粗真空系的真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。普遍用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單,使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)。主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被普遍應(yīng)用于機(jī)械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。普遍應(yīng)用于化工、食品、建材等部門,特別是在真空結(jié)晶、干燥、過濾、蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。通過對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出,各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。旋片式機(jī)械真空泵供應(yīng)企業(yè)
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設(shè)備,日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線,并投入市場(chǎng)。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線,并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產(chǎn)進(jìn)入批量化生產(chǎn),在化工制藥等行業(yè)得到很好的應(yīng)用。在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵,它是一種全新的設(shè)計(jì),是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,有內(nèi)壓縮過程,泵腔內(nèi)無軸承和密封,極大降低了故障率,泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門,因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng),此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形,螺桿壽命長。羅茨螺桿機(jī)組旋片機(jī)組供應(yīng)費(fèi)用真空泵的比較大前級(jí)壓強(qiáng):真空泵口比較大前級(jí)壓強(qiáng)單位是Pa,它是指超過了 能使泵損壞 的前級(jí)壓強(qiáng)。
擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作??煞譃椋孩僮詢艋瘮U(kuò)散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵②分餾式擴(kuò)散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。
分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場(chǎng)合的需要。真空泵油是:一種專門為真空設(shè)備上的真空泵而研制的潤滑油,分礦物油和合成油兩種。
氣體捕集泵,這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式:吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)?;ち_茨真空泵批發(fā)
真空泵壓縮比較低,對(duì)氫氣抽氣效果差;旋片式機(jī)械真空泵供應(yīng)企業(yè)
拆卸真空泵:在拆卸前應(yīng)將泵腔內(nèi)的水放出,要將氣水分離器和吸氣管部件拆下,在拆卸過程中應(yīng)將所有的墊片謹(jǐn)慎的取下,如有損壞應(yīng)更換同樣的墊片。泵應(yīng)從后端(無聯(lián)軸器或無皮帶輪一端)開始拆卸,其順序如下:拆后軸承壓蓋,用勾板手將兩圓螺母松開,取下軸承座及軸承;松開填料壓蓋螺母,取下填料壓蓋;拆下連接結(jié)泵蓋與泵體的六角螺栓和泵蓋底腳處螺栓后,取下后端蓋;取下泵體;松開另一端底腳螺栓;卸下聯(lián)軸器,并取下軸上的鍵;卸下前軸承部件;卸下前端蓋后將軸和葉輪一起取出。拆卸完畢后,應(yīng)將零件上有關(guān)配合面涂上機(jī)油,螺紋處也應(yīng)涂上機(jī)油保護(hù)好。旋片式機(jī)械真空泵供應(yīng)企業(yè)