高效異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)流程中使用的設(shè)備，PECVD 1.等離子化學(xué)氣相沉積（PlasmaEnhancedCVD，PECVD）是指利用輝光放電的物理作用來化學(xué)氣相沉積反應(yīng)的CVD技術(shù)；2.異質(zhì)結(jié)非晶硅薄膜沉積是采用RPECVD技術(shù)，射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（RFPlasma-EnhancedChemicalVaporDeposition,RPECVD），是PECVD的另外一種技術(shù)。它是利用射頻能量使反應(yīng)氣體等離子化。優(yōu)點：低溫成膜（300-350℃），對基片影響小，避免了高溫帶來的膜層晶粒粗大；l低壓下形成薄膜厚度及成分較均勻、膜層致密、內(nèi)應(yīng)力小，不易產(chǎn)生裂紋；l擴(kuò)大CVD應(yīng)用范圍，特別是在不同基片上制備金屬薄膜、非晶態(tài)無機(jī)薄膜等，薄膜的附著力大于普通CVD。異質(zhì)結(jié)電池是光伏行業(yè)的新興技術(shù)，其轉(zhuǎn)換效率高，能夠顯著提升太陽能電池的整體性能。四川高效異質(zhì)結(jié)低銀

光伏異質(zhì)結(jié)是太陽能電池的主要組成部分，其應(yīng)用前景非常廣闊。隨著全球?qū)η鍧嵞茉吹男枨蟛粩嘣黾?，太陽能行業(yè)的發(fā)展前景也越來越廣闊。光伏異質(zhì)結(jié)具有高效、環(huán)保、可再生等特點，可以廣泛應(yīng)用于家庭、工業(yè)、農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域。在家庭領(lǐng)域，光伏異質(zhì)結(jié)可以用于太陽能發(fā)電系統(tǒng)，為家庭提供清潔、穩(wěn)定的電力供應(yīng)。在工業(yè)領(lǐng)域，光伏異質(zhì)結(jié)可以用于太陽能電站，為企業(yè)提供大規(guī)模的清潔能源。在農(nóng)業(yè)領(lǐng)域，光伏異質(zhì)結(jié)可以用于太陽能灌溉系統(tǒng)，為農(nóng)民提供便捷、高效的灌溉服務(wù)。此外，光伏異質(zhì)結(jié)還可以應(yīng)用于交通、通信、航空等領(lǐng)域，為這些領(lǐng)域提供清潔、高效的能源供應(yīng)。因此，光伏異質(zhì)結(jié)在太陽能行業(yè)的應(yīng)用前景非常廣闊，具有非常大的發(fā)展?jié)摿Α３啥几ó愘|(zhì)結(jié)設(shè)備供應(yīng)商光伏異質(zhì)結(jié)的制造工藝包括薄膜沉積、熱處理、光刻等步驟，具有靈活性高、可定制化的優(yōu)點。

高效異質(zhì)結(jié)電池整線裝備，物理的氣相沉積，PVD優(yōu)點沉積速度快、基材溫升低；所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；濺射工藝可重復(fù)性好，精確控制厚度；膜層粒子的散射能力強(qiáng)，繞鍍性好；不同的金屬、合金、氧化物能夠進(jìn)行混合，同時濺射于基材上；缺點：常規(guī)平面磁控濺射技術(shù)靶材利用率不高，一般低于40％；在輝光放電中進(jìn)行，金屬離化率較低。反應(yīng)等離子體沉，RPD優(yōu)點：對襯底的轟擊損傷??；鍍層附著性能好，膜層不易脫落；源材料利用率高，沉積速率高；易于化合物膜層的形成，增加活性；鍍膜所使用的基體材料和膜材范圍廣。缺點：薄膜中的缺陷密度較高，薄膜與基片的過渡區(qū)較寬，應(yīng)用中受到限制（特別是電子器件和IC）；薄膜中含有氣體量較高。

異質(zhì)結(jié)電池整線生產(chǎn)設(shè)備，l在擴(kuò)散的過程中，pn結(jié)p區(qū)一側(cè)出現(xiàn)負(fù)電荷區(qū)，n區(qū)一側(cè)出現(xiàn)正電荷區(qū)，其形成空間電荷區(qū)，在空間內(nèi)部形成內(nèi)建電場，載流子做漂移運(yùn)動，阻礙電子與空穴的擴(kuò)散，達(dá)到平衡，能帶停止相對移動，p區(qū)能帶相對于n區(qū)上移，n區(qū)能帶相對于p區(qū)下移，pn結(jié)的費(fèi)米能級處處相等，即載流子的擴(kuò)散電流和漂移電流相互抵消；pn結(jié)勢壘區(qū)存在較強(qiáng)的內(nèi)建電場（自n區(qū)指向p區(qū)），則p區(qū)的電子進(jìn)入n區(qū)，n區(qū)的空穴進(jìn)入p區(qū)，使p端電勢升高，n端電勢降低，在pn結(jié)兩端產(chǎn)生光生電動勢，即為PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。同理，由于光照在PN結(jié)兩端產(chǎn)生光生電動勢，即在PN結(jié)兩端加上正向偏壓V，則產(chǎn)生正向電流IF，在PN結(jié)開路時，光生電流等于正向電流，PN結(jié)兩端建立起穩(wěn)定的電勢差VOC，即光電池的開路電壓，這就是光電池的基本原理。光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)能夠降低電池的光衰減，提高電池的長期穩(wěn)定性，延長電池的使用壽命。

異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)流程與常規(guī)晶硅工藝的區(qū)別。常規(guī)晶硅工藝：1、清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進(jìn)行制絨，以形成絨面結(jié)構(gòu)達(dá)到陷光效果，減少反射損失；2、擴(kuò)散制結(jié)。通過熱擴(kuò)散等方法在硅片上形成不同導(dǎo)電類型的擴(kuò)散層，以形成p-n結(jié)；3、刻蝕去邊。去除擴(kuò)散后硅片周邊的邊緣結(jié)；4、去磷硅玻璃。擴(kuò)散過程中，在硅片表面會形成一層含磷的氧化硅，稱為磷硅玻璃（PSG），需要用氫氟酸腐蝕去掉；5、鍍減反射膜。為進(jìn)行一步提高對光的吸收，在硅片表面覆蓋一層減反射膜。常用PECVD進(jìn)行SiNx薄膜沉積，同時起到鈍化的作用；6、柵線電極。在電池正面用絲網(wǎng)印刷進(jìn)行柵線電極制作，在背面印刷背場(BSF)和背電極，并且進(jìn)行干燥和燒結(jié)；7、電池測試及分選。光伏異質(zhì)結(jié)在建筑、農(nóng)業(yè)、交通等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，為綠色能源的發(fā)展提供了有力支持。鄭州自動化異質(zhì)結(jié)鍍膜設(shè)備

光伏異質(zhì)結(jié)的廣泛應(yīng)用將有助于減少溫室氣體排放，降低對化石能源的依賴，實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。四川高效異質(zhì)結(jié)低銀

太陽能異質(zhì)結(jié)電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層，并且在表面進(jìn)行制絨，以形成絨面結(jié)構(gòu)達(dá)到陷光效果，減少反射損失；2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H，作為鈍化層，然后再沉積摻雜層；3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進(jìn)行TCO薄膜沉積；4.柵線電極。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行柵線電極制作；5.烘烤(退火)。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行正面柵線電極制作，然后通過低溫?zé)Y(jié)形成良好的接觸；6.光注入。7.電池測試及分選。四川高效異質(zhì)結(jié)低銀