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來源: 發(fā)布時間:2024-05-15

螺桿真空泵的結(jié)構(gòu):傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,通用的是直連電機,用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程,排氣溫度非常高,如冷卻效果不好,會造成轉(zhuǎn)子和機殼變形,影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié),水冷是比較常見的方法,在機殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水,可以達到冷卻殼體進而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。水蒸氣允許量:水蒸氣 的允許量單位是kg/h。雙旋片真空泵批發(fā)

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水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機,稱為水環(huán)式壓縮機,是屬于低壓的壓縮機,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。水環(huán)泵比較初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到普遍的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。旋片式機械真空泵現(xiàn)價真空泵油能迅速將油液中夾帶的水分分離出來,達到所需的真空度。

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水環(huán)式真空泵比較初用作自吸水泵。是由葉輪、泵體、吸排氣盤、水在泵體內(nèi)壁形成的水環(huán)、吸氣口、排氣口、輔助排氣閥等組成的。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到普遍的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。

根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將真空泵分為三類:(1)一般水泵,壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。(2)油泵,壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。(3)擴散泵,壓強可達0.133Pa以下,(10-3mmHg)為"高"真空。若要較低的壓力,那就要用到油泵了,好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。在有機化學(xué)實驗室里常用的減壓泵有水泵和真空泵兩種,若不要求很低的壓力時,可用水泵,如果水泵的構(gòu)造好且水壓又高,抽空效率可達1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的比較低壓力理論上相當(dāng)于當(dāng)時水溫下的水蒸氣壓力。例如,水溫25℃、20℃、10℃時,水蒸氣的壓力分別為3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽氣時,應(yīng)在水泵前裝上安全瓶,以防水壓下降,水流倒吸;停止抽氣前,應(yīng)先放氣,然后關(guān)水泵。真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。

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真空泵特點:通常情況下在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可極大降低驅(qū)動功率,從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面,加工和檢查比較困難。真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。干式螺桿真空泵售價

真空泵的返流率:泵的返流率 單位是g/cm2.s。雙旋片真空泵批發(fā)

分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場合的需要。雙旋片真空泵批發(fā)