探針臺由哪些部分組成？樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小，并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。光學(xué)元件：這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針尖銳端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機，或者兩者兼有?？ūP：有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動。貴州半自動探針臺

近年來，半導(dǎo)體作為信息產(chǎn)業(yè)的基石和兵家必爭之地成為本輪貿(mào)易戰(zhàn)的焦點。2019年，中美摩擦、日韓半導(dǎo)體材料爭端對全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭格局也帶來了較大的影響。在自主可控發(fā)展策略指導(dǎo)下、在資本與相關(guān)配套政策扶植下，中國大陸正在也必將成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)擴張寶地，未來幾年半導(dǎo)體產(chǎn)能擴充仍將有較大需求。2019年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備投資約為923.51億元，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模約為67.43億元。在疫病結(jié)束后國內(nèi)半導(dǎo)體投資將反彈及恢復(fù)增長，檢測設(shè)備市場規(guī)模也將隨之增長，預(yù)計2022年將達到103.22億元。遼寧智能探針臺供應(yīng)商上海勤確科技有限公司依托多年來完善的服務(wù)經(jīng)驗。

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。

探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備，在芯片的設(shè)計驗證階段，主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進行，主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法。半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高，一條先進半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中，設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴大，半導(dǎo)體設(shè)備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復(fù)合增長率約為15.2%，但受到半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟環(huán)境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預(yù)計疫病過后，將恢復(fù)增長。上海勤確科技有限公司以客戶永遠滿意為標準的一貫方針。

手動探針臺：普遍應(yīng)用于，科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段，批量不是很大的情況，大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表，量測半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。用途：以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài)，測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來，便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。上海勤確科技有限公司以“真誠服務(wù)，用戶滿意”為服務(wù)宗旨。黑龍江手動探針臺公司

適用于對芯片進行科研分析，抽查測試等用途。貴州半自動探針臺

晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中，在將晶圓送至芯片準備之前執(zhí)行，晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進行引用：晶圓終端測試(WFT)、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的。晶圓探針器是用于測試集成電路的機器（自動測試設(shè)備）。對于電氣測試，一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢茫瑫r真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。貴州半自動探針臺