手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤可選,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為150mmor200mm,移動(dòng)精度為1μm載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。探針臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的。重慶探針臺(tái)供應(yīng)
關(guān)于探針:探針實(shí)現(xiàn)同軸到共面波導(dǎo)轉(zhuǎn)換,探針需要保證一致性和兼容性,同時(shí)需要嚴(yán)格的控制其阻抗。板手動(dòng)探針臺(tái)在測(cè)試中非常受歡迎。它是精密和靈活性的獨(dú)特組合,可實(shí)現(xiàn)PCB的橫板或豎板的測(cè)量,并能擴(kuò)展成雙面PCB板測(cè)試系統(tǒng),也可以根據(jù)客戶的PCB板尺寸定制可調(diào)式夾具。搭配相應(yīng)探針座與高精度電源或網(wǎng)絡(luò)分析儀后,能夠輕松實(shí)現(xiàn)FA級(jí)別的直流參數(shù)提取或67G內(nèi)的射頻參數(shù)測(cè)量。探針臺(tái)可根據(jù)用戶實(shí)驗(yàn),選配DC、微波或光纖探針臂等。上海勤確科技有限公司。遼寧高溫探針臺(tái)生產(chǎn)圓片移動(dòng)到下一個(gè)芯片的位置,這種方法可以讓圓片上的每一個(gè)芯片都經(jīng)過(guò)測(cè)試。
下面我們來(lái)簡(jiǎn)單講講選擇探針臺(tái)設(shè)備時(shí)需要注意事項(xiàng):一、機(jī)械加工精度;二、電學(xué)量測(cè)精度三、環(huán)境要求,如:真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境及其它。四、光學(xué)成像;五、自動(dòng)化控制精度。總體而言,具有清晰并高景深的微觀成像,再通過(guò)準(zhǔn)確的探針裝置對(duì)探針進(jìn)行多方向移動(dòng),對(duì)準(zhǔn)量測(cè)點(diǎn),進(jìn)行信號(hào)加載,通過(guò)高精度線纜將所需測(cè)試數(shù)據(jù)傳輸至量測(cè)儀表,以達(dá)到所需得到的分析數(shù)據(jù),所以,如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù),從成像到點(diǎn)針,再到數(shù)據(jù)傳輸每項(xiàng)步驟都會(huì)起到重要的作用,另外振動(dòng)對(duì)精度也有一定的影響。
晶圓探針測(cè)試臺(tái)是半導(dǎo)體工藝線上的中間測(cè)試設(shè)備,與測(cè)試儀連接后,能自動(dòng)完成對(duì)集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測(cè)試。隨著對(duì)高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低價(jià)格的電子產(chǎn)品的需求日益增長(zhǎng),這就要求在一個(gè)芯片中集成更多的功能并進(jìn)一步縮小尺寸,從而大片徑和高效率測(cè)試將是今后晶圓探針測(cè)試臺(tái)發(fā)展的主要方向。因此,傳統(tǒng)的手動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和半自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)已經(jīng)不能滿足要求,取而代之的是高速度,高精度,高自動(dòng)化,高可靠性的全自動(dòng)晶圓探針測(cè)試臺(tái)。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位。
半自動(dòng)型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。電動(dòng)型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡;針座擺放個(gè)數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺(tái)面+不銹鋼;可搭配Probecard測(cè)試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品。探針卡虛焊和布線斷線或短路,測(cè)試時(shí)都要測(cè)不穩(wěn)。重慶探針臺(tái)供應(yīng)
探針臺(tái)配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。重慶探針臺(tái)供應(yīng)
其實(shí),在我們的身邊隨處都可以看到半導(dǎo)體的身影。例如你的電腦、電視,智能手機(jī),亦或是汽車等。半導(dǎo)體像人類大腦一樣,擔(dān)當(dāng)著記憶數(shù)據(jù),計(jì)算數(shù)值的功能。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)。一、探針的用途。電流或電壓信號(hào)通過(guò)探針的傳輸來(lái)測(cè)試線路板的開路(Open)或短路(Short)I=U/R,如果是開路(Open)電阻=∝:如果是短路(Short)電阻≌0。重慶探針臺(tái)供應(yīng)