光學(xué)元件如何對準(zhǔn)并打印到光子芯片上？打印對象的 3D 對準(zhǔn)技術(shù)是基于具有高分辨率 3D 拓?fù)淅L制的共聚焦單元。 為了精確對準(zhǔn)光子芯片上的光學(xué)元件，智能軟件算法會自動識別預(yù)定義的標(biāo)記和拓?fù)涮卣?，以確定芯片上波導(dǎo)的確切位置和方向。 然后將虛擬坐標(biāo)系設(shè)置到波導(dǎo)的出口，使其光軸和方向完美對準(zhǔn)。 根據(jù)該坐標(biāo)系打印的光學(xué)元件可確保好的光學(xué)質(zhì)量并比較大限度地減少耦合損耗。 該項技術(shù)可以利用自由空間微光耦合 (FSMOC) 實現(xiàn)高效的光耦合 。 詳情咨詢納糯三維科技（上海）有限公司生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用，咨詢納糯三維科技（上海）有限公司。北京進(jìn)口NanoscribeMEMS

科學(xué)家們基于Nanoscribe的雙光子聚合 技術(shù)(2PP) ，發(fā)明了GRIN 光學(xué)微納制造工藝。這種新的制造技術(shù)實現(xiàn)了簡單一步操作即可同時控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學(xué)元件。憑借這種全新的制造工藝，科學(xué)家們完成了令人印象深刻的展示制作，打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡（15?μm 直徑）。相似于人類眼睛晶狀體的梯度，這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加，使其具有獨特的聚光特性。Nanoscribe的Photonic Professional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學(xué)組件打印于微孔支架材料上（例如孔狀硅材及二氧化硅）。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合（2PP）那樣在基體表面進(jìn)行直寫，而是在孔型支架內(nèi)。通過調(diào)整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量，從而影響打印材料的有效折射率。采用全新SCRIBE技術(shù)（通過激光束曝光控制的亞表面折射率）可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時，對折射率的調(diào)節(jié)范圍甚至超過0.3。

德國實驗室NanoscribePPGT微納機(jī)械系統(tǒng)，咨詢納糯三維科技（上海）有限公司。

Quantum X shape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng)，用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn)，以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)（2PP）的專業(yè)激光直寫系統(tǒng)，可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設(shè)計自由度。Quantum X shape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進(jìn)行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要，這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用有著重大意義。總而言之，該系統(tǒng)拓寬了3D微納加工在多個科研領(lǐng)域和工業(yè)行業(yè)應(yīng)用的更多可能性（如生命科學(xué)、材料工程、微流體、微納光學(xué)、微機(jī)械和微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）等）  

科學(xué)家們基于Nanoscribe的雙光子聚合 技術(shù)(2PP) ，發(fā)明了GRIN 光學(xué)微納制造工藝。這種新的制造技術(shù)實現(xiàn)了簡單一步操作即可同時控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學(xué)元件。憑借這種全新的制造工藝，科學(xué)家們完成了令人印象深刻的展示制作，打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡（15?μm 直徑）。相似于人類眼睛晶狀體的梯度，這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加，使其具有獨特的聚光特性。Nanoscribe的Photonic Professional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學(xué)組件打印于微孔支架材料上（例如孔狀硅材及二氧化硅）。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合（2PP）那樣在基體表面進(jìn)行直寫，而是在孔型支架內(nèi)。通過調(diào)整直寫激光的曝光參數(shù)可以改變微孔支架內(nèi)材料的聚合量，從而影響打印材料的有效折射率。Nanoscribe一直致力于推動各個科研領(lǐng)域，諸如力學(xué)超材料，微納機(jī)器人等。

雙光子聚合（2PP）是一種可實現(xiàn)比較高精度和完全設(shè)計自由度的增材制造方法。而作為同類比較好的3D微加工系統(tǒng)Quantum X shape具有下列優(yōu)異性能：首先，在所有空間方向上低至 100 納米的特征尺寸控制，適用于納米和微米級打??；其次制作高達(dá) 50 毫米的目標(biāo)結(jié)構(gòu)，適用于中尺度打印。高速3D微納加工系統(tǒng)Quantum X shape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進(jìn)的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果，同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺。Quantum X  shape具有先進(jìn)的激光焦點軌跡控制，可操控振鏡加速和減速至比較好掃描速度，并以 1 MHz 調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率

Quantum X shape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng)。北京微納Nanoscribe

多組柱狀體3D復(fù)雜微結(jié)構(gòu)支架是用Nanoscribe自行研發(fā)的IP-Dip光刻膠進(jìn)行3D打印。北京進(jìn)口NanoscribeMEMS

基于雙光子聚合（2PP）原理的雙光子灰度光刻（2GL®）是Nanoscribe技術(shù)，具備體素動態(tài)控制能力。在掃描激光焦點橫跨掃描平面時，調(diào)制曝光劑量會改變光敏樹脂內(nèi)的體素大小，從而實現(xiàn)對聚合體素尺寸的精細(xì)可控變化。這是激光功率調(diào)制和高速振鏡掃描與精確的橫向載物臺運(yùn)動同步的結(jié)果。為此，將灰度圖像轉(zhuǎn)換為曝光級別的空間變化，從而在一個平面上打印不同的體素高度。 2GL有什么優(yōu)勢？ 雙光子灰度光刻 技術(shù)（2GL®）使用激光束調(diào)制和高速振鏡的高頻同步進(jìn)行單體素調(diào)節(jié)，從而實現(xiàn)光學(xué)質(zhì)量表面結(jié)構(gòu)。通過高精度定位單元和自校準(zhǔn)程序，可在拼接相鄰打印區(qū)域時以出色準(zhǔn)確性進(jìn)行打印，以制造大型結(jié)構(gòu)。2GL動態(tài)調(diào)整打印場邊界處的激光劑量，以補(bǔ)償光敏聚合物的化學(xué)誘導(dǎo)收縮和定位缺陷。通過這種功能組合，可以在幾平方厘米的區(qū)域內(nèi)打印出真正的無縫結(jié)構(gòu)，消除所有拼接痕跡。北京進(jìn)口NanoscribeMEMS