背板材料:無氧銅(OFC)–目前經(jīng)常使用的作背板的材料。因為無氧銅具有良好的導電性和導熱性,而且比較容易機械加工。如果保養(yǎng)適當,無氧銅背板可以重復使用10次甚至更多。鉬(Mo)–在某些使用條件比較特殊的情況下,如需要進行高溫貼合的條件下,無氧銅容易被氧化和發(fā)生翹曲,所以會使用金屬鉬為背板材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金屬靶材的熱膨脹系數(shù)無法與無氧銅匹配,同樣也需要使用金屬鉬作為背板材料。不銹鋼管(SST)–目前**常使用不銹鋼管作為旋轉靶材的背管,因為不銹鋼管具有良好的強度和導熱性而且非常經(jīng)濟。
背板重復使用大部分背板可以重復使用,尤其是采用金屬銦進行貼合的比較容易進行清潔和重新使用。如果是采用其他貼合劑(包括環(huán)氧樹脂)則可能需要采用機械處理的方式對背板表面處理后才能重復使用。當我們收到用戶提供的已使用過的背板后,我們會首先進行卸靶處理(如適用)并且對背板進行完全檢查,檢查的重點包括背板的平整度,完整性及密封性等。我們會通知用戶對背板的檢查結果,如我們發(fā)現(xiàn)有需要維修的地方會書面通知客戶并提供維修報價。 靶材開裂影響因素裂紋形成通常發(fā)生在陶瓷濺射靶材和脆性材料濺射靶材(如鉻、銻、鉍等)中。中國臺灣光伏行業(yè)陶瓷靶材推薦廠家
光伏領域對靶材的使用主要是薄膜電池和HJT光伏電池。以HJT電池片為例,在HJT電池片結構中具有TCO薄膜層,該薄膜承擔著透光以及導電的重要作用。應用PVD技術,使離子和靶材表面的原子離開靶材,在基底上形成透明導電薄膜。以鈣鈦礦電池結構為例,鈣鈦礦電池是由多層薄膜以及玻璃等構成。例如ITO薄膜就需要光伏靶材進行制備。薄膜較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等,ITO靶材是當前太陽能電池主要的濺射靶材。薄膜電池中透明導電膜至關重要,承擔著透光和導電的雙重作用。從ITO靶材的優(yōu)勢來看,氧化銦錫(ITO)是N型半導體材料,具有高導電率、高可見光透過率、較強的機械硬度和良好的化學穩(wěn)定性等優(yōu)點。因此,在光伏領域中,ITO靶材為原材料所制成的ITO薄膜具有較好的光學特性和電學特性。中國臺灣光伏行業(yè)陶瓷靶材推薦廠家濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高。
從ITO靶材的發(fā)展趨勢來看:1)大尺寸化,在需要大面積鍍膜時,通常將小尺寸靶材拼接焊接成大尺寸靶材,由于具有焊縫,靶材鍍膜質量將降低;2)高密度化,在濺射過程中ITO靶材表面會出現(xiàn)結瘤現(xiàn)象,如果繼續(xù)濺射,所制備的薄膜光學性能以及電學性能將降低。高密度的靶材具有較好的熱傳導性以及較小的界面電阻,因此結瘤現(xiàn)象出現(xiàn)的概率較小,所制備的ITO薄膜的質量較高,且生產(chǎn)效率、成本較低;3)提高靶材利用率,由于平面靶材在濺射過程中,中間部分難以被侵蝕,因此靶材利用效率相對較低。通過改變靶材形狀,可以提高靶材的利用效率,從而降低備ITO薄膜的成本。
靶材綁定背板流程:一、什么是綁定綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導電膠。靶材綁定常用釬焊,釬料常用In、Sn、In–Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/㎝2。二、為什么要綁定 1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結靶材;2、節(jié)省成本,防止變形,如靶材太貴,可將靶材做薄些,綁定背靶以防止變形。三、背靶的選擇 1、常用無氧銅,導電性好,無氧銅的導熱性比紫銅好;2、厚度適中,一般建議背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。四、綁定過程 1、綁定前將靶材和背靶表面預處理2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度3、將靶材和背靶金屬化4、粘接靶材和背靶5、降溫和后處理五、綁定靶材使用的注意事項1、濺射溫度不宜太高2、電流要緩慢加大3、循環(huán)冷卻水應低于35攝氏度4、適宜的靶材致密度。 靶材間隙對大面積鍍膜的影響除了致密化,如果靶材在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)異常,大顆粒會因受熱而脫落或縮孔。
IGZO由In2O3、Ga2O3和ZnO相互摻雜得到,是一種透明金屬氧化物半導體材料。IGZO為n型半導體材料,存在3.5 eV左右的帶隙,電子遷移率比非晶硅高1~2個數(shù)量級,其比較大特點是在非晶狀態(tài)下依然具有較高的電子遷移率。由于沒有晶界的影響,非晶結構材料比多晶材料有更好的均勻性,對于大面積制備有巨大的優(yōu)勢。正因為IGZO TFT具有高遷移率、非晶溝道結構、全透明和低溫制備這四大優(yōu)勢,使得IGZO作為TFT溝道材料比多晶硅和非晶硅更符合顯示器大尺寸化、高清、柔性和低能耗的未來發(fā)展趨勢。IGZO由In2O3、Ga2O3和ZnO相互摻雜得到,是一種透明金屬氧化物半導體材料。重慶AZO陶瓷靶材多少錢
靶材是制備薄膜的主要材料之一。中國臺灣光伏行業(yè)陶瓷靶材推薦廠家
ITO靶材生產(chǎn)過程包括金屬提純和靶材制造兩個主要環(huán)節(jié)。因高純金屬原料的品質影響靶材的導電性能等性狀,對成膜的質量有較大影響,且靶材種類繁多,客戶需求非標,定制屬性明顯。故而金屬提純環(huán)節(jié)技術壁壘及附加值均較高。其中銦屬于稀散金屬,因其具有可塑性、延展性、光滲透性和導電性等特點,而以化合物、合金的形式被廣泛應用。目前,銦的主要應用領域是平板顯示領域,包括ITO靶材及新興的銦鎵鋅氧化物(IGZO)靶材,占全球銦消費量的80%;其次是半導體領域、焊料和合金領域、太陽能發(fā)電領域等。生產(chǎn)ITO靶材對于銦的純度要求一般在4N5及以上,生產(chǎn)化合物半導體材料對于銦的純度要求則更高,一般在6N及以上。中國臺灣光伏行業(yè)陶瓷靶材推薦廠家
迪納科材料,2011-07-22正式啟動,成立了濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等幾大市場布局,應對行業(yè)變化,順應市場趨勢發(fā)展,在創(chuàng)新中尋求突破,進而提升迪納科,迪丞,東玖,靶材的市場競爭力,把握市場機遇,推動電子元器件產(chǎn)業(yè)的進步。是具有一定實力的電子元器件企業(yè)之一,主要提供濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等領域內(nèi)的產(chǎn)品或服務。同時,企業(yè)針對用戶,在濺射靶材,陶瓷靶材,金屬靶材,等離子噴涂靶材等幾大領域,提供更多、更豐富的電子元器件產(chǎn)品,進一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的電子元器件服務。公司坐落于南京市江寧區(qū)芳園西路10號九龍湖國際企業(yè)園創(chuàng)新中心A座8層,業(yè)務覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務創(chuàng)收,進一步為當?shù)亟?jīng)濟、社會協(xié)調發(fā)展做出了貢獻。