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來源: 發(fā)布時間:2023-10-16

盡管半導(dǎo)體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導(dǎo)體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗(yàn)、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導(dǎo)體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù),同時也實(shí)施了技術(shù)封鎖,國內(nèi)并沒有相應(yīng)的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計(jì)人員都缺乏。國內(nèi)大部分測試探針廠商基本不具備全自動化生產(chǎn)制造能力。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是工作臺的故障。河北自動探針臺一般多少錢

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半自動探針臺主要應(yīng)用于需要精確運(yùn)動、可重復(fù)接觸和采集大量數(shù)據(jù)的場合。一些公司也使用半自動探針系統(tǒng)來滿足其小批量生產(chǎn)要求。半自動探針系統(tǒng)的組成部件大部分與手動探針臺相似,但載物臺和控制裝置除外。晶圓載物臺通常是可編程的,并通過軟件與電子控制器來控制移動與方位。軟件為探針臺系統(tǒng)增加了很多功能,使用者可以通過軟件或機(jī)械操縱桿以各種速度向任何方向移動載物臺,程序可以設(shè)置映射以匹配器件,可以選擇要檢測的器件。河北自動探針臺一般多少錢探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點(diǎn)中心,同時針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。

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手動探針臺:普遍應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點(diǎn)測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析。

自動化探針臺搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導(dǎo)下一道工序。從全球市場看,半導(dǎo)體探針臺設(shè)備行業(yè)集中度較高,目前主要由國外廠商主導(dǎo),行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局。鑒于自動化探針臺是光、機(jī)、電高度一體化的產(chǎn)品,國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零,市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產(chǎn)X系列半自動探針臺并成功推向市場,成功填補(bǔ)國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白。上海勤確科技有限公司以完善的服務(wù)和改變?yōu)橹辽献非蟆?/p>

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探針治具的校準(zhǔn):我們希望校準(zhǔn)過程盡可能的把測試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項(xiàng)全部校準(zhǔn)掉,當(dāng)使用探針夾具的方式進(jìn)行操作有兩種校準(zhǔn)方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn),然后通過加載探針S2P文檔的方式進(jìn)行補(bǔ)償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準(zhǔn)板在探針的端面進(jìn)行校準(zhǔn)。是要告訴大家如果直接在SMA端面進(jìn)行校準(zhǔn)之后不補(bǔ)償探針頭,而直接進(jìn)行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準(zhǔn)片,校準(zhǔn)片如下圖所示,上面有Open、Short、Load及不同負(fù)載的微帶線。探針臺廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)。甘肅溫控探針臺公司

探針臺測片子時,用細(xì)砂子輕輕打磨針尖并通以氮?dú)?,減緩氧化過程。河北自動探針臺一般多少錢

探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。河北自動探針臺一般多少錢