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廣東2GL灰度光刻技術(shù)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-03-06

作為歐盟光子計(jì)算項(xiàng)目PHOENICS(2020Horizont歐盟地平線科研項(xiàng)目)的成員,Nanoscribe攜手德國(guó)明斯特大學(xué),與全球光子計(jì)算領(lǐng)域的**一起,展開了為期四年的科研項(xiàng)目,以實(shí)現(xiàn)超高寬帶的高能效千兆計(jì)算處理能力,用于新一代人工智能(AI)應(yīng)用的計(jì)算平臺(tái)。Nanoscribe將為光子封裝技術(shù)開發(fā)新的硬件和軟件解決方案。各種不同光子平臺(tái)都有著不同類型的光子耦合接口,而這正是光子封裝系統(tǒng)工業(yè)化的主要困難和挑戰(zhàn)。雙光子無(wú)掩模光刻系統(tǒng)QuantumX作為硬件載體框架,并計(jì)劃建立一個(gè)先進(jìn)的平臺(tái),成為下一代光子封裝技術(shù)的行業(yè)榜樣。Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您揭秘雙光子灰度光刻系統(tǒng)的應(yīng)用。廣東2GL灰度光刻技術(shù)

廣東2GL灰度光刻技術(shù),灰度光刻

Nanoscribe成立于2007年,憑借著爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的技術(shù)背景和卡爾蔡司公司(CarlZeissAG)的支持,經(jīng)過(guò)十幾年的不斷研究和成長(zhǎng)成為了現(xiàn)在世界公認(rèn)的微納米加工技術(shù)和3D打印市場(chǎng)的帶領(lǐng)者,并于2017年在上海成立分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。公司主要產(chǎn)品有基于雙光子聚合技術(shù)(Two-PhotonPolymerization)并擁有多項(xiàng)國(guó)際專項(xiàng)的雙光子微納3D打印系統(tǒng)PhotonicProfessionalGT2。全球頭一臺(tái)工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻(2GL®)微納打印設(shè)備QuantumX受到普遍關(guān)注并被眾多高學(xué)府和高科技單位所采用,例如哈佛大學(xué),牛津大學(xué)等出名的院校,華為公司等??蓱?yīng)用于微納機(jī)器人,再生醫(yī)學(xué)工程,微納光學(xué),力學(xué)超材料等不同領(lǐng)域。上海高分辨率灰度光刻無(wú)掩膜激光直寫基于雙光子灰度光刻技術(shù) (2GL ?)的Quantum X打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作。

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Nanoscribe稱QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術(shù)正在申請(qǐng)專利。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學(xué)以及聚合物母版的原型。該系統(tǒng)配備三個(gè)用于實(shí)時(shí)過(guò)程控制的攝像頭和一個(gè)樹脂分配器。為了簡(jiǎn)化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,物鏡和樣品夾持器識(shí)別會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。QuantumX的軟件能實(shí)時(shí)控制和監(jiān)控打印作業(yè),并通過(guò)交互式觸摸屏控制面板進(jìn)行操作。為了更好地管理和安排用戶的項(xiàng)目,打印隊(duì)列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè)。

微凹透鏡陣列結(jié)構(gòu)是光學(xué)器件中的一種常見組件,具有較強(qiáng)的聚焦和成像能力。以往制備此類結(jié)構(gòu)的方法有熱回流、灰度光刻、干法刻蝕和注射澆鑄等。受加工手段的限制,傳統(tǒng)的微透鏡陣列往往是在1個(gè)平板襯底上加工出一系列相同尺寸的凹透鏡結(jié)構(gòu),這樣的1組微透鏡陣列無(wú)法將1個(gè)平面物體聚焦至1個(gè)像平面上,會(huì)產(chǎn)生場(chǎng)曲。在商業(yè)生產(chǎn)中,為了消除場(chǎng)曲這種光學(xué)像差,只能在后續(xù)光路中引入場(chǎng)鏡組來(lái)進(jìn)行校正,從而增加了器件復(fù)雜度和成本。如果采用3D飛秒激光打印來(lái)加工微凹透鏡陣列即可通過(guò)設(shè)計(jì)一系列具有漸變深度的微凹透鏡單元直接消除場(chǎng)曲。Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您介紹Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)。

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    基于雙光子聚合(2PP),一種提供比較高精度和完整設(shè)計(jì)自由度的增材制造方法和Nanoscribe專有的雙光子灰度光刻(2GL)技術(shù),Nanoscribe認(rèn)為直接激光寫入系統(tǒng)是微加工的比較好選擇幾乎任何,在面積達(dá)25cm2的區(qū)域上都具有亞微米級(jí)精度。Nanoscribe的聯(lián)合創(chuàng)始人兼首席安全官(CSO)MichaelThiel表示,該公司正在通過(guò)其新機(jī)器為科學(xué)和工業(yè)用途的晶圓級(jí)高精度微制造設(shè)定新標(biāo)準(zhǔn)?!半m然QuantumX已經(jīng)通過(guò)雙光子灰度光刻技術(shù)推動(dòng)了平面微光學(xué)器件的超快速制造,但我們希望QuantumX形狀能夠使基于雙光子聚合的高精度3D打印成為高效可靠的工具用于研究實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)中的快速原型制作和批量生產(chǎn)。”。 Nanoscribe雙光子灰度光刻系統(tǒng)Quantum X適用于制造微光學(xué)衍射以及折射元件。天津工業(yè)級(jí)灰度光刻3D打印

Nanoscribe中國(guó)分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您講解雙光子灰度光刻技術(shù)的運(yùn)用。廣東2GL灰度光刻技術(shù)

Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng)QuantumX的中心是Nanoscribe獨(dú)jia專li的雙光子灰度光刻技術(shù)。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設(shè)計(jì)迭代,打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術(shù)驗(yàn)證原型,也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。德國(guó)Nanoscribe公司在2019慕尼黑光博會(huì)展LASERWorldofPhotonics上發(fā)布了全新工業(yè)級(jí)雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)QuantumX,并榮獲創(chuàng)新獎(jiǎng)。該系統(tǒng)是世界上No.1基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL?)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué)。該系統(tǒng)的面世表示著Nanoscribe已進(jìn)軍現(xiàn)代微加工工業(yè)領(lǐng)域。具有全自動(dòng)化系統(tǒng)的QuantumX無(wú)論從外形或者使用體驗(yàn)上都更符合現(xiàn)代工業(yè)需求。廣東2GL灰度光刻技術(shù)

納糯三維科技(上海)有限公司位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加楓路26號(hào)108室。公司業(yè)務(wù)涵蓋PPGT2,Quantum X系列,雙光子微納激光直寫系統(tǒng),雙光子微納光刻系統(tǒng)等,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務(wù)為理念,秉持誠(chéng)信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌。納糯三維秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。