直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵 化學(xué)吸附在表面難以。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)比較好濕度范圍為35—45%。 凈化工程中，空氣流速的控制對減少污染至關(guān)重要。金華光電凈化工程

在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評價標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級不得超過該曲線。后來了解到刷A等級來計量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺適，可以代替倍頻帶聲壓級作為評價標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。 向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式： (1)一般照明 它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。 (2)局部照明 這是指為增加某一指定地點(diǎn)（如工作點(diǎn)）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。 (3)混合照明 這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。 金華光電凈化工程凈化工程的設(shè)計應(yīng)考慮到車間的能源效率和可持續(xù)性。

2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。 3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。 4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。 光學(xué)微電子凈化工程解決方案: 凈化工程的設(shè)計過程中，應(yīng)加強(qiáng)對光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計出一個能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

    旋風(fēng)除塵技能具有設(shè)備費(fèi)用低、可處理低溫氣體、操作容易、適合含塵濃度高的氣體的諸多特點(diǎn)。由于旋風(fēng)除塵器是依靠塵粒慣性分離，除塵效率與粒徑成正比，粒徑大除塵效果好;反之，除塵效果較差(一般處理20微米以上的粉塵，除塵效率在百分之七十到九十)。潔凈室又可以分為工業(yè)潔凈室，生物潔凈室，其中工業(yè)潔凈室主要是以控制空氣中的塵埃，凈化工程，在潔凈室內(nèi)部呈正壓。工業(yè)潔凈室一般在機(jī)械工業(yè)，化學(xué)工業(yè)，電子工業(yè)，光磁工業(yè)，電腦硬盤，液晶玻璃等多個行業(yè)用到的比較多。生物潔凈室，主要是將細(xì)1菌和塵埃掉，將工作區(qū)域保持潔凈狀態(tài)。其中生物潔凈室又可以分為兩類，一般生物潔凈室和生物學(xué)安全潔凈室，一般生物潔凈室主要是控制細(xì)1菌。而生物學(xué)安全潔凈室，主要是控制有害物體，保證人體和外界不受污染。凈化工程中，照明系統(tǒng)也需滿足無塵室的特殊要求。

在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范）都是這樣規(guī)定的 垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s 水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s 噪聲控制 潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是： 1．煩惱的效應(yīng) 由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。 2．對工作效率的影響 這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個方面是：集中精神，動作準(zhǔn)確性，工作速度； 3．對綜合通訊的干擾 這主要分為：清楚或滿意，稍困難，困難，不可能 對以上三方面指標(biāo)都用A聲級來評價。溫濕度控制是凈化工程中不可忽視的環(huán)節(jié)。蘇州凈化工程等級

凈化工程的實(shí)施應(yīng)考慮到操作人員的舒適度。金華光電凈化工程

用風(fēng)速可以正確地表示出單向流，因?yàn)轱L(fēng)速越高室內(nèi)就越潔凈。而每小時換氣次數(shù)與房間的體積有關(guān)，如吊頂?shù)母叩?，因此不適合用來表示單向流。單向流室內(nèi)的送風(fēng)量是紊流室的很多倍（10到100倍）。 凈化工程控制 編輯 潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。金華光電凈化工程