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在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外。綜上所述,水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡?。雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在中國(guó)的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。單級(jí)油式旋片真空泵供貨公司
羅茨真空泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵。在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱的轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn),由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子彼此無(wú)接觸,轉(zhuǎn)子與泵腔壁也無(wú)接觸,其間通常有0.15~1.0mm的間隙,泵腔靠間隙來(lái)密封。由于羅茨泵泵腔內(nèi)無(wú)摩擦,轉(zhuǎn)子可高速運(yùn)轉(zhuǎn),一般為1500~3000r/min,而且不必用潤(rùn)滑油,可實(shí)現(xiàn)無(wú)油清潔的抽氣過(guò)程。泵的潤(rùn)滑部位只限于軸承和齒輪,以及動(dòng)密封處。泵沒(méi)有往復(fù)運(yùn)動(dòng)部件,故可實(shí)現(xiàn)良好的動(dòng)平衡。因而,羅茨泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),轉(zhuǎn)速高,尺寸小可獲得大的抽速。上海太陽(yáng)能行業(yè)用真空泵供應(yīng)價(jià)格真空泵的比較大前級(jí)壓強(qiáng):真空泵口比較大前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa,它是指超過(guò)了 能使泵損壞 的前級(jí)壓強(qiáng)。
分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場(chǎng)合的需要。
泵的傳動(dòng)方式。真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過(guò)一對(duì)高精度齒輪來(lái)實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過(guò)聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過(guò)去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中均勻。這種傳動(dòng)方式的比較大缺點(diǎn)是:a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱,泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。單級(jí)真空泵簡(jiǎn)單磨損的部位是蒸汽的噴嘴,噴嘴被磨損后,不只會(huì)影響泵的功能,還會(huì)增加體系的運(yùn)轉(zhuǎn)本錢。
隨著技術(shù)的發(fā)展,真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種真空泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價(jià)格又很低,所以有的國(guó)外真空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān),價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜,所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題,確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠,同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。可用于各種擴(kuò)散真空泵等,推薦用于工藝品、陶瓷、化學(xué)等領(lǐng)域的真空泵使用。實(shí)驗(yàn)室羅茨真空泵采購(gòu)
真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。單級(jí)油式旋片真空泵供貨公司
螺桿真空泵的結(jié)構(gòu):傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子,通過(guò)同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開(kāi)有冷卻水通道,用來(lái)冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤(rùn)滑,軸承和殼體內(nèi)部通過(guò)密封件來(lái)密封以達(dá)到無(wú)油的效果。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上,通用的是直連電機(jī),用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng)。 等螺距螺桿泵由于無(wú)內(nèi)壓縮過(guò)程,排氣溫度非常高,如冷卻效果不好,會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形,影響抽氣效果。冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié),水冷是比較常見(jiàn)的方法,在機(jī)殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水,可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。單級(jí)油式旋片真空泵供貨公司
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