如何正確地組合真空泵?由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空泵的前級壓強:真空泵的前級壓強 單位是Pa,它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。螺桿真空泵哪里買
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。綜上所述,水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡?。雙級旋片真空泵供貨商市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。
螺桿真空泵的結(jié)構(gòu):傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子,通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),在殼體上開有冷卻水通道,用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度,同步齒輪及軸承用油潤滑,軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似,一般真空泵的排氣端用機械式密封件,進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上,通用的是直連電機,用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接,極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程,排氣溫度非常高,如冷卻效果不好,會造成轉(zhuǎn)子和機殼變形,影響抽氣效果。冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié),水冷是比較常見的方法,在機殼本體、軸承外側(cè)通冷卻水,可以達到冷卻殼體進而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。
水真空環(huán)泵和其它類型的機械真空泵相比有如下優(yōu)點:水真空環(huán)泵結(jié)構(gòu)簡單,制造精度要求不高,容易加工。另外它結(jié)構(gòu)緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動機直聯(lián),無須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。而且壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面,無須對泵內(nèi)進行潤滑,而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡單,維修方便。真空泵主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。
真空泵機械選擇:真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施;了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等;真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。真空泵油是:一種專門為真空設備上的真空泵而研制的潤滑油,分礦物油和合成油兩種。旋片式真空泵售價
泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。螺桿真空泵哪里買
泵總體結(jié)構(gòu)型式。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低,高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復雜。螺桿真空泵哪里買