在電子和半導體工業(yè)中,往復真空泵主要用于 vacuum deposition、PVD/CVD、IC制造等。往復真空泵也被大量應(yīng)用于實驗室中,包括化學合成、物理性質(zhì)測試和材料制備等。在選擇往復真空泵時,應(yīng)考慮以下因素:抽氣速度和真空度:不同領(lǐng)域的用途需要不同的抽氣速度和真空度要求,應(yīng)根據(jù)具體情況選擇不同型號的往復真空泵。材料:由于往復真空泵有許多不同的材料制成,如不銹鋼和鑄鐵,因此應(yīng)根據(jù)所處理的氣體和工藝要求選擇合適的材料。維護成本:在選擇往復真空泵時,也應(yīng)考慮其維護成本。對于需要長時間使用的設(shè)備,低維護成本的設(shè)備顯然更具優(yōu)勢。山東中泵動力為廣大國內(nèi)外客戶提供更精湛的技術(shù)和產(chǎn)品。山東無油立式泵廠家
無油立式往復真空泵是是獲得真空的主要設(shè)備。由于采用全密封裝置,實現(xiàn)了曲軸箱和汽缸的完全隔離;加上活塞環(huán)使用了自潤滑材料,便實現(xiàn)了先進的無油潤滑。由于無污水排放,所以該型真空泵特別適用于化工、醫(yī)藥和食品等行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、真空干燥、真空濃縮、真空浸漬等工藝過程中。那么。無油立式往復真空泵具體具有哪些優(yōu)點呢:功率消耗小,節(jié)能效果明顯;占地面積小,工作噪音低:氣缸采用強制水冷,冷卻效果好;采用先進的密封結(jié)構(gòu),杜絕了向外濺油等現(xiàn)象的產(chǎn)生;由于各運動部件結(jié)構(gòu)合理,受力均勻,所以使用壽命長;青?;钊秸婵毡枚嗌馘X山東中泵動力以誠信謀發(fā)展,以質(zhì)量求生存,強化企業(yè)管理,不斷拼搏創(chuàng)新。
在往復式真空泵中,氣閥是重要的部件之一,它對真空泵運轉(zhuǎn)的可靠性、經(jīng)濟性有著很大的影響。往復式真空泵目前大多采用環(huán)狀閥,由于真空泵的吸、排氣壓力都不大,尤其是吸入氣體壓力很小,氣閥的壓力降是影響真空度和功率消耗的一個重要原因。降低吸氣閥的阻力,對于提高真空度和降低功率消耗也具有重要意義。綜上所述,立式往復真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、減小運動零部件磨損的優(yōu)點。采用氣閥軸向布置,改善氣缸的冷卻,減小了壓縮功。合理設(shè)計平衡通道和減小余隙容積是提高往復式真空泵真空度的有效措施;減小氣閥的阻力損失對提高真空度和降低功耗十分重要;強化有磨損部件處的潤滑,并采用自潤滑性能好的材料以減少摩擦損失,對延長零件壽命和減少功耗都是有利的。
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羅茨真空泵由于輸送和壓縮氣體而產(chǎn)生熱量,這些熱量必須從轉(zhuǎn)子傳至殼體而散發(fā)。但在低壓下,氣體對熱的傳導和對流性能極差,致使轉(zhuǎn)子吸收的熱量不易散出,造成轉(zhuǎn)子溫度永遠高于殼體的溫度。由于轉(zhuǎn)子的熱膨脹,使轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼間的間隙減少,特別在壓差也高的情況下,尤為嚴重,甚至造成轉(zhuǎn)子卡死,使泵損壞。為了使羅茨泵在較高的壓差下工作,以擴大使用范圍,增加泵的可靠性,就必須設(shè)法散出轉(zhuǎn)子產(chǎn)生的熱量,也就是說要對轉(zhuǎn)子進行冷卻。山東中泵動力擁有專業(yè)科學的生產(chǎn)開發(fā)團隊。廣東無油立式泵安裝
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從上述分析可以看出,真空泵內(nèi)水環(huán)溫度與軟化水池水溫之差是導致結(jié)垢的重要因素。因此,增大循環(huán)供水量提高冷卻效果是限度減小結(jié)垢速度的重要保證。因此在循環(huán)冷卻水運行過程中,還有必要對各臺泵的回水溫度和回水量進行監(jiān)測,以保證各臺泵的正常供水量以及回水溫度不超過40℃的規(guī)定。供水量可以用閥門來控制,如果回水溫度超過規(guī)定,要采取補充低溫冷水或用其他散熱降溫的辦法來降低軟化水池內(nèi)軟化水的溫度。無油真空泵的泵體排水閘閥,除了用于正常排出泵內(nèi)積水外,還可在運行過程中利用泵體運轉(zhuǎn)的水壓定期沖洗泵內(nèi)污垢和水渣,一方面可以防止污垢積存,另一方而還可以防止水渣轉(zhuǎn)化為水垢。山東無油立式泵廠家
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