在操作過程中，線圈會發(fā)熱，需要進(jìn)行冷卻以滿足使用壽命和/或產(chǎn)量的要求。致動器線圈的壽命與線圈的溫度直接相關(guān)。期望較冷的線圈來改善致動器壽命(減少灌封的熱應(yīng)力)和/或系統(tǒng)產(chǎn)量(增加的功率處理能力)和/或現(xiàn)有系統(tǒng)的重疊(減少的熱變形)。未來的設(shè)計將提出更高的散熱要求。因此，仍然需要提供表現(xiàn)出較低線圈溫度的扁平線圈。常規(guī)扁平線圈的熱性能通過經(jīng)由機加工或其它方法去除在線圈的扁平端上的導(dǎo)體的一些部分和電絕緣材料的外層來得到改善，這導(dǎo)致了截去端部的扁平線圈。這種線圈的橫截面在圖4示出?？梢钥闯觯^緣材料310和導(dǎo)體中的一些部分已從線圈110的頂表面和底表面去除。絕緣材料的去除促進(jìn)了線圈110在使用中產(chǎn)生的熱量的散發(fā)。層的去除消除了電導(dǎo)體與外部冷卻器之間的熱絕緣。這降低了線圈和線圈灌封的環(huán)氧樹脂的溫度。如果線圈是由傳統(tǒng)的扁平線圈機加工而成的，則能夠減小**終的厚度和平坦度公差。這允許減小灌封層的厚度，該灌封層的厚度通常用于吸收致動器組件中的公差。較薄的灌封也可改善冷卻效果。絕緣層的去除減小了致動器的總厚度，這導(dǎo)致了其它益處。這允許多個軛磁體更靠近在一起，從而減少了邊緣場。這提高了電機效率，因此需要的電流更少。無線充線圈由高導(dǎo)磁材料和導(dǎo)線制成，根據(jù)不同的充電標(biāo)準(zhǔn)和功率需求，線圈的匝數(shù)、形狀和尺寸也會有所不同。重慶線圈質(zhì)量優(yōu)秀

而本發(fā)明實施例的單層線圈結(jié)構(gòu)的無線充電線圈的制備，就是在一層銅箔上展開。該銅箔01的厚度為60-150μm，可推薦110-130μm，更推薦120-130μm，這樣可以產(chǎn)生實際需要的內(nèi)阻值。在步驟s02中，如圖1(b)所示，在銅箔01的一表面制備襯底2，在銅箔01的另一表面制備圖案，即將銅箔01形成于襯底2上，然后在銅箔01背離襯底2的表面雕刻圖案使銅箔01形成銅線圈層1，所述銅線圈層1形成有內(nèi)焊盤11和外焊盤12；銅線圈層1的內(nèi)焊盤11和外焊盤12俯視圖如圖1(b)’所示。內(nèi)焊盤11可以簡稱內(nèi)pad，外焊盤12可以簡稱外pad，焊盤是可以用焊接或者簡單接觸的方式實現(xiàn)與外部其他電路連接的接觸區(qū)，由于需要操作，所以有一定的操作面積，易于接觸導(dǎo)通。上述步驟中，襯底2的材料采用可溶材料或可熔材料，如選自蠟、堿溶性樹脂和水溶性樹脂中的至少一種。對于石蠟，可在100℃以下完全融化，并有較低的粘度；對于堿溶性樹脂，選自含有羧基或磺酸基的樹脂，如酯化或酰胺化的聚苯丁樹脂，或uv(紫外光固化)油墨；對于水溶性樹脂，可以選自rinseout樹脂，從環(huán)循利用和成本考慮，本發(fā)明實施例的襯底材料推薦可熔材料如石蠟。在銅箔01的一表面制備襯底2的方法，可以為高溫?zé)釅阂r底。中山變壓器線圈立繞扁平線圈的制造需要嚴(yán)格的質(zhì)量控制和性能測試，以確保其穩(wěn)定性和可靠性。

    和在所述***對側(cè)邊的側(cè)邊中的至少一個上的電絕緣材料，所述第二對側(cè)邊的側(cè)邊中的至少一個沒有任何電絕緣材料，所述永磁體和線圈布置成使得當(dāng)充足幅值或足夠大幅值的電流流過所述線圈時在所述永磁體和線圈之間形成力。根據(jù)另一方面，公開了光刻設(shè)備中的用于定位掩模版或晶片的平臺，所述平臺包括臺和機械耦接至所述臺的致動器，所述致動器包括永磁體和具有扁平線的實質(zhì)上平坦的線圈，所述扁平線包括：導(dǎo)體，具有實質(zhì)上矩形的橫截面，且具有***對側(cè)邊和第二對側(cè)邊，所述***對側(cè)邊定向成實質(zhì)上垂直于所述線圈的平面，所述第二對側(cè)邊定向成實質(zhì)上平行于所述線圈的平面；和在所述***對側(cè)邊的側(cè)邊中的至少一個上的電絕緣材料，所述第二對側(cè)邊的側(cè)邊中的至少一個沒有任何電絕緣材料，所述永磁體和線圈布置成使得當(dāng)充足幅值的電流流過所述線圈時在所述永磁體和線圈之間形成力。根據(jù)另一方面，公開了一種制造線圈的方法，包括以下步驟：提供一長度的扁平線，所述扁平線包括具有實質(zhì)上矩形的橫截面的導(dǎo)體，用電絕緣材料覆蓋所述導(dǎo)體；將所述長度的扁平線卷繞成實質(zhì)上平坦的線圈，所述線圈具有實質(zhì)上平坦的***表面和實質(zhì)上平坦的第二表面。

具體實施方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例**用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。本發(fā)明提供的一種充電線圈加工方法包括步驟：采用激光沿著螺旋切割線將銅箔切割成螺旋狀銅線；其中，切割過程中，所述激光以螺旋線行進(jìn)軌跡沿著所述螺旋切割線運動。為了便于理解本發(fā)明的技術(shù)方案，需要對螺旋切割線和激光的螺旋線行進(jìn)軌跡分別進(jìn)行解釋說明。圖1為加工完成的充電線圈示意圖，圖2為局部放大示意圖，相鄰銅線1之間的間隙為螺旋切割線2。圖3為激光的一種螺旋線行進(jìn)軌跡，圖中的行進(jìn)軌跡為螺旋圓，較佳地，所述螺旋圓的直徑大于等于(d+)mm，其中，d為所述螺旋切割線的線寬。還可以采用螺旋橢圓或其他的平滑的螺旋線代替，激光加工前，可以根據(jù)需要在激光加工設(shè)備上對螺旋線的形狀進(jìn)行編程設(shè)定，本發(fā)明不作限定。本發(fā)明中激光按照螺旋線行進(jìn)軌跡運動，沿著螺旋切割線2對銅箔進(jìn)行切割，如圖4所示，得到充電線圈。采用螺旋線行進(jìn)軌跡替代傳統(tǒng)的線條軌跡進(jìn)行激光切割加工，可以保證加工過程中線圈不同位置的反射性相同，切割出的銅線毛刺相對較少，線圈縫寬。立繞線圈在電子設(shè)備中具有廣泛的應(yīng)用，它可以作為電感器、變壓器、濾波器等組件使用。

    盡管這可能會導(dǎo)致線圈的厚度發(fā)生變化。扁平線圈的頂部和底部通常會表現(xiàn)出絕緣材料的犬牙形卷邊，這能影響繞組品質(zhì)。截去端部去除了所述卷邊，所以繞組品質(zhì)可以得到改善。修改常規(guī)的扁平線圈的替代例是使線具有未絕緣的頂表面和/或底表面。應(yīng)該注意的是，在線圈卷繞期間中，線上的粘合劑層可能會在裸線上擠出。這會增加隔熱性(和溫度)，并可能增加零件公差。修改常規(guī)的扁平線圈的另一種替代例是使用“果凍卷(jellyroll)”過程。箔片材的一面或兩面覆蓋有絕緣材料和粘結(jié)層，卷繞成“果凍卷”，加熱以固化粘結(jié)層，然后切成所期望厚度的線圈?？梢孕薷膯蝹€線圈或已經(jīng)粘結(jié)成疊層的線圈。單個線圈可以在一個側(cè)面或兩個側(cè)面上進(jìn)行修改。存在幾種方法可以用于去除絕緣材料。例如，單點飛切可用于修改扁平銅線線圈。也可以使用表面研磨。也可以使用銑削。術(shù)語“機加工”旨在涵蓋這些方法中的至少任何一種。電阻測量能夠用于檢測繞組之間是否存在短路。替代地或附加地，線圈的品質(zhì)因數(shù)(電感l(wèi)與電阻r的比率)能被測量以獲得更準(zhǔn)確的確定。可以使用截去端部的扁平線圈和結(jié)合有截去端部的扁平線圈的致動器，例如以在光刻系統(tǒng)中定位晶片平臺或掩模版平臺。參考圖5。無線充線圈以提高充電效率和穩(wěn)定性，降低成本和提升充電安全性。重慶線圈質(zhì)量優(yōu)秀

跑道型扁平線圈由扁平的銅線或鋁線繞制而成，線圈的匝數(shù)和尺寸可以根據(jù)實際應(yīng)用需要進(jìn)行調(diào)整。重慶線圈質(zhì)量優(yōu)秀

    光刻系統(tǒng)200包括照射系統(tǒng)230。照射系統(tǒng)230包括光源205，光源205產(chǎn)生脈沖光束210，并將脈沖光束210引導(dǎo)至對晶片220上的微電子特征進(jìn)行圖案化的光刻曝光設(shè)備或掃描儀215。晶片220放置在晶片臺222上，晶片臺222構(gòu)造成保持晶片220并連接到定位器，該定位器配置成根據(jù)某些參數(shù)準(zhǔn)確地定位晶片220。光束210也被引導(dǎo)通過束準(zhǔn)備系統(tǒng)212，束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括修改光束210的多個方面的光學(xué)元件。例如，束準(zhǔn)備系統(tǒng)212能夠包括反射或折射光學(xué)元件、光脈沖展寬器和光學(xué)光闌(包括自動遮蔽件)。光譜特征選擇系統(tǒng)250基于控制系統(tǒng)185的輸入來微調(diào)光源205的光譜輸出。光刻系統(tǒng)200使用具有例如在深紫外線(duv)范圍或極紫外線(euv)范圍內(nèi)的波長的光束210。光刻系統(tǒng)100還包括測量(或量測)系統(tǒng)270和控制系統(tǒng)185。量測系統(tǒng)270測量光束的一個或更多個光譜特征(諸如帶寬和/或波長)。量測系統(tǒng)270推薦地包括多個傳感器。量測系統(tǒng)270接收被從束分離裝置260改變方向的光束210的一部分，所述束分離裝置260放置在光源205和掃描儀215之間的路徑中。束分離裝置260將光束210的***部分引導(dǎo)至量測系統(tǒng)270中，將光束210的第二部分朝向掃描儀215引導(dǎo)。在一些實施方式中。重慶線圈質(zhì)量優(yōu)秀