氬氣作為一種保護氣體包圍在單晶硅和多晶硅的液面周圍,可以保護單晶硅和多晶硅不被氧化。氬氣是一種單原子氣體,以原子狀 態(tài)存在,在高溫下沒有分子分解或原子吸熱的現(xiàn)象。氬氣的比熱容和熱傳導能力小,即本身吸 收量小,向外傳熱也少,所以氬氣的存在還可以減少熱能的散失,起到節(jié)能的作用。不僅如此 ,由于氬氣在單晶爐內是流動的,所以還可以帶走硅液中的揮發(fā)物,以及高溫下的其他部位的揮發(fā)物,這樣一來,就可以防止單晶硅或多晶硅液被沾污,而影響單晶硅的產(chǎn)品質量。另外,氬氣從上而下形成均勻的層流從晶體表面掠過,可以帶走結晶潛熱,從而可以保證單晶硅正常生長。單晶硅氬氣用量一般是多晶硅的4倍,單晶逐步替代多晶,需求大量氬氣。因此，氬氣回收系統(tǒng)成為單晶硅廠家的方案。氬氣回收裝置，安全、可靠，值得信賴。壓力表全自動系統(tǒng)

液氬的使用：1、使用液氬前，應調整液氬儲罐內壓力到—，打開氬氣表，使壓力達到，滿足所有管路連接設備的使用要求后，將氬氣表壓力控制在穩(wěn)定位置。2、使用過程中，每班次應檢查儲罐壓力，當壓力接近于設備使用要求的上下限、達到或接近液氬儲罐較低儲量時，要增加觀察頻次，并及時上報，進行更換處理。3、增壓操作：當儲罐壓力接近于設備使用要求的下限時，啟動增壓閥增壓，操作程序為：緩慢打開增壓閥，當儲罐的壓力表指示達到設備正常工作壓力且低于儲罐最大工作壓力時，關閉增壓閥。4、使用過程中，隨時觀察儲罐的液面高度，當液面高度低于紅線時，關閉儲罐調壓閥，停止使用儲罐內液氬，以保證再次充液時的氬氣純度。5、氬氣使用過程中，再進行排液或者有漏液故障時，禁止皮膚直接接觸液氬，防止凍shan。6、在清理管路、汽化器的結霜時，不能大力沖擊，防止管路變形、泄漏，密封失效。嚴禁對液氬儲罐的外殼體進行硬性撞擊、切割、鉆孔、焊接等作業(yè)，防止破壞儲罐的真空度。油泵后的VOC處理全自動系統(tǒng)您的氬氣，我們幫您回收，共創(chuàng)美好未來。

純化撬塊-本系統(tǒng)的作用是去除尾氣中的碳氫化合物，一氧化碳、氧氣、二氧化碳、水分等雜質。其主要設備有：1.冷卻器：將尾氣溫度從常溫降溫至15℃以下；2.回熱器：將正流常溫尾氣與下游出反應器的熱尾氣換熱，回收氣體余熱；3.電加熱器：將流氣體加熱至催化反應所需的溫度點；4.催化除碳模塊：利用特種催化劑，在設定的反應溫度下將含碳化合物催化為二氧化碳。在反應器內的化學反應方程式如下：2CO+O2=2CO2CH4+2O2=2CO2+2H2O5.冷卻器：將反應后的粗氬氣降溫至15℃以下；6.脫CO2，脫水模塊：利用分子篩吸附粗氬氣中的CO2和水分，分子篩純化系統(tǒng)的吸附器由兩只分子篩吸附器組成，兩只分子篩吸附器一只工作，一只被加熱的污氬氣再生。各項指標合格后進入下一模塊

壓縮機水潤滑循環(huán)水泵是一種特殊的循環(huán)水泵，主要用于壓縮機的潤滑和冷卻。該水泵以水為潤滑介質，通過循環(huán)流動來為壓縮機提供潤滑和冷卻作用，具有環(huán)保、節(jié)能、高效等優(yōu)點。壓縮機水潤滑循環(huán)水泵的設計和結構較為特殊，需要充分考慮壓縮機的特性和要求。例如，水潤滑循環(huán)水泵的流量和壓力需要滿足壓縮機的潤滑和冷卻需求，同時還需要具備低磨損、高效率、低噪音等優(yōu)點。選擇合適的壓縮機水潤滑循環(huán)水泵需要根據(jù)實際需求進行考慮，如壓縮機的型號、流量要求、壓力要求等。同時，在選擇壓縮機水潤滑循環(huán)水泵時還需要注意其安全性能和環(huán)保性能，如防爆、防火、防泄漏等方面的性能。氬氣回收裝置，讓您省心、省力、省錢。

    冷箱本系統(tǒng)的作用是去除氬氣中的氮氣，氫氣，一氧化碳等雜質；1.板式換熱器：將低溫精餾后的產(chǎn)品氬氣及廢氣通過換熱器進行冷量回收并使粗氬氣溫度從常溫降溫至工況所需的溫度（-157℃）；2.精餾塔主塔：利用低溫精餾的原理，在主塔頂部蒸發(fā)器得到5N標準的產(chǎn)品氬氣3.精餾塔II塔：從主塔頂部引出一股廢氣，由于廢氣中含有大量的氬組分。氣柜是用于貯存各種氬氣氣體，平衡氣體需用量的不均勻性的一種容器設備氬氣雙膜氣柜由內外兩層薄膜組成，中間充滿了壓縮空氣。當單晶爐產(chǎn)生的廢氣進入雙膜氣柜時，它會壓縮和儲存起來，雙膜氣柜主要由底膜、內膜、外膜、恒壓控制柜、安全保護器及一些控制設備和輔助材料組成。其工作原理如下：底膜、內膜和外膜共同形成兩個空間。內膜與底膜之間形成容量可變的氣密空間，用于儲存沼氣。充氣外膜形成球形保護外殼，外膜與內膜夾層之間的空間作為壓力調節(jié)空間，以保持壓力平衡。利用外膜進氣鼓風機恒壓，當內膜氣量減少時，氣柜壓力下降，外膜通過鼓風機補充空氣到內外膜之間，保持內膜氣體的設計壓力。當氣量增加時，氣柜壓力上升，夾層內多余空氣會排出，使內膜氣體壓力始終恒定在一個需要的設計壓力。 氬氣回收裝置，讓您的生產(chǎn)更綠色、更高效。風機

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氬氣回收裝置的優(yōu)點主要包括以下幾個方面：節(jié)約成本：氬氣回收裝置能夠有效地回收和再利用氬氣，避免了氬氣的浪費，降低了生產(chǎn)成本。環(huán)保：氬氣回收裝置能夠減少氬氣排放到大氣中，對環(huán)境友好，符合環(huán)保要求。提高生產(chǎn)效率：氬氣回收裝置能夠快速、準確地控制氬氣的供應量，保證了生產(chǎn)的穩(wěn)定性和連續(xù)性，提高了生產(chǎn)效率。安全性高：氬氣回收裝置能夠減少氬氣泄漏的可能性，降低了生產(chǎn)事故的風險，保障了人員和設備的安全。然而，氬氣回收裝置也存在一些缺點：投資成本高：氬氣回收裝置的制造成本較高，需要投入較大的資金才能獲得回報。需要定期維護：氬氣回收裝置需要定期進行維護和保養(yǎng)，以保證其正常運轉和延長使用壽命。操作復雜：氬氣回收裝置的操作較為復雜，需要專業(yè)人員進行操作和維護。占用空間大：氬氣回收裝置體積較大，需要占用較大的空間進行安裝和放置。綜上所述，選擇使用氬氣回收裝置需要根據(jù)實際情況進行綜合考慮，以確定是否符合生產(chǎn)需求和環(huán)保要求。壓力表全自動系統(tǒng)