微電子材料所指的材料范圍很廣，這是因為微電子設(shè)備很復(fù)雜，包含大量的單個組件。例如，微處理器的失效分析可能會要求金相工作者正好從多層鍍層(例如氧化物、聚合物、易延展的金屬如銅或鋁、難熔金屬如鎢或鈦-鎢)的硅片的橫截面切割。另外，包裝材料也可能含有機(jī)械性能各異的材料如I氧化鋁或焊料。這些焊料有可能含有高達(dá)97%的鉛?？梢韵胂髮⑦@么多性能各異的材料整合到一個單一的設(shè)備里，并開發(fā)出一個適用于所有材料的制備程序的可能性就不存在，所以我們必須將注意力集中在幾種材料上，去開發(fā)我們所要關(guān)注材料的試樣制備程序。初定義的微電子材料是硅。硅是一種相當(dāng)硬的脆的材料,不容易用大顆粒的SiC研磨。因為SiC砂紙粘有堅硬的磨削顆粒，當(dāng)它們接觸時會在硅片的邊緣造成損傷。另外，會在硅片的邊緣產(chǎn)生拉應(yīng)力，將導(dǎo)致較深的破壞裂紋。盡量接近切割目標(biāo)區(qū)切割，但也不能太接近目標(biāo)區(qū)切割,精細(xì)研磨仍然是必不可少的。因此硅的制備被劃分成兩種截然不同的方法，第一種是傳統(tǒng)的金相方法，第二種用特殊的夾具和研磨顆粒制備沒有封裝的硅片。好用的半自動金相磨拋機(jī)品牌？山西中心加壓金相磨拋機(jī)替代斯特爾

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