靶材綁定背板流程：一、什么是綁定綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。靶材綁定常用釬焊，釬料常用In、Sn、In–Sn，一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/㎝2。二、為什么要綁定 1、防止靶材受熱不勻碎裂，例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材；2、節(jié)省成本，防止變形，如靶材太貴，可將靶材做薄些，綁定背靶以防止變形。三、背靶的選擇 1、常用無氧銅，導(dǎo)電性好，無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；2、厚度適中，一般建議背靶厚度3mm左右。太厚，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。四、綁定過程 1、綁定前將靶材和背靶表面預(yù)處理2、將靶材和背靶放置在釬焊臺(tái)上，升溫到綁定溫度3、將靶材和背靶金屬化4、粘接靶材和背靶5、降溫和后處理五、綁定靶材使用的注意事項(xiàng)1、濺射溫度不宜太高2、電流要緩慢加大3、循環(huán)冷卻水應(yīng)低于35攝氏度4、適宜的靶材致密度。 ITO靶材是當(dāng)前太陽能電池主要的濺射靶材。上海ITO陶瓷靶材價(jià)格咨詢

江蘇迪納科精細(xì)材料股份有限公司是一家主要生產(chǎn)和銷售陶瓷，金屬，合金等各類型靶材。陶瓷靶材以氧化銦基和氧化鋅基為主，金屬和合金靶材以各種熔煉工藝和擠壓鍛造工藝為主。

ITO靶材應(yīng)用領(lǐng)域

1、平板顯示器(純度4N)在平板顯示領(lǐng)域，ITO靶材主要用于制作ITO導(dǎo)電玻璃及觸控屏電極平板，是LCD、PDP、OLED、觸摸屏等各類平板顯示器件制備的主要材料。顯示面板一般涉及上下兩層ITO導(dǎo)電膜，用量較大，ITO靶材是平板顯示領(lǐng)域用量比較大的靶材之一。

2、薄膜太陽能電池(純度4N)ITO是一種透明導(dǎo)電層，在太陽能電池中作為透光層，同時(shí)作為電極，一般為正極，另一個(gè)電極一般以金屬銀或鋁作為背電極使用。ITO靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極。

3、保溫透光領(lǐng)域ITO透明導(dǎo)電膜玻璃作為發(fā)熱體，通電后可以除冰霜，用于飛機(jī)擋風(fēng)玻璃、飛機(jī)防眩窗、激光測距儀、潛望鏡觀察窗等多年來已得到了大規(guī)模的應(yīng)用。ITO透明導(dǎo)電膜玻璃正反面具有相反的紅外線通過及反射性能，玻璃正面具有優(yōu)良的紅外線通性，衰減量極小，而反面又具有紅外線阻擋反射作用，因而該種玻璃具有優(yōu)良的保溫透光性能，已大量用于制造冷藏柜，隨著成本的降低將有望用于房屋節(jié)能。

黑龍江光伏行業(yè)陶瓷靶材一般多少錢靶材預(yù)濺射建議采用純氬氣進(jìn)行濺射，可以起到清潔靶材表面的作用。

靶材是制備薄膜的主要材料之一，主要應(yīng)用于集成電路、平板顯示、太陽能電池、記錄媒體、智能玻璃等，對材料純度和穩(wěn)定性要求高。濺射靶材的工作原理：濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體即為濺射靶材。靶材發(fā)展趨勢是：高濺射率、晶粒晶向控制、大尺寸、高純金屬。

從ITO靶材的發(fā)展趨勢來看：1）大尺寸化，在需要大面積鍍膜時(shí)，通常將小尺寸靶材拼接焊接成大尺寸靶材，由于具有焊縫，靶材鍍膜質(zhì)量將降低；2）高密度化，在濺射過程中ITO靶材表面會(huì)出現(xiàn)結(jié)瘤現(xiàn)象，如果繼續(xù)濺射，所制備的薄膜光學(xué)性能以及電學(xué)性能將降低。高密度的靶材具有較好的熱傳導(dǎo)性以及較小的界面電阻，因此結(jié)瘤現(xiàn)象出現(xiàn)的概率較小，所制備的ITO薄膜的質(zhì)量較高，且生產(chǎn)效率、成本較低；3）提高靶材利用率，由于平面靶材在濺射過程中，中間部分難以被侵蝕，因此靶材利用效率相對較低。通過改變靶材形狀，可以提高靶材的利用效率，從而降低備ITO薄膜的成本。ITO靶材被廣泛應(yīng)用于各大行業(yè)之中，其主要應(yīng)用分為：顯示行業(yè)、薄膜太陽能電池、功能性玻璃，等三大領(lǐng)域。

靶材清潔的目的及方法：靶材清潔的目的是去除靶材表面可能存在的灰塵或污垢。金屬靶材可以通過四步清潔：第一步用浸泡過的無絨軟布清潔；第二步與第一步類似用酒精清潔；第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建議用“無絨布”進(jìn)行清潔。第四步用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會(huì)造成起弧的雜質(zhì)微粒。

我們建議用戶將靶材無論是金屬或陶瓷類保存在真空包裝中，尤其是貼合靶材更需要保存在真空條件下，以避免貼合層氧化影響貼合質(zhì)量。 IGZO由In2O3、Ga2O3和ZnO相互摻雜得到，是一種透明金屬氧化物半導(dǎo)體材料。黑龍江氧化物陶瓷靶材咨詢報(bào)價(jià)

ITO在薄膜太陽能電池中的作用是一種透明導(dǎo)電層，在電池中作為透光層主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極。上海ITO陶瓷靶材價(jià)格咨詢

濺射靶材開裂原因生產(chǎn)中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實(shí)際水溫存在差異，導(dǎo)致使用過程中靶材開裂。一般來說，輕微的裂紋不會(huì)對鍍膜生產(chǎn)產(chǎn)生很大的影響。但當(dāng)靶材有明顯裂紋時(shí)，電荷很容易集中在裂紋邊緣，導(dǎo)致靶材表面異常放電。放電會(huì)導(dǎo)致落渣、成膜異常、產(chǎn)品報(bào)廢增加。陶瓷或脆性材料靶材始終含有固有應(yīng)力。這些內(nèi)應(yīng)力是在靶材制造發(fā)展過程中可以產(chǎn)生的。此外，這些應(yīng)力不會(huì)被退火過程完全消除，因?yàn)檫@是這些材料的固有特性。在濺射過程中，氣體離子被轟擊以將它們的動(dòng)量傳遞給目標(biāo)原子，提供足夠的能量使其從晶格中逃逸。這種放熱動(dòng)量轉(zhuǎn)移使靶材溫度升高，在原子水平上可能達(dá)到極高的溫度。這些熱沖擊將靶材中已經(jīng)發(fā)展存在的內(nèi)應(yīng)力將會(huì)增加到許多倍。在這種情況下，如果不適當(dāng)散熱，靶材就可能會(huì)斷裂。二、濺射靶材開裂應(yīng)對事項(xiàng)為了防止靶材開裂，需要著重考慮的是散熱。需要水冷卻機(jī)構(gòu)以從靶去除不需要的熱能。另一個(gè)需要考慮的問題是功率的增加。短時(shí)間內(nèi)施加過大的功率也會(huì)對目標(biāo)造成熱沖擊。此外，我們建議將靶材粘合到背板上，這不僅為靶材提供了支撐，而且促進(jìn)了靶材與水之間更好的熱交換。如果目標(biāo)有一個(gè)裂紋，但它是粘接到背板上，仍可以正常使用。上海ITO陶瓷靶材價(jià)格咨詢

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