ITO(氧化銦錫)靶材是濺射靶材中陶瓷靶材(化合物靶材)的一種,在顯示靶材中占比將近60%。ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(jié)(1600度,通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。中低端ITO靶材有玻璃鍍膜靶材、發(fā)熱膜和熱反射膜靶材,包括汽車的顯示屏、一些儀器儀表的顯示。優(yōu)異的ITO靶材主要用于顯示器薄膜靶材、集成電路薄膜靶材以及磁記錄和光記錄膜靶材,尤其用于大面積、大規(guī)格的LED、OLED等領(lǐng)域,具備高密度、高純度、高均勻性等特點。
目前制備太陽能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等。江蘇濺射陶瓷靶材咨詢報價
靶材間隙對大面積鍍膜的影響除了致密化,如果靶材在生產(chǎn)過程中出現(xiàn)異常,大顆粒會因受熱而脫落或縮孔。結(jié)果會形成更多的氣孔(內(nèi)部缺陷),靶材中更大或更密的氣孔會因電荷集中而放電,影響使用。靶材密度低,加工、運輸或安裝時氣孔易破裂。相對密度高、孔隙少的靶材具有良好的導(dǎo)熱性。濺射靶材表面的熱量很容易快速傳遞到靶材或襯板內(nèi)表面的冷卻水中,保證了成膜過程的穩(wěn)定性。濺射靶材的純度對薄膜的性能有很大的影響。當(dāng)潔凈的基材進入高真空鍍膜室時,如果在電場和磁場的作用下靶材純度不夠。那樣的話,靶材中的雜質(zhì)粒子會在濺射過程中附著在玻璃表面,導(dǎo)致某些位置的膜層不牢固,出現(xiàn)剝離現(xiàn)象。因此,靶材的純度越高,薄膜的性能就越好。廣西智能玻璃陶瓷靶材售價濺射靶材綁定背板流程;
透明導(dǎo)電薄膜的種類很多,主要有 ITO,TCO,AZO 等,其中 ITO的性能比較好,ITO具有高透光率,低電阻率。目前 ITO 的制備方法主要是磁控濺射,要獲得高質(zhì)量的 ITO薄膜,制備高密度、高純度和高均勻性的 ITO 靶材是關(guān)鍵。高質(zhì)量的成品 ITO 濺射靶應(yīng)具有99%的相對密度。這樣的靶材才具有較低電阻率、較高導(dǎo)熱率及較高的機械強度。高密度靶可以在溫度較低條件下在玻璃基片上濺射,獲得較低電阻率和較高透光率的導(dǎo)電薄膜。甚至可以在有機材料上濺射 ITO 導(dǎo)電膜。目前ITO靶材的制備方法主要有熱壓法、冷等靜壓-燒結(jié)法、熱等靜壓法。其中采用冷等靜壓-燒結(jié)法,其相對密度能達到 99%以上,燒結(jié)溫度高,保溫時間長,制備工藝復(fù)雜。放電等離子燒結(jié)(SPS)是在脈沖電流作用下,粉末顆粒間放電,產(chǎn)生瞬間高溫進行燒結(jié)。SPS技術(shù)具有快速、低溫、高效率等優(yōu)點。能在很低的燒結(jié)溫度下,保溫很短的時間制備高密度的材料。
靶材綁定背板流程:一、什么是綁定綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。靶材綁定常用釬焊,釬料常用In、Sn、In–Sn,一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/㎝2。二、為什么要綁定 1、防止靶材受熱不勻碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及燒結(jié)靶材;2、節(jié)省成本,防止變形,如靶材太貴,可將靶材做薄些,綁定背靶以防止變形。三、背靶的選擇 1、常用無氧銅,導(dǎo)電性好,無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;2、厚度適中,一般建議背靶厚度3mm左右。太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。四、綁定過程 1、綁定前將靶材和背靶表面預(yù)處理2、將靶材和背靶放置在釬焊臺上,升溫到綁定溫度3、將靶材和背靶金屬化4、粘接靶材和背靶5、降溫和后處理五、綁定靶材使用的注意事項1、濺射溫度不宜太高2、電流要緩慢加大3、循環(huán)冷卻水應(yīng)低于35攝氏度4、適宜的靶材致密度。 濺射靶材開裂原因生產(chǎn)中使用的冷卻水溫度與鍍膜線實際水溫存在差異,導(dǎo)致使用過程中靶材開裂。
靶材主要由靶坯、背板等部分組成:其中,靶坯是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源,即高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料,屬于濺射靶材的重要部分部分,在濺射鍍膜過程中,靶坯被離子撞擊后,其表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上,制成電子薄膜;由于高純度金屬強度較低,而濺射靶材需要安裝在特定的機臺內(nèi)完成濺射過程,機臺內(nèi)部為高電壓、高真空環(huán)境。因此,超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合,背板主要起到固定濺射靶材的作用,需要具備良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性能。氧化鈮由于其獨特的物理和化學(xué)性質(zhì)而被廣地應(yīng)用于現(xiàn)代技術(shù)的許多領(lǐng)域。貴州AZO陶瓷靶材售價
磁控濺射的工作原理簡單說就是利用磁場與電場交互作用。江蘇濺射陶瓷靶材咨詢報價
AZO透明導(dǎo)電薄膜具有高可見光透過率和低電阻率的特點,因此可以作為平面顯示器和太陽能平面電極材料,也可用在節(jié)能方面,如建筑玻璃表面和汽車玻璃表面近年來,隨著液晶顯示、觸控面板、有機發(fā)光顯示、太陽能電池等的發(fā)展,使得透明導(dǎo)電薄膜成為關(guān)鍵性材料之一。目前,常用的錫摻雜氧化鋼(ITO)透明導(dǎo)電薄膜材料中的金屬銦屬于稀缺資源,開發(fā)具有透光、導(dǎo)電特性的“非銦”材料已成為研究的熱點之一。由于氧化鋅基(ZnO)透明導(dǎo)電薄膜價格較為低廉,且不具毒性,在發(fā)展上具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)異性。因此,對于氧化鋅薄膜材料及其制備技術(shù)的研發(fā),引起了大家的重視。AZO薄膜是一種透明導(dǎo)電膜,具有與ITO薄膜相比擬的光學(xué)和電學(xué)特性,并具有制備工藝簡單、價格低、無毒和穩(wěn)定性好等特點,被認(rèn)為是ITO薄膜的比較好替代材料。江蘇濺射陶瓷靶材咨詢報價
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