激光干涉儀引力波探測器的基本光學結構：激光干涉儀引力波探測器是一種大型綜合性實驗裝置,由光學部分、機械部分、信號轉換部分和控制部分等組成。本質上講,它應該是一臺超大型高精度的光學儀器,其光學部分的主體。激光器是激光干涉儀引力波探測器的光源[2],用于引力波探測的干涉儀對光源有如下要求:(1)高輸出功率和好的功率穩(wěn)定性：激光功率漲落產生的霰彈噪聲是影響激光干涉儀引力波探測器靈敏度的主要噪聲之一。(2)單一的振動頻率和高的頻率穩(wěn)定性：為使激光干涉儀引力波探測器能夠穩(wěn)定地鎖定在需要的工作點上,要求激光器輸出的光束具有單一的振動頻率。激光頻率漲落引起的噪聲是影響干涉儀靈敏度嚴重的噪聲之一,我們稱此噪聲為干涉儀的頻率噪聲,必須盡量減小。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。北京儀器校準激光干涉儀維護

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發(fā)散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發(fā)熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。濟南精密測量激光干涉儀激光干涉儀配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發(fā)、設備制造等領域。

激光干涉儀在立式配置下，樣品的放置，夾持和調整更方便，提高了測試效率。立式架構整機占地更小；整個干涉腔，處于穩(wěn)定的框架結構下，這樣對抗振要求更低，可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優(yōu)勢，比如高精度曲率半徑測量，大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量，要求樣品表面保持和工作狀態(tài)一致的條件下測量。工業(yè)現場測試環(huán)境下，立式配置下，樣品的夾持放置，更有效率，更加穩(wěn)定。在某些應用場合，基于測試效率，樣品夾持，測試方式或精度的要求，立式配置會更有優(yōu)勢。激光干涉儀的應用：數控機床動態(tài)的性能檢測。

激光干涉儀常見故障及解決方法：開機無顯示：1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整：1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。高度調節(jié)不明顯：檢查高度調節(jié)旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗：調節(jié)干涉儀上的亮度調節(jié)旋鈕。干涉條紋亂：檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。被測鏡片星點像找不到：調整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動：調節(jié)標準鏡頭的圓形圖像。激光干涉儀作為精密工具機或測量儀器的校正工作。數控校準激光干涉儀求購

激光干涉儀配有各種附件。北京儀器校準激光干涉儀維護

激光干涉儀的應用：幾何精度檢測?？捎糜跈z測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。北京儀器校準激光干涉儀維護

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