光刻系統(tǒng)200包括照射系統(tǒng)230。照射系統(tǒng)230包括光源205，光源205產(chǎn)生脈沖光束210，并將脈沖光束210引導(dǎo)至對(duì)晶片220上的微電子特征進(jìn)行圖案化的光刻曝光設(shè)備或掃描儀215。晶片220放置在晶片臺(tái)222上，晶片臺(tái)222構(gòu)造成保持晶片220并連接到定位器，該定位器配置成根據(jù)某些參數(shù)準(zhǔn)確地定位晶片220。光束210也被引導(dǎo)通過(guò)束準(zhǔn)備系統(tǒng)212，束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括修改光束210的多個(gè)方面的光學(xué)元件。例如，束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括反射或折射光學(xué)元件、光脈沖展寬器和光學(xué)光闌(包括自動(dòng)遮蔽件)。光譜特征選擇系統(tǒng)250基于控制系統(tǒng)185的輸入來(lái)微調(diào)光源205的光譜輸出。光刻系統(tǒng)200使用具有例如在深紫外線(duv)范圍或極紫外線(euv)范圍內(nèi)的波長(zhǎng)的光束210。光刻系統(tǒng)100還包括測(cè)量(或量測(cè))系統(tǒng)270和控制系統(tǒng)185。量測(cè)系統(tǒng)270測(cè)量光束的一個(gè)或更多個(gè)光譜特征(諸如帶寬和/或波長(zhǎng))。量測(cè)系統(tǒng)270推薦地包括多個(gè)傳感器。量測(cè)系統(tǒng)270接收被從束分離裝置260改變方向的光束210的一部分，所述束分離裝置260放置在光源205和掃描儀215之間的路徑中。束分離裝置260將光束210的***部分引導(dǎo)至量測(cè)系統(tǒng)270中，將光束210的第二部分朝向掃描儀215引導(dǎo)。在一些實(shí)施方式中。車載線圈是由導(dǎo)線繞制成多個(gè)匝數(shù)和形狀的線圈，可以產(chǎn)生強(qiáng)度較高的磁場(chǎng)和感應(yīng)電勢(shì)?；葜蓦姼芯€圈加工

    無(wú)線充電技術(shù)將加快普及速度，逐步從智能手機(jī)向平板電腦、筆記本電腦、可穿戴智能硬件、醫(yī)療設(shè)備等多方面滲透，帶動(dòng)行業(yè)整體發(fā)展。在無(wú)線充電技術(shù)的推動(dòng)之下，電子線圈行業(yè)的發(fā)展會(huì)更加迅速，在電子科技的投入也會(huì)越來(lái)越多，未來(lái)幾年市場(chǎng)上的線圈應(yīng)用領(lǐng)域也會(huì)越來(lái)越來(lái)越***，也將成為電子科技持續(xù)發(fā)展的主流趨勢(shì)。而且隨著無(wú)線電技術(shù)的不斷進(jìn)步，世界各主要國(guó)家均意識(shí)到無(wú)線電技術(shù)對(duì)于整個(gè)產(chǎn)業(yè)的支撐地位，特別是為了應(yīng)對(duì)國(guó)際金融危機(jī)，它們紛紛調(diào)整電子技術(shù)政策，競(jìng)相發(fā)展高科技無(wú)線充電器線圈，以促進(jìn)產(chǎn)業(yè)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展。以東莞為例，線圈產(chǎn)業(yè)是東莞的重要支柱產(chǎn)業(yè)之一，由于無(wú)線充電器線圈在電子行業(yè)的戰(zhàn)略地位，東莞也從多方面進(jìn)行了大力扶持。該城市非常重視無(wú)線充電器線圈的先進(jìn)實(shí)用性，各種功能部件在質(zhì)量、性能上居世界前列。線圈生產(chǎn)制造業(yè)的另一個(gè)重要特點(diǎn)就是中小企業(yè)集中，對(duì)此，中國(guó)**采取一系列措施鼓勵(lì)中小企業(yè)積極進(jìn)行研發(fā)和創(chuàng)新活動(dòng)，提高競(jìng)爭(zhēng)力。如覆蓋范圍極廣的中小企業(yè)創(chuàng)新重點(diǎn)項(xiàng)目(ZIM)、為企業(yè)創(chuàng)新計(jì)劃提供長(zhǎng)期低息的ERP項(xiàng)目等。國(guó)產(chǎn)扁平線圈迅速崛起近年來(lái)，我國(guó)線圈行業(yè)取得許多進(jìn)步，經(jīng)濟(jì)規(guī)模實(shí)現(xiàn)“由小到大”的迅猛增長(zhǎng)?；葜蓦姼芯€圈加工立繞線圈的特點(diǎn)是具有較高的自感值和較低的互感值。

    基本功能是通過(guò)線圈將，電能以無(wú)線方式傳輸給電池。只需把電池和接收設(shè)備放在充電平臺(tái)上即可對(duì)其進(jìn)行充電。實(shí)驗(yàn)證明．雖然該系統(tǒng)還不能充電于無(wú)形之中．但已能做到將多個(gè)校電器放置于同一充電平臺(tái)上同時(shí)充電。免去接線的煩惱。1無(wú)線充電器原理與結(jié)構(gòu)無(wú)線充電系統(tǒng)主要采用電磁感應(yīng)原理，通過(guò)線圈進(jìn)行能量耦合實(shí)現(xiàn)能量的傳遞。如圖1所示，系統(tǒng)工作時(shí)輸入端將交流市電經(jīng)全橋整流電路變換成直流電，或用24V直流電端直接為系統(tǒng)供電。經(jīng)過(guò)電源管理模塊后輸出的直流電通過(guò)2M有源晶振逆變轉(zhuǎn)換成高頻交流電供給初級(jí)繞組。通過(guò)2個(gè)電感線圈耦合能量，次級(jí)線圈輸出的電流經(jīng)接受轉(zhuǎn)換電路變化成直流電為電池充電。2．2發(fā)射電路模塊如圖3，主振電路采用2MHz有源晶振作為振蕩器。有源晶振輸出的方波，經(jīng)過(guò)二階低通濾波器濾除高次諧波，得到穩(wěn)定的正弦波輸出。經(jīng)三極管13003及其外圍電路組成的丙類放大電路后輸出至線圈與電容組成的并聯(lián)諧振回路輻射出去．為接收部分提供能量。2．2接收電路模塊測(cè)得與電容組成的并聯(lián)諧振回路的空芯耦合線圈的線徑為0．5mm，直徑為7cm，電感為47uH，載波頻率為2MHz。根據(jù)并聯(lián)諧振公式得匹配電容C約為140pF。

具有廣泛的應(yīng)用價(jià)值。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖**是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明中無(wú)線充電線圈制作的流程示意圖；其中，圖中各附圖標(biāo)記：01-銅箔；1-銅線圈層；11-內(nèi)焊盤；12-外焊盤；2-襯底；3-***絕緣層；4-第二絕緣層；5-導(dǎo)電銅膠帶。具體實(shí)施方式為了使本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案及有益效果更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例**用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。需要說(shuō)明的是，當(dāng)元件被稱為“固定于”或“設(shè)置于”另一個(gè)元件，它可以直接在另一個(gè)元件上或者間接在該另一個(gè)元件上。當(dāng)一個(gè)元件被稱為是“連接于”另一個(gè)元件，它可以是直接連接到另一個(gè)元件或間接連接至該另一個(gè)元件上。需要理解的是。立繞扁平線圈的制造需要使用專業(yè)的繞線機(jī)和模具，繞制完成后需要進(jìn)行熱處理和浸漆等工藝處理。

    所述線圈具有實(shí)質(zhì)上平坦的***表面和實(shí)質(zhì)上平坦的第二表面；和從所述實(shí)質(zhì)上平坦的***表面的至少一部分去除所述電絕緣材料。9.根據(jù)方面8所述的方法，其中，至少部分通過(guò)機(jī)加工執(zhí)行所述去除步驟。10.根據(jù)方面8所述的方法，其中，至少部分通過(guò)單點(diǎn)飛切執(zhí)行所述去除步驟。11.根據(jù)方面8所述的方法，其中，至少部分通過(guò)銑削執(zhí)行所述去除步驟。12.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：去除所述導(dǎo)體中的一些部分以調(diào)節(jié)所述線圈的電學(xué)屬性。13.根據(jù)方面10所述的方法，其中，所述電學(xué)屬性是電阻。14.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：測(cè)量所述線圈的電阻。15.根據(jù)方面8所述的方法，還包括在所述去除步驟之后的如下步驟：測(cè)量所述線圈的q因子。16.一種制造線圈的方法，包括以下步驟：提供導(dǎo)電材料的片材；用電絕緣材料的層覆蓋所述片材的至少一面；卷繞所述片材和層以形成卷；和橫向于所述卷的長(zhǎng)度切割所述卷以形成線圈。以上描述包括多個(gè)實(shí)施例的示例。當(dāng)然，為了描述前述實(shí)施例的目的，不可能描述部件或方法的每種可設(shè)想的組合，但是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到，各種實(shí)施例的許多進(jìn)一步的組合和置換是可能的。因此。立繞線圈可以用于制作各種電子設(shè)備中的濾波器、變壓器、電感耦合器等?；葜蓦姼芯€圈加工

在制作鋁線圈時(shí)，需要將鋁線纏繞在絕緣材料上，并按照一定的匝數(shù)和形狀進(jìn)行排列。惠州電感線圈加工

    即相鄰銅線間的間隙)更均勻，此外采用螺旋線加工的方式熱量累積少、效率更高。采用本發(fā)明的方法，可加工出縫寬精度為。進(jìn)一步地，為了防止加工完成的充電線圈受力變形，導(dǎo)致線圈部分地方相連而影響充電效率，可以在加工過(guò)程中，采用治具對(duì)銅箔/充電線圈進(jìn)行固定。具體的，可以在治具上設(shè)置若干通向治具的上表面(銅箔的承載面)的吸附孔，通過(guò)對(duì)吸附孔抽氣實(shí)現(xiàn)對(duì)銅箔/充電線圈的固定。還可以在治具的上表面上設(shè)置螺旋線槽，螺旋線槽正對(duì)螺旋切割線2，較佳的是，螺旋線槽的寬度略大于螺旋切割線的線寬，例如，螺旋線槽的寬度為(d+)mm，其中，d為螺旋切割線的線寬?；谏鲜鰧?shí)施方式，一種更為詳細(xì)的充電線圈加工方法包括如下步驟：(1)導(dǎo)入螺旋切割線圖檔至精密激光標(biāo)記設(shè)備中，并且將激光的螺旋線行進(jìn)軌跡設(shè)置為螺旋圓，螺旋圓直徑為d+，其中“d”為線圈縫寬，可以確保減少毛刺。對(duì)精密激光標(biāo)記設(shè)備的加工參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，具體設(shè)置如下：表1精密激光標(biāo)記設(shè)備的加工參數(shù)設(shè)置實(shí)例(2)將治具安裝在加工平臺(tái)上，然后將沖壓好的銅箔放置于治具上，打開(kāi)吸附裝置，使治具的吸附孔將銅箔吸附固定。(3)開(kāi)啟激光設(shè)備，調(diào)整激光焦距到合適位置，并進(jìn)行激光切割。其中?；葜蓦姼芯€圈加工