“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片，載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準確地將晶圓和晶圓對位；其次，必須具備動態(tài)監(jiān)控機制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性；后，必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結果。整體而言，針腳和墊片之間的相應精確度應在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮，為了強化更小晶粒定位的精確性，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產(chǎn)出損失。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。遼寧自動探針臺生產(chǎn)

盡管半導體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫，但從技術的角度來看，要想替代進口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出，國內(nèi)半導體測試探針還只能用于要求不高的測試需求，比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多，但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術是精微加工和組裝能力，涉及精微加工設備、經(jīng)驗、工藝能力缺一不可。值得注意的是，由于半導體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù)，同時也實施了技術封鎖，國內(nèi)并沒有相應的技術人才，包括生產(chǎn)人員和設計人員都缺乏。國內(nèi)大部分測試探針廠商基本不具備全自動化生產(chǎn)制造能力。遼寧自動探針臺生產(chǎn)上海勤確科技有限公司敢于承擔、克難攻堅。

精細探測技術帶來新優(yōu)勢：先進應力控制技術亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應。以先進工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均，因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細的移動控制，即可提升晶圓翻面時的探測精確度，使精細的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào)，以提高精確度，并縮短索引的時間。

半導體設備的技術壁壘高。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術，具有技術壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。半導體器件生產(chǎn)中，從半導體單晶片到制成成品，須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠，并有高的成品率，根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況，對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求。因而，在生產(chǎn)過程中必須建立相應的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施，首先要從半導體工藝檢測著手。半導體行業(yè)向來有“一代設備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法。

探針臺的作用是什么？探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應用。探針尖磨損和污染都會對測試結果造成極大的負面影響。廣東探針臺

探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位。遼寧自動探針臺生產(chǎn)

射頻測試探針必須具有與測試點相匹配的阻抗。通常要做的是在設計中各個預先計劃好的測試點焊接射頻同軸電纜（尾纖）。這有助于確保足夠的阻抗匹配，并且測試點可以選在對整體設計性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設計上，從而減少侵入性探測。高性能測試設備供應商可以提供高達毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴，且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此，它們在大容量的測試應用或者故障排除應用中受到限制，更適合于原型設計和研發(fā)。遼寧自動探針臺生產(chǎn)

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