電鍍銅光刻技術(shù)是指利用光學(xué)-化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法，將設(shè)計(jì)好的微圖形結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面上的微納制造技術(shù)。光刻設(shè)備是微納制造的一種關(guān)鍵設(shè)備，在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，根據(jù)是否使用掩膜版，光刻技術(shù)主要分為直寫(xiě)光刻與掩膜光刻，其中掩膜光刻可進(jìn)一步分為接近/接觸式光刻以及投影式光刻。掩膜光刻由光源發(fā)出的光束，經(jīng)掩膜版在感光材料上成像，具體可分為接近、接觸式光刻以及投影光刻。其中，投影式光刻更加先進(jìn)，能夠在使用相同尺寸掩膜版的情況下獲得更小比例的圖像，從而實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的成像。直寫(xiě)光刻也稱(chēng)無(wú)掩膜光刻，是指計(jì)算機(jī)將電路設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)換為機(jī)器可識(shí)別的圖形數(shù)據(jù)，并由計(jì)算機(jī)控制光束調(diào)制器實(shí)現(xiàn)圖形的實(shí)時(shí)顯示，再通過(guò)光學(xué)成像系統(tǒng)將圖形光束聚焦成像至已涂覆感光材料的基板表面上，直接進(jìn)行掃描曝光。直寫(xiě)光刻既具有投影光刻的技術(shù)特點(diǎn)，如投影成像技術(shù)、雙臺(tái)面技術(shù)、步進(jìn)式掃描曝光等，又具有投影光刻不具備的高靈活性、低成本以及縮短工藝流程等技術(shù)特點(diǎn)。非接觸式電極金屬化技術(shù)——電鍍銅。四川HJT電鍍銅設(shè)備組件

光伏電鍍銅基本可以分為水平電鍍銅、VCP垂直電鍍銅、龍門(mén)線(xiàn)電鍍銅，電鍍銅后采用的表面處理方式業(yè)界存在多種路線(xiàn)。主要工藝流程控制和添加劑在線(xiàn)路板行業(yè)使用時(shí)間久遠(yuǎn)技術(shù)已經(jīng)成熟。電鍍銅+電鍍錫、電鍍銅+化學(xué)沉錫、電鍍銅+化學(xué)沉銀幾種路線(xiàn)。釜川（無(wú)錫）智能科技有限公司，以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)，憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶(hù)提供整線(xiàn)工藝設(shè)備的交付服務(wù)。南京釜川電鍍銅設(shè)備制造商光伏電鍍銅設(shè)備，主要用于光伏電池硅片鍍銅代替銀漿絲網(wǎng)印刷。

電鍍銅圖形化環(huán)節(jié)主要包含掩膜、曝光、顯影幾個(gè)步驟。其中，掩膜環(huán)節(jié)是將抗刻蝕的感光材料涂覆在電池表面以遮蓋保護(hù)不需要被電鍍的區(qū)域，感光材料主要有濕膜油墨、干膜材料等。曝光、顯影環(huán)節(jié)是將圖形轉(zhuǎn)移至感光材料上，主要技術(shù)有LDI激光直寫(xiě)光刻（無(wú)需掩膜）、常規(guī)掩膜光刻技術(shù)、激光開(kāi)槽、噴墨打印等；其中無(wú)需掩膜的LDI激光直寫(xiě)光刻技術(shù)應(yīng)用潛力較大，激光開(kāi)槽在BC類(lèi)電池上已有量產(chǎn)應(yīng)用，整體看圖形化技術(shù)路線(xiàn)有望逐步明確和定型。

在電鍍銅的過(guò)程中，陽(yáng)極材料是非常重要的。陽(yáng)極材料的選擇會(huì)直接影響到電鍍銅的質(zhì)量和效率。以下是常見(jiàn)的電鍍銅中使用的陽(yáng)極材料：1.銅陽(yáng)極：銅陽(yáng)極是電鍍銅中常用的陽(yáng)極材料之一。它具有良好的導(dǎo)電性和化學(xué)穩(wěn)定性，可以提供高質(zhì)量的電鍍銅。2.鉛陽(yáng)極：鉛陽(yáng)極是另一種常用的陽(yáng)極材料。它具有良好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性，可以在高溫和高酸度條件下使用。3.鈦陽(yáng)極：鈦陽(yáng)極是一種高性能陽(yáng)極材料，具有良好的耐腐蝕性和化學(xué)穩(wěn)定性。它可以在高溫和高酸度條件下使用，并且可以提供高質(zhì)量的電鍍銅。4.鉑陽(yáng)極：鉑陽(yáng)極是一種高級(jí)的陽(yáng)極材料，具有極高的化學(xué)穩(wěn)定性和耐腐蝕性。它可以提供高質(zhì)量的電鍍銅，但成本較高。總之，選擇適合的陽(yáng)極材料對(duì)于電鍍銅的質(zhì)量和效率都非常重要。在選擇陽(yáng)極材料時(shí)，需要考慮到電鍍銅的工藝要求、成本和使用環(huán)境等因素。電鍍銅技術(shù)路線(xiàn)是對(duì)傳統(tǒng)絲網(wǎng)印刷環(huán)節(jié)的替代，可以分為“種子層制備 +圖形化+金屬化+后處理”四大環(huán)節(jié)。

光伏電鍍銅設(shè)備工藝銅柵線(xiàn)更細(xì)，線(xiàn)寬線(xiàn)距尺寸小，發(fā)電效率更高。柵線(xiàn)細(xì)、線(xiàn)寬線(xiàn)距小意味著柵線(xiàn)密度更大，更多的柵線(xiàn)可以更好地將光照產(chǎn)生的內(nèi)部載流子通過(guò)電流形式導(dǎo)出電池片，從而提高發(fā)電效率，銅電鍍技術(shù)電池轉(zhuǎn)化效率比絲網(wǎng)印刷高0.3%~0.5%。①低溫銀漿較為粘稠，印刷寬度更寬。高溫銀漿印刷線(xiàn)寬可達(dá)到20μm，但是低溫銀漿印刷的線(xiàn)寬大約為40μm。②銅電鍍銅離子沉積只有電子交換，柵線(xiàn)寬度更小。銅電鍍的線(xiàn)寬大約為20μm，采用類(lèi)半導(dǎo)體的光刻技術(shù)可低于20μm。 光伏電鍍銅設(shè)計(jì)的導(dǎo)電方式主要有彈片重力夾具等方式。杭州自動(dòng)化電鍍銅絲網(wǎng)印刷

電鍍銅設(shè)備專(zhuān)題研究。四川HJT電鍍銅設(shè)備組件

電鍍銅設(shè)備工序包括種子層制備、圖形化、電鍍?nèi)蟓h(huán)節(jié)，涌現(xiàn)多種設(shè)備方案。電鍍銅 工藝尚未定型，各環(huán)節(jié)技術(shù)方案包括（1）種子層：設(shè)備主要采用 PVD，主要技術(shù)分歧 在于是否制備種子層、制備整面/局部種子層和種子層金屬選用；（2）圖形化：感光材料 分為干膜和油墨，主要技術(shù)分歧在于曝光顯影環(huán)節(jié)選用掩膜類(lèi)光刻/LDI 激光直寫(xiě)/激光 開(kāi)槽；（3）電鍍：主要技術(shù)分歧在于水平鍍/垂直鍍/光誘導(dǎo)電鍍。釜川（無(wú)錫）智能科技有限公司，以半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備為主要產(chǎn)品，打造光伏設(shè)備一體化服務(wù)。擁有強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)，憑借技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力，在清洗制絨設(shè)備、PECVD設(shè)備、PVD設(shè)備、電鍍銅設(shè)備等方面都有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)；以高效加工制造、快速終端交付的能力，為客戶(hù)提供整線(xiàn)工藝設(shè)備的交付服務(wù)。四川HJT電鍍銅設(shè)備組件