的高反層109，2)利用等離子刻蝕機干法刻蝕工藝在高反層109刻孔；3)高反層109上通過淀積的方法生長n-外延層101。濱松光電二極管哪家棒！世華高。湖南硅pin硅光電二極管多少錢

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