在工藝方面,常用的測試探針是由針頭、針管、彈簧這三個組件構成的,測試探針中的彈簧是測試探針使用壽命的關鍵因素,電鍍處理過的彈簧使用壽命高,不會生銹,也能提高測試探針是持久性和導電性。因此,電鍍工藝是生產半導體測試探針的主要技術,而國內的電鍍工藝尚且有待突破。長期以來,國內探針廠商均處于中低端領域,主要生產PCB測試探針、ICT測試探針等產品??傮w來說,只要好的芯片、好的封測廠商才需要用到半導體測試探針,只有國內好的芯片和測試遍地開花,整個產業(yè)足夠大,國產配套供應商才能迅速成長起來。晶圓級半自動面內磁場探針臺詳細參數:垂直或面內磁場探針臺,通用性設計;容納12寸晶圓。貴州芯片探針臺生產廠家
探針臺是半導體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經過復雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關鍵設備。經過檢測,探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司安徽直流探針臺無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,工作臺都是其主要的部分。
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結構的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結構差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應區(qū)別對待。
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調升降9mm,微調升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測試;適用領域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調升降9mm,微調升降16mm,微調精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質:花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試;適用領域:12寸Wafer、IC測試之產品。探針臺測試時參數測不穩(wěn),為了不使它氧化,我們平時必須保護好探針卡,把它放在卡盒里。
探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產品開發(fā)和故障分析應用。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位。貴州芯片探針臺生產廠家
負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。貴州芯片探針臺生產廠家
隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術,具有技術壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設備之一。隨著自動化技術的飛速發(fā)展,市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠對出廠晶圓片的電氣參數、光學參數進行測試,根據測試結果評定上一道工序的工藝質量,并指導下一道工序。貴州芯片探針臺生產廠家
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