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湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-09

  雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實(shí)現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級(jí)衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達(dá)到亞微米量級(jí)。由于需要多次光刻,刻蝕和對(duì)準(zhǔn)工藝,衍射光學(xué)元件(DOE)的傳統(tǒng)制造耗時(shí)長且成本高。而利用增材制造即可簡(jiǎn)單一步實(shí)現(xiàn)多級(jí)衍射光學(xué)元件,可以直接作為原型使用,也可以作為批量生產(chǎn)母版工具。 Nanoscribe的Photonic Professional GT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計(jì)多功能性配合打印材料的多方面選擇性,可以實(shí)現(xiàn)微機(jī)械元件的制作,例如用光敏聚合物,納米顆粒復(fù)合物,或水凝膠打印的遠(yuǎn)程操控可移動(dòng)微型機(jī)器人,并可以選擇添加金屬涂層。此外,微納米器件也可以直接打印在不同的基材上,甚至可以直接打印于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。通過控制光的幅度和相位,灰度光刻技術(shù)可以制備各種復(fù)雜的微納米結(jié)構(gòu),滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的需求。湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng)

湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng),灰度光刻

Quantum X shape在3D微納加工領(lǐng)域非常出色的精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結(jié)構(gòu)應(yīng)用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL ®)。全新的Quantum X shape的高精度有賴于其高能力的體素調(diào)制比和超精細(xì)處理網(wǎng)格,從而實(shí)現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,受益于雙光子灰度光刻對(duì)體素的微調(diào),該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達(dá)到超光滑,同時(shí)保持高精度的形狀控制。它不只是應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、微光學(xué)、MEMS、微流道、表面工程學(xué)及其他很多領(lǐng)域中器件的快速原型制作的理想工具,同時(shí)也成為基于晶圓的小結(jié)構(gòu)單元的批量生產(chǎn)的簡(jiǎn)易工具。通過系統(tǒng)集成觸控屏控制打印文件來很大程度提高實(shí)用性。上海2GL灰度光刻3D光刻靈活性高:由于無需制作實(shí)體掩膜版,無掩膜光刻技術(shù)可以快速地更改光刻圖案,方便進(jìn)行試制和修改。

湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng),灰度光刻

QuantumXbio是具有高分辨率的多功能生物打印系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有的**技術(shù)是以雙光子聚合(2PP)為關(guān)鍵,以出色的工程設(shè)計(jì)為基礎(chǔ),通過生物學(xué)家的想法定制并且重新設(shè)計(jì)的。作為2019年推出的First臺(tái)雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,該生物打印系統(tǒng)具有精確的溫度控制、無菌的工作環(huán)境和功能化的生物材料等特點(diǎn),可讓生物打印達(dá)到一個(gè)新的高度,并有效加速組織工程、細(xì)胞生物學(xué)和方方面面生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用等關(guān)鍵應(yīng)用的創(chuàng)新。

Nanoscribe在全球30多個(gè)國家擁有各科領(lǐng)域的客戶群體。基于2PP微納加工技術(shù)方面的專業(yè)知識(shí),Nanoscribe為頂端科學(xué)研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強(qiáng)大的技術(shù)支持,并推動(dòng)生物打印、微流體、微納光學(xué)、微機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程和集成光子學(xué)技術(shù)等不同領(lǐng)域的發(fā)展?!拔覀兎浅F诖尤隒ELLINK集團(tuán),共同探索雙光子聚合技術(shù)在未來所帶來的更大機(jī)遇”NanoscribeCEOMartinHermatschweiler說道。Nanoscribe作為一家納米,微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造**,一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng),以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,有超過2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案?;叶裙饪碳夹g(shù)具有高精度、高效率的特點(diǎn)。

湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng),灰度光刻

作為全球頭一臺(tái)雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),Quantum X可以打印出具有出色形狀精度和光學(xué)質(zhì)量表面的高精度微納光學(xué)聚合物母版,可適用于批量生產(chǎn)的流水線工業(yè)程序,例如注塑,熱壓花和納米壓印等加工流程,從而拓展微納加工工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用。2GL與這些批量生產(chǎn)流水線工業(yè)程序的結(jié)合得益于新技術(shù)的亞微米分辨率和靈活性的特點(diǎn),同時(shí)縮短創(chuàng)新微納光學(xué)器件(如衍射和折射光學(xué)器件)的整體制造時(shí)間。另外,QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學(xué)元件所需的橫向和縱向高分辨率要求?;陔p光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)一氣呵成的制作與傳統(tǒng)的光刻技術(shù)相比,灰度光刻在制造復(fù)雜芯片時(shí)具有明顯的優(yōu)勢(shì)。廣東雙光子灰度光刻激光直寫

雙光子灰度光刻敬請(qǐng)咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng)

Nanoscribe帶領(lǐng)全球高精度微納米3D打印 。Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統(tǒng)生產(chǎn)商,擁有多項(xiàng)**技術(shù),為全球客戶提供整套硬件,軟件,打印材料和解決方案一站式服務(wù)。Nanoscribe是德國高精度雙光子微納加工系統(tǒng)生產(chǎn)商,擁有多項(xiàng)專項(xiàng)技術(shù),為全球客戶提供整套硬件,軟件,打印材料和解決方案一站式服務(wù)。Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)具有極高設(shè)計(jì)自由度和超高精度的特點(diǎn),結(jié)合具備生物兼容特點(diǎn)的光敏樹脂和生物材料,開發(fā)并制作真正意義上的高精度3D微納結(jié)構(gòu),適用于生命科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用,如設(shè)計(jì)和定制微型生物醫(yī)學(xué)設(shè)備的原型制作。湖南工業(yè)級(jí)灰度光刻微納加工系統(tǒng)