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北京澀谷工業(yè)共晶機(jī)公司

來源: 發(fā)布時間:2023-10-13

    泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。本實用新型涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種晶圓視覺檢測機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu)。背景技術(shù):目前,集成電路產(chǎn)業(yè)是我國大力發(fā)展的重要科技產(chǎn)業(yè),而晶圓的生產(chǎn)和檢測是該產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。晶圓被切割后,非常容易產(chǎn)生諸如污染、劃痕和裂紋等缺陷。若這些有問題的次品被流入下一環(huán)節(jié),將會地降低芯片的良率。為防止此情況發(fā)生,半導(dǎo)體生產(chǎn)車間中一般都設(shè)有晶圓視覺檢測機(jī),用于檢測晶圓的質(zhì)量。傳統(tǒng)的晶圓檢測機(jī)依靠人工將晶圓搬運(yùn)至檢測臺,這樣的操作費(fèi)時費(fèi)力。現(xiàn)有的晶圓視覺檢測機(jī)設(shè)有夾取機(jī)構(gòu),其能夾住晶圓,并將晶圓搬運(yùn)到晶圓視覺檢測機(jī)的檢測裝置中。這種夾取機(jī)構(gòu)可以是真空吸盤或其他機(jī)械裝置。泰克光電共晶機(jī)的具體使用方法。北京澀谷工業(yè)共晶機(jī)公司

    且所述片盒架能夠相對所述固定架自轉(zhuǎn),所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。進(jìn)一步地,所述片盒架的數(shù)量為多個,多個所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上。進(jìn)一步地,所述固定架包括驅(qū)動輪盤、從動輪盤和連接桿,所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤同軸相對設(shè)置,且,所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤分別可轉(zhuǎn)動的安裝在所述安裝座上,所述連接桿固定連接在所述驅(qū)動輪盤與所述從動輪盤之間;所述片盒架轉(zhuǎn)動連接在所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤之間。進(jìn)一步地,所述片盒架包括同軸相對設(shè)置的限位盤和第二限位盤,所述限位盤與所述第二限位盤之間設(shè)置有多根限位桿,多根所述限位桿沿所述限位盤的周向間隔設(shè)置,多個所述限位桿之間形成晶圓的放置空間;所述限位盤與所述第二限位盤相互遠(yuǎn)離的側(cè)面分別通過轉(zhuǎn)動軸與所述驅(qū)動輪盤和所述從動輪盤轉(zhuǎn)動連接,且所述轉(zhuǎn)動軸與所述驅(qū)動輪盤的軸線平行設(shè)置。進(jìn)一步地,所述限位桿的數(shù)量為三根,三根所述限位桿包括兩根固定桿和一根轉(zhuǎn)動桿,兩根所述固定桿的兩端分別與所述限位盤和第二限位盤固定連接。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備。北京澀谷工業(yè)共晶機(jī)公司共晶機(jī)廠家 ,半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家找泰克光電。

    PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,PVD溫度低,沒有毒氣問題;CVD溫度高,需達(dá)到1000oC以上將氣體解離,來產(chǎn)生化學(xué)作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù)。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度,耐腐蝕等特點(diǎn)。(2)真空蒸發(fā)法(EvaporationDeposition)采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法。蒸發(fā)原料的分子(或原子)的平均自由程長(10-4Pa以下,達(dá)幾十米),所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達(dá)基片。泰克光電(TechOptics)是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片。

    作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。所述移動電機(jī)驅(qū)動所述傳動組件帶動所述托臂在所述固定板上滑動。作為推薦方案,所述傳動組件包括主動輪、從動輪和同步帶,所述主動輪連接在所述移動電機(jī)的輸出端,所述從動輪可轉(zhuǎn)動地安裝在所述固定板上,所述主動輪和所述從動輪通過所述同步帶相連接,所述托臂固定連接在所述同步帶上。作為推薦方案,所述托臂通過連接塊與所述同步帶固定連接,所述連接塊的底部固定連接在所述同步帶上,所述連接塊的頂部與所述托臂的底部固定連接。作為推薦方案,所述托臂的數(shù)量為兩個,各所述托臂分別固定連接在所述同步帶的不同輸送側(cè)上,所述移動電機(jī)驅(qū)動所述主動輪轉(zhuǎn)動,帶動所述從動輪和所述同步帶轉(zhuǎn)動,使得各所述托臂在所述固定板上做張合運(yùn)動。作為推薦方案,所述托臂的形狀為長條形,所述托臂的縱截面形狀為l形。“高精度半導(dǎo)體芯片共晶機(jī)”找泰克光電。

    濺鍍鈦+氮化鈦+鋁+氮化鈦等多層金屬膜。離子刻蝕出布線結(jié)構(gòu),并用PECVD在上面沉積一層SiO2介電質(zhì)。并用SOG(spinonglass)使表面平坦,加熱去除SOG中的溶劑。然后再沉積一層介電質(zhì),為沉積第二層金屬作準(zhǔn)備。(1)薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同,厚度通常小于1um。有絕緣膜、半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類。CVD法有外延生長法、HCVD,PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,PVD溫度低,沒有毒氣問題;CVD溫度高,需達(dá)到1000oC以上將氣體解離,來產(chǎn)生化學(xué)作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù)。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有度,耐腐蝕等特點(diǎn)。(2)真空蒸發(fā)法(EvaporationDeposition)采用電阻加熱或感應(yīng)加熱或者電子束等加熱法將原料蒸發(fā)淀積到基片上的一種常用的成膜方法。蒸發(fā)原料的分子(或原子)的平均自由程長(10-4Pa以下,達(dá)幾十米),所以在真空中幾乎不與其他分子碰撞可直接到達(dá)基片。泰克光電|#共晶機(jī)廠家 #半導(dǎo)體封裝設(shè)備廠家。淄博FDB210共晶機(jī)定制

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    固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),移動電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè)??刂葡到y(tǒng)控制移動電機(jī)驅(qū)動傳動組件轉(zhuǎn)動帶動托臂在固定板上來回移動,以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置。傳動組件包括主動輪、從動輪和同步帶,主動輪連接在移動電機(jī)的輸出端,從動輪可轉(zhuǎn)動地安裝在固定板上,主動輪和從動輪通過同步帶相連接,托臂固定連接在同步帶上。主動輪和從動輪均可轉(zhuǎn)動地安裝在固定板的底側(cè),主動輪與移動電機(jī)的輸出軸連接。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的共晶機(jī)設(shè)備,以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗。我們的團(tuán)隊由一群經(jīng)驗豐富的工程師和技術(shù)組成,他們在共晶機(jī)設(shè)計、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識。泰克光電的共晶機(jī)ce-ad-bb-abe-e電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。通過移動電機(jī)驅(qū)動主動輪轉(zhuǎn)動,帶動同步帶移動,使得從動輪隨之轉(zhuǎn)動。主動輪、從動輪和同步帶的連接傳動比準(zhǔn)確,結(jié)構(gòu)緊湊,耐磨性好,抗老化性能好。托臂固定連接在同步帶的一處。北京澀谷工業(yè)共晶機(jī)公司