粗真空系的真空泵主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。普遍用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結構簡單,使用方便、工作可靠、維護方便的特點。主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被普遍應用于機械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。是獲得粗真空的主要真空設備之一。普遍應用于化工、食品、建材等部門,特別是在真空結晶、干燥、過濾、蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發(fā)展。旋片式機械真空泵供應企業(yè)
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能,在歐美和日本已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇的真空獲得設備,日本在螺桿壓縮機基礎上,很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線,并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線,并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。中國企業(yè)在2008年也將螺桿真空泵的生產進入批量化生產,在化工制藥等行業(yè)得到很好的應用。在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應用(非半導體應用)設計的干式泵,它是一種全新的設計,是專門用來解決工業(yè)應用中艱苦的真空問題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉子,有內壓縮過程,泵腔內無軸承和密封,極大降低了故障率,泵腔內沒有內部閥門,因而耐粉塵和焦油能力強,此泵的螺桿采用內部中空冷卻,可以降低轉子溫度和熱變形,螺桿壽命長。羅茨螺桿機組旋片機組供應費用真空泵的比較大前級壓強:真空泵口比較大前級壓強單位是Pa,它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。
擴散泵:以低壓高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為:①自凈化擴散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵②分餾式擴散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸汽壓強較低的工作液蒸汽進入高真空工作的噴嘴,而蒸汽壓強較高的工作液蒸汽進入低真空工作的噴嘴,它是一種多級油擴散泵。
分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,既提高了生產效率又改善了膜層質量。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。真空泵油是:一種專門為真空設備上的真空泵而研制的潤滑油,分礦物油和合成油兩種。
氣體捕集泵,這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式:吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構?;ち_茨真空泵批發(fā)
真空泵壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;旋片式機械真空泵供應企業(yè)
拆卸真空泵:在拆卸前應將泵腔內的水放出,要將氣水分離器和吸氣管部件拆下,在拆卸過程中應將所有的墊片謹慎的取下,如有損壞應更換同樣的墊片。泵應從后端(無聯(lián)軸器或無皮帶輪一端)開始拆卸,其順序如下:拆后軸承壓蓋,用勾板手將兩圓螺母松開,取下軸承座及軸承;松開填料壓蓋螺母,取下填料壓蓋;拆下連接結泵蓋與泵體的六角螺栓和泵蓋底腳處螺栓后,取下后端蓋;取下泵體;松開另一端底腳螺栓;卸下聯(lián)軸器,并取下軸上的鍵;卸下前軸承部件;卸下前端蓋后將軸和葉輪一起取出。拆卸完畢后,應將零件上有關配合面涂上機油,螺紋處也應涂上機油保護好。旋片式機械真空泵供應企業(yè)