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太陽能異質(zhì)結(jié)的制造過程是一個復(fù)雜的工藝過程,需要多個步驟來完成。首先,需要準(zhǔn)備好基板,通常使用的是硅基板。然后,在基板上涂覆一層氧化硅,這一步是為了保護(hù)基板不受損傷。接著,在氧化硅上涂覆一層摻雜劑,通常使用的是磷或硼,這一步是為了形成p型或n型半導(dǎo)體。然后,將摻雜劑加熱,使其擴(kuò)散到基板中,形成p-n結(jié)。接下來,需要在p-n結(jié)上涂覆一層透明導(dǎo)電膜,通常使用的是氧化鋅或氧化銦錫。除此之外,將太陽能電池片切割成合適的大小,然后進(jìn)行測試和包裝。整個制造過程需要嚴(yán)格的控制溫度、時間和化學(xué)物質(zhì)的濃度等因素,以確保太陽能電池的性能和穩(wěn)定性。此外,制造過程中還需要進(jìn)行多次質(zhì)量檢測和測試,以確保太陽能電池的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)。太陽能異質(zhì)結(jié)的制造過程是一個高技術(shù)含量的工藝過程,需要專業(yè)的技術(shù)人員和設(shè)備來完成。中國在光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用方面處于優(yōu)勢地位,擁有眾多出名企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)。成都N型異質(zhì)結(jié)制絨設(shè)備
異質(zhì)結(jié)電池生產(chǎn)設(shè)備,本征非晶硅薄膜沉積(i-a-Si:H)i-a-Si:H/c-Si界面處存在復(fù)合活性高的異質(zhì)界面,是由于界面處非晶硅薄膜中的缺陷和界面上的懸掛鍵會成為復(fù)合中心,因此需要進(jìn)行化學(xué)鈍化;化學(xué)鈍化主要由氫鈍化非晶硅薄膜鈍化層來完成,將非晶硅薄膜中的缺陷和界面懸掛鍵飽和來減少復(fù)合性缺陷態(tài)密度。摻雜非晶硅薄膜沉積場鈍化主要在電池背面沉積同型摻雜非晶硅薄層形成背電場,可以削弱界面的復(fù)合,達(dá)到減少載流子復(fù)合和獲取更多光生載流子的目的;摻雜非晶硅薄膜一般采用與沉積本征非晶硅膜層相似的等離子體系統(tǒng)來完成;p型摻雜常用的摻雜源為硼烷(B2H6)混氫,或者三甲基硼(TMB);n型摻雜則用磷烷混氫(PH3)。優(yōu)越的表面鈍化能力是獲得較高電池效率的重要條件,利用非晶硅優(yōu)異的鈍化效果,可將硅片的少子壽命大幅度提升。合肥國產(chǎn)異質(zhì)結(jié)技術(shù)光伏異質(zhì)結(jié)與鈣鈦礦太陽能電池的結(jié)合,進(jìn)一步提高了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。
異質(zhì)結(jié)太陽能電池使用晶體硅片進(jìn)行載流子傳輸和吸收,并使用非晶/或微晶薄硅層進(jìn)行鈍化和結(jié)的形成。頂部電極由透明導(dǎo)電氧化物(TCO)層和金屬網(wǎng)格組成。異質(zhì)結(jié)硅太陽能電池已經(jīng)吸引了很多人的注意,因?yàn)樗鼈兛梢赃_(dá)到很高的轉(zhuǎn)換效率,可達(dá)26.3%,相關(guān)團(tuán)隊(duì)對HJT極限效率進(jìn)行更新為28.5%,同時使用低溫度加工,通常整個過程低于200℃。低加工溫度允許處理厚度小于100微米的硅晶圓,同時保持高產(chǎn)量。異質(zhì)結(jié)電池具備光電轉(zhuǎn)化效率提升潛力高、更大的降成本空間、更高的雙面率、可有效降低熱損失、更低的光致衰減、制備工藝簡單等特點(diǎn),為光伏領(lǐng)域帶來了新的希望。
太陽能異質(zhì)結(jié)電池工藝 1.清洗制絨。通過腐蝕去除表面損傷層,并且在表面進(jìn)行制絨,以形成絨面結(jié)構(gòu)達(dá)到陷光效果,減少反射損失;2.正面/背面非晶硅薄膜沉積。通過CVD方式在正面/背面分別沉積5~10nm的本征a-Si:H,作為鈍化層,然后再沉積摻雜層;3.正面/背面TCO沉積。通過PVD在鈍化層上面進(jìn)行TCO薄膜沉積;4.柵線電極。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行柵線電極制作;5.烘烤(退火)。通過絲網(wǎng)印刷進(jìn)行正面柵線電極制作,然后通過低溫?zé)Y(jié)形成良好的接觸;6.光注入。7.電池測試及分選。在全球范圍內(nèi),光伏異質(zhì)結(jié)技術(shù)正在逐漸取代傳統(tǒng)的硅基太陽能電池,成為主流的太陽能轉(zhuǎn)換技術(shù)。
高效光伏異質(zhì)結(jié)電池整線設(shè)備,HWCVD 1、熱絲化學(xué)氣相沉積(HotWireCVD,HWCVD)是利用高溫?zé)峤z催化作用使SiH4分解來制備非晶硅薄膜,對襯底無損傷,且成膜質(zhì)量非常好,但鍍膜均勻性較差,且熱絲作為耗材,成本較高;2、HWCVD一般分為三個階段,一是反應(yīng)氣體在熱絲處的分解反應(yīng),二是基元向襯底運(yùn)輸過程中的氣相反應(yīng),第三是生長薄膜的表面反應(yīng)。PECVD鍍膜均勻性較高,工藝窗口寬,對襯底損傷較大。HWCVD是利用高溫?zé)峤z催化作用使SiH4分解來成膜,對襯底無損傷,且成膜質(zhì)量好,但鍍膜均勻性較差且成本較高。異質(zhì)結(jié)電池技術(shù)升級讓光伏行業(yè)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大,隨著HJT技術(shù)的進(jìn)一步成熟,使HJT技術(shù)將更具有競爭力。河南釜川異質(zhì)結(jié)電池
光伏異質(zhì)結(jié)在建筑、農(nóng)業(yè)、交通等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,為綠色能源的發(fā)展提供了有力支持。成都N型異質(zhì)結(jié)制絨設(shè)備
HJT電池生產(chǎn)流程,HJT電池生產(chǎn)設(shè)備,制絨清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和損傷層;2利用KOH腐蝕液對n型硅片進(jìn)行各項(xiàng)異性腐蝕,將Si(100)晶面腐蝕為Si(111)晶面的四方椎體結(jié)構(gòu)(“金字塔結(jié)構(gòu)”),即在硅片表面形成絨面,可將硅片表面反射率降低至12.5%以下,從而產(chǎn)生更多的光生載流子;3形成潔凈硅片表面,由于HJT電池中硅片襯底表面直接為異質(zhì)結(jié)界面的一部分,避免不潔凈引進(jìn)的缺陷和雜質(zhì)而帶來的結(jié)界面處載流子的復(fù)合。堿溶液濃度較低時,單晶硅的(100)與(111)晶面的腐蝕速度差別比較明顯,速度的比值被稱為各向異性因子(anisotropicfactorAF);因此改變堿溶液的濃度及溫度,可以有效地改變AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”結(jié)構(gòu)的減反射絨面;在制絨工序,絨面大小為主要指標(biāo),一般可通過添加劑的選擇、工藝配比的變化、工藝溫度及工藝時間等來進(jìn)行調(diào)節(jié)控制。成都N型異質(zhì)結(jié)制絨設(shè)備