滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺的維護與保養(yǎng)，相對于平面電機工作臺，絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動，導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件，所以具有傳動效率高、摩擦力矩小，使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油，但不可過多，值得指出的是，這種結(jié)構(gòu)的工作臺在裝配過程中，從直線導(dǎo)軌的直線性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復(fù)性，定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整，用戶一般情況不能輕易改變，一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀態(tài)，所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。探針臺的建設(shè)需要科學(xué)家們共同匯聚自己的智慧。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺

目前世界出貨量頭一的型號吸收了較新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-較近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)) OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其一定位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于東京精密的度量技術(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系統(tǒng)) 為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置(QPU)，達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。湖北全自動探針臺廠家探針臺的建設(shè)和發(fā)展需要長期的投入和堅定的信心。

探針測試臺x-y工作臺的分類，縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：以美國EG公司為表示的平面電機型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。

探針臺，是我們半導(dǎo)體實驗室電學(xué)性能測試的常用設(shè)備，也是各大實驗室以及芯片設(shè)計、封裝測試的熟客。設(shè)備具備各項優(yōu)勢，高性能低成本，用途廣，操作方便，在不同測試環(huán)境下，測試結(jié)果穩(wěn)定，客觀，深受工程師們的青睞。探針臺主要用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的 CP 測試環(huán)節(jié)，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，確保從晶圓表面向精密儀器輸送更穩(wěn)定的信號，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試，實現(xiàn)更加精確的數(shù)據(jù)測試測量。半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括測試機、探針臺和分選機。探針臺是專門為探索宇宙而設(shè)計的機構(gòu)之一。

探針臺-芯片測試必備設(shè)備，芯片測試必備設(shè)備之手動探針臺，集成單筒顯微鏡帶高清1080PCCD相機，較大變焦后可清晰觀看1微米光刻晶圓ID號。配置三維磁吸探針座，1微米移動。加載同軸LED光源，實現(xiàn)高清芯片內(nèi)部電路圖像對比度，可觀察芯片之美。探針針尖可小于1微米對芯片電極扎針接觸，連接電源等儀器就可以對芯片進行測試?yán)?。半?dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。探針臺的科研成果對探索宇宙、維護人類福祉和生存環(huán)境有著重要的促進作用。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺

探針臺的建設(shè)需要尊重自然和秉持可持續(xù)發(fā)展理念。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺

探針臺在使用過程中，不可用硬物接觸機器，以免發(fā)生故障或危險。探針臺光學(xué)部件清潔時，可用鏡頭紙蘸無水酒精從中間向外輕輕的擦拭。無水酒精時易燃物，注意使用安全。停電或長期不用、外出旅行時，請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。操作人員必須嚴(yán)格按要要求操作，以保證數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確和儀器的正常使用。工作環(huán)境。探針臺應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺面上，較好是具有防震裝置的工作臺上，避免在高溫，潮濕激烈震動，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。浙江半導(dǎo)體晶圓測試探針臺