水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵比較初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到普遍的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。真空泵的壓縮比:壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。旋片真空泵廠商
分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。旋片型真空泵報價隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。
國內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè),從2004年起便開始進(jìn)行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國內(nèi)干式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據(jù)的時候,國內(nèi)公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn),并得到國家的大力支持獲得各類省級科技獎項和資金。LG干式螺桿真空泵極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對不同工藝條件,其過流部件(即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分)均有防腐涂層,包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
真空泵特點:通常情況下在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可極大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難??谷榛院谜婵毡糜陀退蛛x能力強,水蒸汽與冷凝氣體通過開氣鎮(zhèn)閥,會排出部分水蒸汽。
各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響,一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求,因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以普遍應(yīng)用。真空泵在運轉(zhuǎn)過程中,系統(tǒng)內(nèi)水分及冷氣體會排入泵油中會影響泵油運用壽命也使極限壓力變壞。旋片真空泵價位
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。旋片真空泵廠商
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設(shè)備,日本在螺桿壓縮機基礎(chǔ)上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線,并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線,并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn),在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵,它是一種全新的設(shè)計,是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,有內(nèi)壓縮過程,泵腔內(nèi)無軸承和密封,極大降低了故障率,泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門,因而耐粉塵和焦油能力強,此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形,螺桿壽命長。旋片真空泵廠商