初TI退休工程師杰克·基比(JackSt.ClairKilby)發(fā)明顆單石集成電路，為現(xiàn)代半導(dǎo)體領(lǐng)域奠定基礎(chǔ)時，晶圓直徑不過1.25英寸～2英寸之間，生產(chǎn)過程多以人工方式進(jìn)行。隨著6英寸、8英寸晶圓的誕生，Align/Load的校準(zhǔn)工作和一些進(jìn)階檢測也開始自動化；直到12英寸晶圓成形，可謂正式邁入“單鍵探測”(OneButtonProbing)的全部自動化時代，就連傳輸也開始借助機(jī)器輔助；但此時的測試大都是轉(zhuǎn)包給專業(yè)的廠商做，且大部分是著重在如何縮短工藝開發(fā)循環(huán)的參數(shù)測試上。上海勤確科技有限公司追求客戶的數(shù)量遠(yuǎn)不是我們的目的。湖南磁場探針臺多少錢

探針測試臺x-y工作臺的分類：縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類，即：平面電機(jī)型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論，應(yīng)區(qū)別對待。湖南磁場探針臺多少錢半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高，一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中，設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。

x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?，F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)作一介紹。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)：平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。

X系列探針臺：1、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計，使運(yùn)動的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高。2、運(yùn)動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動控制卡與電機(jī)形成整個閉環(huán)的反饋檢測，以保證實(shí)現(xiàn)高精度高溫度性的運(yùn)動系統(tǒng)。3、整個四維運(yùn)動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu)，保證其速率能到達(dá)70mm/s，并能提高運(yùn)動過程中的加速。4、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個位置能進(jìn)行接地保護(hù)。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)。

探針治具的校準(zhǔn)：我們希望校準(zhǔn)過程盡可能的把測試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項全部校準(zhǔn)掉，當(dāng)使用探針夾具的方式進(jìn)行操作有兩種校準(zhǔn)方法：1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn)，然后通過加載探針S2P文檔的方式進(jìn)行補(bǔ)償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準(zhǔn)板在探針的端面進(jìn)行校準(zhǔn)。是要告訴大家如果直接在SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn)之后不補(bǔ)償探針頭，而直接進(jìn)行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準(zhǔn)片，校準(zhǔn)片如下圖所示，上面有Open、Short、Load及不同負(fù)載的微帶線。上海勤確科技有限公司終善的服務(wù)、及時的服務(wù)、正確的服務(wù)，服務(wù)到每一個客戶滿意。安徽手動探針臺多少錢

負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。湖南磁場探針臺多少錢

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微小(納米級)的微電子器件，表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生，利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來，便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動，移動范圍12mm，移動精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材，一般客戶自己準(zhǔn)備)，探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上，從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件，多個點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試。湖南磁場探針臺多少錢