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江蘇半導(dǎo)體凈化工程潔凈空調(diào)

來源: 發(fā)布時間:2024-05-01

    阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)?!翊_定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時,應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)?!駜艋諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時,應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施?!袼惋L(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算?!駜艋こ讨袃艋諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施?!駜艋諝庹{(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng),凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r,則不應(yīng)用回風(fēng)。凈化工程中的潔凈室應(yīng)定期進(jìn)行能效評估和節(jié)能優(yōu)化,降低生產(chǎn)成本。江蘇半導(dǎo)體凈化工程潔凈空調(diào)

    MixedType)復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。。1)潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。(2)潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。(3)并裝局部潔凈室(CleanSpot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運(yùn)用。實(shí)驗(yàn)室凈化工程潔凈空調(diào)電纜橋架安裝牢固、接地完整,是凈化工程電路敷設(shè)的關(guān)鍵要求。

    3、測點(diǎn)布置:①檢測在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無特殊要求時,取樣高度宜為離地面1米。②層流潔凈室測點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn),測點(diǎn)間距為,粒徑大于或等于μm的塵粒數(shù)允許有一個點(diǎn)超過。水平層流潔凈室測點(diǎn)布置一潔凈工作區(qū)內(nèi)。③亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(diǎn)(附圖2)。每增加20-50平方米,增加3-5個測點(diǎn)。4、數(shù)據(jù)整理:①每個測點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣,取其平均值,即為該點(diǎn)的實(shí)測數(shù)值。②對于大于或等于μm的塵粒數(shù)確定:層流潔凈室取各測定點(diǎn)大值,亂流潔凈室取各測點(diǎn)的平均值。(四)正壓值測定應(yīng)采用精度可達(dá)。三、動態(tài)測試在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行,測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。等級級別等級的劃分一般在潔凈室是有等級的,采用多種工序操作時,應(yīng)根據(jù)各工序不同的要求,采用不同的空氣潔凈度等級,依據(jù)工序要求確定等級。醫(yī)藥工業(yè)藥生產(chǎn)工序的潔凈級別和潔凈區(qū)的劃分,應(yīng)參照《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》中制劑和原料藥工藝內(nèi)容及環(huán)境區(qū)域劃分而定。藥品生產(chǎn)潔凈室的空氣潔凈度劃分為四個等級。在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,首先應(yīng)采用低潔凈等級的潔凈濕或局部空氣凈化。

    噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產(chǎn)生靜電,在一般情況下。越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體),由于電荷產(chǎn)生后不易流動,因此表現(xiàn)為越容易帶電。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重,是因?yàn)椴坏跐崈羰抑芯邆淝笆霎a(chǎn)生靜電的多種工藝因素,而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產(chǎn)生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前,這些材料料是被廣采用的。凈化工程作用編輯控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。凈化工程分類編輯亂流式(TurbulentFlow)空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板亂流式回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再,欲達(dá)需求之潔凈度。潔凈室的送風(fēng)方式有多種,如層流送風(fēng)、亂流送風(fēng)等,應(yīng)根據(jù)實(shí)際情況選擇合適的送風(fēng)方式。

    3.對綜合通訊的干擾這主要分為:清楚或滿意。稍困難,困難,不可能對以上三方面指標(biāo)都用A聲級來評價。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適,可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式:(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。(2)局部照明這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%,但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國外潔凈室的強(qiáng)度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求是.人工光300lx有較好的效果,當(dāng)工件精細(xì)程度更高時,500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車間,其照度一般為(25—501x),用天然光時可允許更高的照度,因而對工作是有利的。高效顆??諝膺^濾器(HEPA)在凈化工程中扮演著重要角色,能有效捕獲微小顆粒物。紹興醫(yī)院凈化工程

潔凈室的溫度和濕度也需要嚴(yán)格控制,以確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性和舒適性。江蘇半導(dǎo)體凈化工程潔凈空調(diào)

   凈化工程所用不銹鋼產(chǎn)品的保養(yǎng)在凈化工程整套的裝修施工中,或多或少都會用到些不銹鋼的凈化產(chǎn)品,凈化工程公司,那么我們這些不銹鋼產(chǎn)品在使用的過程中怎樣能更好的保養(yǎng)這些產(chǎn)品呢?所謂不銹鋼制品指的是用不銹鋼材料加工制作成的產(chǎn)品、工業(yè)用品的統(tǒng)稱。我們都知道不銹鋼有很好的耐腐蝕的性能,安徽凈化工程,因此使用不銹鋼制品讓我們不用擔(dān)心不銹鋼生銹的問題,凈化工程,可以延長我們使用這些制品的使用時間,卻不會影響這些制品的使用性能,可以說不銹鋼制品已經(jīng)深入我們的生活,我們完全可以放心的使用各種不銹鋼制品。但是雖然說不銹鋼制品具有不易生銹的特性,江蘇半導(dǎo)體凈化工程潔凈空調(diào)